Оглавление

ОГЛАВЛЕНИЕ 5

ВВЕДЕНИЕ 8

1 ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ ПО ТВЕРДОТЕЛЬНЫМ МОП-СТРУКТУРАМ 10

1.1 Разновидности полупроводниковых МОП-структур. Развитие МОП технологии 10

1.2 Моделирование процессов 15

1.2.1 Одномерная программа SUPREM 15

1.2.2 Система SENTAURUS TCAD 16

1.3 Комплементарные МОП-схемы 17

1.3.1 Особенности проектирования КМОП-схем 20

1.3.2 Защелкивание в КМОП-структурах и его предотвращение 22

1.3.3 Методы межкомпонентной изоляции в КМОП технологических процессах 23

1.4 Анализ обзора литературы и постановка цели исследования 25

2 МЕТОДЫ ФОРМИРОВАНИЯ МЕЖКОМПОНЕНТНОЙ LOCOS ИЗОЛЯЦИИ СУБМИКРОННОГО КМОП ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА 26

2.1 Технология изготовления LOCOS изоляции 26

2.2 Структура LOCOS изоляции 29

2.2.1 Обычная заглубленная LOCOS изоляция 29

2.2.1.1 Электроизоляционная способность 29

2.2.1.2 Структурная изоляция материала 31

2.2.1.3 «Птичий клюв»: влияние параметров процесса 33

2.2.2 Встраиваемая LOCOS изоляция 37

2.2.3 Расширенная LOCOS изоляция 37

2.2.3.1 SILO изоляция 38

2.2.3.2 Полибуферный LOCOS (PBL) 39

2.2.3.3 SWAMI 40

2.2.3.4 Боковые спейсеры LOCOS структуры 42

2.2.4 Изоляция, ограниченная нитридом (NPPBL) 44

2.2.4.1 Структура NPPBL изоляции 44

2.2.4.2 Геометрические и электрические характеристики NPPBL изоляции 47

2.3 Выводы 52

3 МАРШРУТЫ СОЗДАНИЯ ПЕРЕДОВЫХ ВИДОВ LOCOS ИЗОЛЯЦИИ 54

3.1 LS_LOCOS изоляция 54

3.1.1 Выводы 61

3. 2 PELOX изоляция 61

4 ЭКОНОМИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ 69

4.1 Краткое описание объекта 69

4.2 Расчет заработной платы 71

4.3 Калькуляция полной себестоимости 73

4.4 Выводы 75

5 ОХРАНА ТРУДА 76

5.1.1 Опасные производственные факторы при термодиффузионных операциях 76

5.1.2 Вредные химические вещества 76

Воздух рабочей зоны производственного помещения должен соответствовать санитарно-гигиеническим требованиям по содержанию вредных веществ, приведённым в Постановлении Минздрава РБ № 211 от 28.12.2012 г. Санитарные нормы и правила «Гигиеническая классификация условий труда». В процессе работы оператор диффузионных процессов применяет диффузанты (треххлористый фосфор и трехбромистый бор). 76

Треххлористый фосфор представляет собой бесцветную жидкость, дымящуюся на воздухе, с раздражающим слизистые оболочки запахом. Треххлористый фосфор очень ядовит - вызывает сильные ожоги кожи, а попадание его в организм (даже в незначительных количествах) может привести к летальному исходу. Фактическое значение концентрации данного вещества составляет 0,4 мг/м³. ПДК –– 1мг/м³. 77

Бор трехбромистый – это неорганическое химическое соединение, представляющее собой бесцветную либо имеющую слегка желтоватый оттенок жидкость, которая дымится на воздухе. Температура кипения трехбромистого бора составляет 91 ºC. Температура плавления данного химического соединения равна 46 ºC. При воздействии бромида бора на кожу может наблюдаться покраснение, волдыри и ожоги. Попадание трехбромистого бора в глаза может привести к глубоким сильным ожогам. Фактическое значение концентрации данного вещества составляет 2,1 мг/м³. ПДК –– 5 мг/м³ [21]. 77

5.1.3 Метеорологические условия 77

5.1.4 Вентиляция 78

5.1.5 Производственное освещение 79

5.1.6 Шум 79

5.1.7 Электробезопасность 79

5.1.8 Пожарная безопасность 80

5.2 Техника безопасности 81

5.3 Расчет искусственного освещения 82

ЗАКЛЮЧЕНИЕ 86

СПИСОК ИСПОЛЬЗУЕМОЙ ЛИТЕРАТУРЫ 87

ПРИЛОЖЕНИЕ Б – ГРАФИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ 87

ПРИЛОЖЕНИЕ В – ГРАФИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ 97

ПРИЛОЖЕНИЕ Г – ГРАФИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ 98