Устройство и работа установки

Работа установки заключается в перенесении изображения фотошаблона на полупроводниковой пластину методом контактного экспонирования без зазора и к онтактного экспонирования с зазором на фотошаблоне изменяются прозрачные и не прозрачные элементы которые по специальным знакам совмещаются с соответствующими элементами на полупроводниковой пластине. На пластине нанесен слой фоторезиста который при экспонировании через фотошаблон меняет свои химические свойства, под прозрачными и не прозрачными элементами фотошаблону, и благодаря этому обеспечивает проведение дальнейших технологических операций.

Фотошаблон устанавливается по трем жестким упорам на плиту шаблонодержателя таким образом, что бы знаки совмещения на фотошаблоне находились в поле зрения объектов микроскопа совмещения. Полупроводниковая пластина из подающей кассеты по пневмодорожке подает на столик предварительной ориентации где с помощью специального устройства ориентируется по боковому срезу и диаметру.

По окончании ориентации столик предварительной ориентации поднимается в верх до калибра, пластина прихватывается вакуумом к калибру. После чего калибр вместе с пластиной перемещается в зону совмещения.

Рабочий столик вместе с калибром и полупроводниковой пластиной перемещается в зону совмещения. Затем столик вместе с калибром и полупроводниковой пластиной поднимается вверх механизмом вертикальных перемещений до упора калибра в фотошаблон, при этом переходит передача пластины с калибром на рабочий столик и выравнивание полупроводниковой пластины в плоскости, параллельно рабочей плоскости фотошаблона, стоящей от его на толщину калибра.

Рабочий столик с п/п пластиной возвращается в исходное положение, а калибратор в зону предварительной ориентации. Затем рабочий столик с п/п пластиной опять поднимается в верх и останавливается на определенном расстоянии от фотошаблона соответствующим заранее установленному зазору.

Совмещение рисунков фотошаблона и п/п пластины производится манипулятором совмещения, наблюдение за процессом производится микроскопом.

П о окончании совмещения производится экспонирование осветителя с лампой ДРШ – 350. Контроль за временем экспонирования осуществляется дозатором световой энергии. После окончания экспонирования столик с п/п пластиной опускается в исходное положение, п/п пластина струей воздуха сдувается со столика на пневмодорожку и далее в приемную кассету.

Блок совмещения предназначен для транспортировки п/п пластин, их предварительной ориентации перевод пластин из зоны ориентации в зону совмещения, выравнивания пластины по отношению к фотошаблону, образования рабочих зазоров получения надежного контакта пластины и фотошаблона. Все узлы и детали боков совмещения смонтированы в литом пульте.

На верхней плоскости корпуса в средней его части закреплены опоры , на которых установлен манипулятор со смонтированным на нем блоком загрузки и шаблонодержателя.

На поворотном диске манипулятора закреплен механизм вертикальных перемещений, на сфере которого смонтирован рабочий столик. Слева на литом корпусе на 4 шаровых опорах смонтирован механизм перемещения кассет, соединенный с корпусом манипулятором пружинами.

Манипулятор с закрепленным на ней механизмами и механизм перемещения кассет имеют возможность перемещения ручкой. Направленное движение обеспечивается сепараторами и направляющими.

Слева от задней части корпуса крепится панель клапанов. С права предусмотрено место для установки пульта управления. На блоке совмещения на оси монтируется блок экспонирования и контроля совмещения имеющий возможность поворота на определенный угол от пневмоцилиндра.

Блок загрузки имеет плиту на которой монтируется пенвмодорожка. Пневмокамера через рычаг передает движения механизму подъема, который подымает ориентировочную пластину совместно с механизмом ориентации до контакта ее с калибром, где пластина прихватывается калибром на вакуум.

Исходное положение механизма ориентации выставляется упором, а ход его регулируется винтом и контролируется датчиком.

На плите с низу монтируется привод который через кривошип и шатун по направляющей перемещает каретку свободно посажены в нем калибром в зону совмещения.

Ход каретки выставляется упорами, крайнее ее положение контролируется датчиком. Для транспортировки готовой пластины, сдуваемой с рабочего столика соплом, служит пенвмодорожка. Механизм ориентации служит для предварительной ориентации п/п пластин. Для обеспечения концентрического расположения п/п пластин относительно рабочего стола предусмотрена подвижка ползуна витом-шестерней относительно рейки и подвижной планки. Фиксация ползуна в определенном положении осуществляется винтом.

Манипулятор предназначен для обеспечения точных перемещений п/п пластины по осям x,y и углу поворота . Перемещение плиты по оси х, осуществляется через упор эксцентриком механизма перемещений жестка смонтированного на неподвижной плите. Поворот эксцентрика осуществляется приводом закрепленным на механизме перемещений.

Перемещение по оси у осуществляется через упор эксцентриками механизма перемещений, жестко смонтированного на неподвижной плите. Привод предназначен для оперативного управления процессом совмещения.

Тонкое перемещение осуществляется ручкой вращения непосредственно передается на зубчатое колесо. Грубое перемещение осуществляется ручкой. Вращение зубчатому колесу передается через планетарный механизм, состоящий из колеса зубчатого, вала и шестерни.

Блок экспонирования и контроля совмещения предназначен для визуального контроля совмещения рисунков фотошаблона и п/п пластины и последующего дозированного освещения.