- •Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение Высшего профессионального образования
- •Лабораторный практикум по курсу «Молекулярно-лучевая эпитаксия в технологии наноструктур» для студентов специальности 210601.65 Нанотехнология в электронике
- •Введение
- •1.1. Задачи лабораторной работы
- •1.2. Теоретическая часть
- •1.2.1. Фотоэлектрические процессы в инжекционном полупроводниковом лазере
- •1.2.2. Основные характеристики и параметры лазерных диодов
- •1.3. Объект исследования
- •1.6. Внешний вид волоконно-оптического лазерного модуля
- •1.4. Описание лабораторной установки и методов измерения
- •1.5. Порядок выполнения работы
- •Содержание отчета
- •1.7. Контрольные вопросы
- •2.1. Задачи лабораторной работы
- •2.2. Теоретическая часть
- •2.2.1. Фотоэлектрические процессы в p-I-n фотодиоде
- •2.2.2. Основные параметры и характеристики p-I-n фотодиода
- •2.3. Объект исследования
- •2.4. Описание лабораторной установки и методов измерения
- •2.5. Порядок выполнения работы
- •2.6. Содержание отчета
- •2.7. Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа №3 измерение частотной характеристики
- •3.1. Задачи лабораторной работы
- •3.2. Теоретическая часть
- •3.3. Объект исследования
- •3.4. Описание лабораторной установки и методов измерения
- •3.5. Порядок выполнения работы
- •3.6. Содержание отчета
- •3.7. Контрольные вопросы
- •4.1. Задачи лабораторной работы
- •4.2. Теоретическая часть
- •4.2.1. Лавинный процесс в р-п переходе
- •4.2.2. Характеристики лфд
- •4.3. Объект исследования
- •4.4. Описание измерительной установки и методов измерения
- •4.5. Порядок выполнения работы
- •4.6. Содержание отчета
- •4.7. Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа №5 получение методом молекулярно-лучевой эпитаксии светодиодов и измерение яркостно-токовой характеристики
- •5.1. Задачи лабораторной работы
- •5.2. Теоретическая часть
- •5.2.1. Физические процессы в р-п переходе светодиода
- •5.2.2. Основные параметры и характеристики фотоприемников
- •5.3. Объект исследования
- •5.4. Описание измерительной установки и методов измерения
- •5.5. Порядок выполнения работы
- •5.6. Содержание отчета
- •5.7. Контрольные вопросы
- •Оценка погрешностей результатов измерений
- •Значение коэффициента Стьюдента t для случайной величины X, имеющей распределение Стьюдента с (n-1) степенями свободы
- •Алгоритм обработки результатов косвенных измерений
- •Расчет погрешностей типовых задач
- •Литература
4.2.2. Характеристики лфд
Общий вид вольт-амперных характеристик p-i-n (Рисунок 2.4) и ЛФД (Рисунок 4.2) фотодиодов совпадает, отличаются лишь режимы работы: p-i-n фотодиод работает в линейном режиме, а ЛФД – в режиме лавинного умножения (т.е. в области лавинного пробоя). Отличительной особенностью вольт-амперной характеристики ЛФД является ее четко выраженная ступенчатость. Рисунок 4.2 показывает вольт-амперную характеристику InGaAs/InP ЛФД, на которой можно выделить три ступени:
1 ступень – происходит обеднение слоя умножения i-InР. В фотодиоде течет темновой ток, определяемый параметрами InP;
2. ступень – происходит обеднение варизонного зарядового слоя п- InGaAsP. Выходной ток определяется темновым током InGaAsP слоя и частично фототоком;
3. ступень - происходит полное обеднение поглощающего слоя. Электрическое поле достигает подложки, и выходной ток определяется суммой темнового тока поглощающего слоя InGaAs и фототока.
В лавинных фотодиодах так же, как и в p-i-n фотодиодах, наблюдается нелинейность характеристик при больших мощностях оптического излучения (Рисунок 4.3). При малых входном сигнале и первичном темновом токе, отсутствии посторонней засветки существует прямо пропорциональная зависимость между усиленным фототоком и мощностью оптического сигнала. По мере увеличения первичного фототока, умножаемой составляющей темнового тока или коэффициента умножения все большую роль начинают играть факторы, приводящие к нарушению этой пропорциональности. Среди таких факторов можно отметить падение напряжения на сопротивлении нагрузки R согласно формуле (4.2), увеличение плотности пространственного заряда в слое умножения, а также нагревание активной области при больших уровнях падающей энергии. Увеличение температуры активной области вызывает уменьшение коэффициентов ионизации, что в свою очередь согласно (4.3) приводит к уменьшению лавинного умножения. При больших значениях коэффициента умножения ток ЛФД перестает управляться светом.
Рисунок 4.3. - Зависимость коэффициента умножения и чувствительности лавинного фотодиода от тока во внешней цепи (мощности освещения) для различных начальных значений коэффициента умножения (чувствительности) при заданном напряжении смещения
4.3. Объект исследования
В данной лабораторной работе исследуется волоконно-оптический фотодиодный модуль, который представляет собой кристалл планарного InGaAs/InP лавинного фотодиода с диаметром фоточувствительной области 50 мкм, соединенный с одномодовым оптическим волокном и помещенный в герметичный металлический корпус (Рисунок 2.6). InGaAs/InP лавинный фотодиод работает в спектральном диапазоне 0.81.7 мкм (Рисунок 2.7) и имеет чувствительность 0.85 А/Вт на длине волны 1.55 мкм. Напряжение пробоя лавинного фотодиода составляет величину порядка 60 В.
4.4. Описание измерительной установки и методов измерения
Рисунок 4.4 показывает блок-схему лабораторной установки. В состав лабораторной установки входят:
стенд для измерения фотоэлектрических характеристик лавинного фотодиода;
вольтметр универсальный В7-73/2;
персональный компьютер с СОМ-портом и с операционной системой Win9x/2k/XP/Vista.
1 - порт управления стендом
2 - клемма заземления
3 - разъем питания
4 - входной ВЧ разъем лазерного диода
5 - выходной электрический разъем фотодиода
6 - выходной оптический разъем лазерного диода
7 - входной оптический разъем фотодиода
Рисунок 4.4. - Блок-схема лабораторной установки
Лабораторная установка позволяет измерить ток IPD через лавинный фотодиод в зависимости от напряжения смещения UPD и падающей на него мощности Рорt излучения лазерного диода, которая устанавливается интерфейсной программой. Излучение лазерного диода по одномодовому воло- конно-оптическому кабелю поступает на лавинный фотодиод. Напряжение U на сопротивлении нагрузки RL лавинного фотодиода измеряется с помощью вольтметра. Ток IPD через лавинный фотодиод и напряжение обратного смещения UPD на лавинном фотодиоде рассчитываются по следующим формулам:
IpD=U/RL, (4.4)
UPD=V – U, (4.5)
где V - напряжение питания лавинного фотодиода, которое задается интерфейсной программой.
В стенде лабораторной установки сопротивление нагрузки RL фотодиода равняется 44.1 кОм.
Лабораторная установка включается в следующем порядке:
Заземлить стенд, вольтметр и персональный компьютер.
Подсоединить стенд к СОМ-порту компьютера с помощью ноль модемного кабеля.
Подключить блок питания к стенду при положении "Выкл." кнопки включения стенда.
Подключить блок питания стенда к электрической сети 220 В, 50- 60 Гц.
Включить стенд (перевести кнопку включения стенда в положение "Вкл."). Индикатор на кнопке включения стенда указывает на наличия напряжения питания на стенде.
Включить компьютер и запустить интерфейсную программу стенда.
Выбрать в интерфейсной программе номер СОМ-порта, к которому подключен стенд, и произвести соединение интерфейсной программы со стендом нажатием кнопки "F9" на клавиатуре компьютера. Интерфейсная программа произведет диагностику работы стенда и при успешном соединении выведет сообщение "Соединение с СОМх установлено", где "х" - номер СОМ-порта, к которому подключен стенд.
Если самодиагностика стенда не выявила ошибок, включить вольтметр и подключить его к выходному разъему фотодиода стенда.
Соединить выходной оптический разъем лазерного диода с входным оптическим разъемом фотодиода с помощью одномодового волоконно- оптического.
