3.2.1 Выводы

1. Удалось уменьшить величину «клюва» до 0,1 мкм. Присутствуют элементы с полностью закисленными краями. Края маски Si₃N₄ немного загнуты вверх (подняты) окислом по краям длинных элементов прямоугольной формы, процесс локального окисления пошёл под маску Si₃N₄ вдоль границы с кремнием.

2. Кремний в полости (cavity) при окислении увеличивается в объёме, расширяется. Для уменьшения «клюва» желательно уменьшить толщину поднитридного окисла до 8 нм (рекомендация IMEC).

3. Практически выполнено требование по профилю травления Si₃N₄ и Si. Не получен угол наклона боковой стенки Si₃N₄ (требование IMEC). По факту получено: (78-80)º в узком зазоре, (72-73)º в широком. Получен вертикальный профиль канавки в Si.

4 Экономическая часть

4.1 Краткое описание объекта

В данном разделе проводится расчет стоимости термодиффузионной обработки пластин.

Цена складывается из себестоимости, прибыли и налоговых платежей.

Необходимо определить себестоимость термодиффузионной обработки пластин, компонентов, а также заработную плату основных и вспомогательных рабочих.

Перечень используемых покупных компонентов представлен в таблице 4.1.

Таблица 4.1- Перечень используемого покупного сырья

N n/n	Наименование сырья, используемого в процессе диффузии	Ед. Изм.	Количество на одно изделие	Оптовая цена за единицу изделия, руб.
1	HCl	кг	0.01	250000
2	PCl3	кг	0.0053	2000000
3	DCE	кг	0.00025	3000000
4	H	м3	2	16000
5	N	м3	0.8	500

Краткая характеристика технологического процесса производства представлена в таблице 4.2.

Таблица 4.2 – Технологический процесс изготовления изделия

Наименование операции	Разряд работы	Используемое оборудо-вание, рабочие места	Оптовая цена ед. оборудования, млн. руб.	Коэффициент выполне-ния норм времени, Кв	Штучное время на опера-цию (tшт.), ч	Штучное время с учетом Кв, (tшт.), ч.
Термодиффузионная обработка	7	DC-6000E	12975	1,05	0,5	0,525

Общие затраты на материалы на единицу продукции З_м можно рассчитать по следующей формуле

(4.1)

З_м = 1,05(250000*0.01+2000000*0.0053+3000000*0.00025+2*16000+0.8*500) = 48563 руб

где К_т.з - коэффициент, учитывающий транспортно-заготовительные расходы при приобретении материалов, К_т.з = 1,05;

n - номенклатура применяемых сырья и материалов;

М_н - норма расхода материала на единицу продукции, кг;

Ц_м - цена единицы массы материала, руб.

Стоимость вспомогательных материалов, необходимых для ухода за оборудованием и содержанием его в рабочем состоянии составляет 450000.

Таким образом, общая сумма затрат на материалы на программу составляет

P_м = 48563 +450000 = 498563 руб.