Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Kopia_Okonchatelny_variant_zapiski.docx
X
- •Оглавление
- •Введение
- •Обзор литературы по твердотельным моп-структурам
- •Разновидности полупроводниковых моп-структур. Развитие моп технологии
- •1.2 Моделирование процессов
- •1.2.1 Одномерная программа suprem
- •1.2.2 Система sentaurus tcad
- •1.3 Комплементарные моп-схемы
- •1.3.1 Особенности проектирования кмоп-схем
- •1.3.2 Защелкивание в кмоп-структурах и его предотвращение
- •1.3.3 Методы межкомпонентной изоляции в кмоп технологических процессах
- •1.4 Анализ обзора литературы и постановка цели исследования
- •2 Методы формирования межкомпонентной locos изоляции субмикронного кмоп технологического процесса
- •2.1 Технология изготовления locos изоляции
- •2.2 Структура locos изоляции
- •2.2.1 Обычная заглубленная locos изоляция
- •2.2.1.1 Электроизоляционная способность
- •2.2.1.2 Структурная изоляция материала
- •2.2.1.3 «Птичий клюв»: влияние параметров процесса
- •2.2.2 Встраиваемая locos изоляция
- •2.2.3 Расширенная locos изоляция
- •2.2.3.1 Silo изоляция
- •2.2.3.2 Полибуферный locos (pbl)
- •2.2.3.4 Боковые спейсеры locos структуры
- •2.2.4 Изоляция, ограниченная нитридом (nppbl)
- •2.2.4.1 Структура nppbl изоляции
- •2.2.4.2 Геометрические и электрические характеристики nppbl изоляции
- •2.3 Выводы
- •3 Маршруты создания передовых видов locos изоляции
- •3.1 Ls_locos изоляция
- •3.1.1 Выводы
- •3. 2 Pelox изоляция
- •3.2.1 Выводы
- •4 Экономическая часть
- •4.1 Краткое описание объекта
- •4.2 Расчет заработной платы
- •4.3 Калькуляция полной себестоимости
- •4.4 Выводы
- •5 Охрана труда
- •5.1.1 Опасные производственные факторы при термодиффузионных операциях
- •5.1.2 Вредные химические вещества
- •5.1.3 Метеорологические условия
- •5.1.4 Вентиляция
- •5.1.5 Производственное освещение
- •5.1.7 Электробезопасность
- •5.1.8 Пожарная безопасность
- •5.2 Техника безопасности
- •5.3 Расчет искусственного освещения
- •Заключение
- •Список используемой литературы
- •Приложение а – задание на преддипломную практику приложение б графический материал
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]