4.4 Выводы

В результате выполнения расчетов были определены основные экономические показатели производства и реализации разрабатываемого изделия. Данная технология термодиффузионной обработки не имеет аналогов на территории Беларуси и стран СНГ. Современная практика показывает, что изготовление аналогичной продукции за рубежом уступает по сложности предложенному варианту, поэтому создание и внедрение позволит производить данное изделие с меньшими материальными затратами.

5 Охрана труда

В данном разделе рассматриваются вопросы охраны труда в производственном помещении, где проводятся операции термодиффузионной обработки пластин, оценки качества технологического процесса путем контроля диффузионных параметров и вольтамперных характеристик тестовых элементов.

При эксплуатации, ремонте и испытаниях технологического оборудования обслуживающий персонал должен быть защищен от опасных и вредных производственных воздействий, таких как: поражение электрическим током; движущимися и вращающимися частями оборудования; передвигающимися изделиями, заготовками, материалами; токсилогическое и раздражающее воздействие вредных веществ на организм человека при проникновении через органы дыхания, желудочно-кишечный тракт, кожные покровы и слизистые оболочки. Источниками электрической опасности являются электрические сети питания оборудования, высоковольтные источники и пульты.

5.1.1 Опасные производственные факторы при термодиффузионных операциях

В процессе изготовление интегральных схем возможно воздействие опасных производственных факторов:

• вредные химические вещества;

• возможность поражения электрическим током;

• шум;

• возможность возникновения пожара [20].

5.1.2 Вредные химические вещества

Воздух рабочей зоны производственного помещения должен соответствовать санитарно-гигиеническим требованиям по содержанию вредных веществ, приведённым в Постановлении Минздрава РБ № 211 от 28.12.2012 г. Санитарные нормы и правила «Гигиеническая классификация условий труда». В процессе работы оператор диффузионных процессов применяет диффузанты (треххлористый фосфор и трехбромистый бор).

Треххлористый фосфор представляет собой бесцветную жидкость, дымящуюся на воздухе, с раздражающим слизистые оболочки запахом. Треххлористый фосфор очень ядовит - вызывает сильные ожоги кожи, а попадание его в организм (даже в незначительных количествах) может привести к летальному исходу. Фактическое значение концентрации данного вещества составляет 0,4 мг/м³. ПДК –– 1мг/м³.

Бор трехбромистый – это неорганическое химическое соединение, представляющее собой бесцветную либо имеющую слегка желтоватый оттенок жидкость, которая дымится на воздухе. Температура кипения трехбромистого бора составляет 91 ºC. Температура плавления данного химического соединения равна 46 ºC. При воздействии бромида бора на кожу может наблюдаться покраснение, волдыри и ожоги. Попадание трехбромистого бора в глаза может привести к глубоким сильным ожогам. Фактическое значение концентрации данного вещества составляет 2,1 мг/м³. ПДК –– 5 мг/м³ [21].

5.1.3 Метеорологические условия

Состояние микроклимата играет важную роль для обеспечения высокой работоспособности рабочих.

В соответствии с СанПиН №9-80 РБ 98 основными показателями, характеризующими микроклимат в производственных помещениях, являются:

• температура воздуха;

• относительная влажность воздуха;

• скорость движения воздуха;

• температура поверхностей;

• ТНС – индекс;

• интенсивность теплового облучения.

Параметры микроклимата нормируются в зависимости от периода года (холодный, теплый), от категории работ (легкие, средней тяжести, тяжелые) и от вида рабочего места (постоянное, непостоянное).

Работы, выполняемые при проведении технологических процессов изготовления можно отнести к категории легких физических работ (категория Iа).

Оптимальные величины показателей микроклимата для данного вида работ приведены в таблице 5.1

Таблица 5.1 - Оптимальные нормы микроклимата

Категория работ	Показатели микроклимата	Холодный период года	Теплый период года
1	2	3	4
I а	Температура воздуха, ºС	22  24	23  25
	Относительная влажность воздуха, %	4060	4060
	Скорость движения воздуха, м/с	< 0,1	< 0,1

По требованиям электронно-вакуумной гигиены помещение относят к первой категории, так называемые герметичные помещения (полностью изолированные от внешней среды), или гермозоны.

Обеспечение нормальных метеорологических условий в помещениях предприятия заложено при проектировании здания. Поддержание оптимальных температур в помещении в холодный период времени года осуществляется централизованным отоплением [22].