- •210601.65 «Нанотехнология в электронике»
- •Лекция №1 фундаментальные явления. Полупроводниковые структуры и их классификация План лекции
- •1.1. Фундаментальные явления.
- •1.2. Гетеропереходы первого и второго типов.
- •1.3. Энергетическая диаграмма структуры с одиночной квантовой ямой. Энергетическая диаграмма одномерной сверхрешётки
- •Лекция №3 особенности энергетического спектра частиц в системах пониженой размерности План лекции
- •1.1. Потенциальный барьер конечной ширины.
- •1.2. Интерференционные эффекты при надбарьерном пролете частиц.
- •Лекция №4 особенности энергетического спектра частиц в системах пониженой размерности План лекции
- •1.1. Частица в прямоугольной потенциальной яме.
- •Лекция №5 особенности энергетического спектра частиц в системах пониженой размерности План лекции
- •1.1. Особенности движения частиц над потенциальной ямой.
- •1.2. Движение частицы в сферически симметричной прямоугольной потенциальной яме.
- •1.3. Энергетические состояния в прямоугольной квантовой яме с бесконечными стенками и дополнительным провалом.
- •Лекция №6 особенности энергетического спектра частиц в системах пониженой размерности План лекции
- •1.1. Энергетическая диаграмма квантовой ямы с конечными стенками и дополнительным провалом.
- •1.2. Структура со сдвоенной квантовой ямой. Энергетический спектр частицы в системе с δ-образным барьером.
- •Лекция №7 особенности энергетического спектра частиц в системах пониженой размерности План лекции
- •1.1. Прохождение частицы через многобарьерные квантовые структуры.
- •Лекция №8 процессы переноса в наноструктурах в электрических полях План лекции
- •1.1. Продольный перенос в наноструктурах в электрическом поле.
- •1. Электрон-фононное рассеяние.
- •2. Рассеяние на примесных атомах.
- •3. Рассеяние на шероховатостях границы раздела.
- •4. Межподзонное рассеяние.
- •Лекция №9 процессы переноса в наноструктурах в электрических полях План лекции
- •1.1. Поперечный перенос в наноструктурах в электрическом поле.
1.2. Гетеропереходы первого и второго типов.
Рассмотрим
одиночный гетеропереход между двумя
полупроводниками A
и B,
имеющими в общем случае различную ширину
запрещенной зоны
и
.
Принято
различать гетеропереходы 1-го и 2-го
типов, в зависимости от расположения
на зонной диаграмме дна зоны проводимости
и потолка валентной зоны материала А
по отношению к аналогичным величинам
материала В. Взаимное расположение этих
уровней энергии определяется как
положением их относительно уровня
энергии вакуума, общего для обоих
материалов, так и соотношением между
и
.
На
рис. 1.1 представлены зонные диаграммы
гетеро- переходов 1-го типа для случая,
когда разрыв зоны проводимости ЕС
больше
разрыва валентной зоны Е
(а)
и наоборот ЕС
< Е
(б).
|
Рис. 1.1. Гетеропереходы первого типа: а — ЕС >Е, б — ЕС >Е, ЕС
< Е,
|
В обоих случаях запрещенная зона материала В располагается внутри запрещенной зоны материала А, а движение электронов и дырок из материала В в материал А ограничено потенциальными барьерами, высота которых соответственно равна ЕС и Е. В таких гетероструктурах электроны и дырки локализуются в одной области пространства — в слое В.
Зонная диаграмма гетеропереходов 2-го типа представлена на рис. 1.2. Для гетеропереходов этого типа характерно, что запрещенные зоны материалов А и В либо частично перекрываются, либо вообще не перекрываются.
|
Рис. 1.2. Гетеропереходы второго типа: а, б — с перекрывающимися, в, г — с неперекрывающимися запрещенными зонами (а, в - ЕС >Е, б, г –ЕС < Е). |
В первом случае (рис. 1.2,а и 1.2,б) электроны или дырки локализуются в различных областях пространства (соответственно в слое В и А (рис. 1.2,а) или в А и В (рис. 1.2,б)). В случае гетеропереходов с неперекрывающимися запрещенными зонами электроны валентной зоны одного материала будут беспрепятственно переходить в зону проводимости другого материала (из А-слоя в В-слой на рис. 1.2,в, из В-слоя в А-слой на рис. 1.2,г). Возникающее в результате этого электростатическое поле исказит зонную диаграмму, а сам гетеропереход будет эквивалентен гетеропереходу полуметалл-полупроводник.
Известно, что энергия носителей заряда в объемном полупроводнике характеризуется тремя непрерывными квантовыми числами (компонентами волнового вектора k) k1, k2, k3 и в простейшем случае имеет вид
.
Ограничение движения носителей заряда в направлении хi , (i = 1,2,3) приводит к трансформации непрерывного квантового числа ki в дискретное квантовое число ni (ni = 1, 2, 3...) 1), нумерующее энергию размерного квантования. В остальных направлениях движение остается инфинитным и будет характеризоваться оставшимися компонентами волнового вектора.

и
-
энергетические уровни, соответствующие
дну зоны проводимости и потолку
валентной зоны материалов А и В, Ес,
- разрывы зон на интерфейсе.