- •Оглавление
- •Введение
- •Обзор литературы по твердотельным моп-структурам
- •Разновидности полупроводниковых моп-структур. Развитие моп технологии
- •1.2 Моделирование процессов
- •1.2.1 Одномерная программа suprem
- •1.2.2 Система sentaurus tcad
- •1.3 Комплементарные моп-схемы
- •1.3.1 Особенности проектирования кмоп-схем
- •1.3.2 Защелкивание в кмоп-структурах и его предотвращение
- •1.3.3 Методы межкомпонентной изоляции в кмоп технологических процессах
- •1.4 Анализ обзора литературы и постановка цели исследования
- •2 Методы формирования межкомпонентной locos изоляции субмикронного кмоп технологического процесса
- •2.1 Технология изготовления locos изоляции
- •2.2 Структура locos изоляции
- •2.2.1 Обычная заглубленная locos изоляция
- •2.2.1.1 Электроизоляционная способность
- •2.2.1.2 Структурная изоляция материала
- •2.2.1.3 «Птичий клюв»: влияние параметров процесса
- •2.2.2 Встраиваемая locos изоляция
- •2.2.3 Расширенная locos изоляция
- •2.2.3.1 Silo изоляция
- •2.2.3.2 Полибуферный locos (pbl)
- •2.2.3.4 Боковые спейсеры locos структуры
- •2.2.4 Изоляция, ограниченная нитридом (nppbl)
- •2.2.4.1 Структура nppbl изоляции
- •2.2.4.2 Геометрические и электрические характеристики nppbl изоляции
- •2.3 Выводы
- •3 Маршруты создания передовых видов locos изоляции
- •3.1 Ls_locos изоляция
- •3.1.1 Выводы
- •3. 2 Pelox изоляция
- •3.2.1 Выводы
- •4 Экономическая часть
- •4.1 Краткое описание объекта
- •4.2 Расчет заработной платы
- •4.3 Калькуляция полной себестоимости
- •4.4 Выводы
- •5 Охрана труда
- •5.1.1 Опасные производственные факторы при термодиффузионных операциях
- •5.1.2 Вредные химические вещества
- •5.1.3 Метеорологические условия
- •5.1.4 Вентиляция
- •5.1.5 Производственное освещение
- •5.1.7 Электробезопасность
- •5.1.8 Пожарная безопасность
- •5.2 Техника безопасности
- •5.3 Расчет искусственного освещения
- •Заключение
- •Список используемой литературы
- •Приложение а – задание на преддипломную практику приложение б графический материал
5.1.4 Вентиляция
Кондиционированный воздухообмен должен обеспечивать распределение поступающего очищенного воздуха с равномерной температурой по всей высоте помещения, исключать его конвекцию, сквозняки и направленные потоки, которые могут привести к усиленному перемещению частиц пыли.
Очищают воздух фильтрацией с последующим кондиционированием до необходимой относительной влажности, температуры.
Запыленность помещений определяется количеством пылинок в 1 л воздуха или количеством пылинок, оседаемых на 1 см2 поверхности в 1 ч. Для уменьшения запыленности необходимо, чтобы давление воздуха в помещениях более низкой категории на 24,5 – 49 Па.
Установка вытяжной вентиляции состоит из вытяжного отверстия, через которое воздух удаляется из помещения, вентилятора, воздуховодов, устройства для очистки воздуха от пыли, устройства для выброса воздуха [23].
5.1.5 Производственное освещение
В помещении используется искусственное освещение. В качестве источников света используются люминесцентные лампы, расположенные на потолке. Искусственное освещение по способу расположения источников света является общим.
Руководствуясь положениями ТКП 45-2.04-153-2009, установлен 4 разряд и “б” подразряд зрительных работ [24].
5.1.6 Шум
В цеху источниками шума являются местная вытяжная вентиляция и
технологическое оборудование.
Согласно санитарным нормам, правилам и гигиеническим нормативам «Шум на рабочих местах, в транспортных средствах, в помещениях жилых, общественных и на территории жилой застройки» характеристикой постоянного шума на рабочем месте является уровень звукового давления в дБ в октавных полосах частот и уровень звука в дБА. Так как для помещения цеха допустимый уровень звука составляет 80 дБА, а при частоте 1000 Гц допустимым уровнем звукового давления является величина в 75 дБ. Фактический уровень шума составляет 70 дБ.
Для борьбы с шумом, проникающим из оборудования, на пути его распространения устанавливают звукоизолирующие и звукопоглощающие конструкции.
Организационные мероприятия включают своевременное качественное проведение обслуживания и ремонта; выполнение правил технической эксплуатации оборудования [25].
5.1.7 Электробезопасность
При проведении операций существует электроопасность в виде поражения электрическим током.
Производственный цех относится к I-му классу по опасности поражения электрическим током, т.е. без повышенной опасности: помещения с температурой меньше 35 ºС, относительная влажность меньше 75 %, в воздухе отсутствует токопроводящая пыль, полы выполнены из нетокопроводного материала.
Для предотвращения поражения электрическим током перед началом работы необходимо проверить и в процессе следить за наличием и использованием защитного заземления, целостностью изоляции токоведущих проводов, корпусов розеток и вилок включения, целостностью заземленных проводников, плотностью их контактов присоединения, отсутствием оголенных токоведущих частей оборудования, проводов.
При контроле прочности сварных соединений проверить наличие и надежность защитного заземления стола и трансформатора микроскопа, целостность вилок.
Меры защиты от поражения электрическим током:
- предусмотрено применение защитных ограждений;
- безопасное расположение токоведущих частей;
- изолирование токоведущих частей;
- предусмотрено применение защитного заземления для обеспечения защиты от поражения электрическим током при прикосновении к металлическим токоведущим частям;
- установка знаков безопасности («РАБОТА ПОД НАПРЯЖЕНИЕМ», «ОПАСНО ДЛЯ ЖИЗНИ» и др.);
- назначение лиц, ответственных за организацию и безопасность производства работ.
