6 Порядок подготовки оборудования, материалов, рабочего места к выполнению технологического процесса

Согласно руководству оператора с клавиатуры пульта вводится технологическая программа.

Перед загрузкой первой пластины управляющая программа выполняет следующие действия:

- приводит все исполнительные элементы в исходное состояние;

- проверяет исходное состояние всех датчиков;

- включает клапаны подачи рабочих газов. При этом проверяет наличие рабочих газов по состоянию датчиков;

- включает насос камеры. При этом проверяет состояние КНД;

- включает насос шлюзов и проверяет состояние ШНД;

- включает вакуумный клапан откачки камеры и соответственно проверяет состояние датчика ТОТКД;

- включает вакуумный клапан откачки шлюзов и проверяет состояние датчика ШКЛВД;

- проверяет наличие обдува;

Дважды приводит в действие механизм кулисы с целью обнаружению пластин в камере. Если в камере имеются пластины, то они выгружаются;

- включает реле накала и проверяет соответствующий датчик подтверждения НАКД;

- включает реле ДТУПР и ДТУСТ;

- через пять минут в рабочем режиме проверяет пределы заданных технологических параметров (давление в камере и шлюзах, расход газа по трем каналам, температуру), включает реле АНОД с последующей проверкой соответствующего датчика подтверждения и наличие согласования;

- через одну минуту проверяет пределы прямой и отраженной мощности.

После возвращения датчика ШЗПК в исходное состояние управляющая программа формирует:

- сигнал включения двигателя загрузчика З1ВН и начинается загрузка второй пластины. По этому сигналу начинается загрузка второй и всех последующих пластин с первой и второй кассет;

- сигнал отключения двигателя транспортера шлюза, а двигатель входного транспортера камеры остается включенным до конца цикла, то есть до момента выгрузки последней пластины;

- запуск временной задержки (время гарантированного прохождения пластиной выходного затвора шлюза выгрузки). По истечении этой задержки снимается напряжение с клапанов, и выходной затвор шлюза загрузки закрывается. При этом датчики принимают исходное состояние.

В работе автомата имеются следующие особенности.

Если по окончании выгрузки обеих кассет питание автомата не выключается и на позиции загрузки устанавливаются новые кассеты, то приемники возвращаются в исходное состояние после повторного запуска автомата.

Когда отсутствует кассета на любой позиции загрузки или приема, соответствующий загрузчик или приемник устанавливается в крайнее верхнее положение . в этом случае программа анализирует состояние датчиков. Если состояние датчика противоположно исходному, то включается соответствующий двигатель и устанавливает механизм в верхнее положение.

Если на позицию загрузчика устанавливается неполная кассета, то приемник после приема последней пластины устанавливается в верхнее положение. Этим обеспечивается возможность выгрузки пластин в приемник.

7 Основные неисправности и методы устранения

Таблица 10- Основные неисправности

Наименование неисправностей	Вероятная причина	Метод устранения
1. Вакуумная система не обеспечивает остаточного давления в реакционных камерах	а) наличие течи б) мало масла в насосе в) загрязнено масло	а) устранить течь б) долить масло в насос в) заменить масло
2. На блоке управления не включаются отдельные блоки	Сгорел предохранитель	Заменить предохранитель
3. Не включается генератор при нажатии кнопки S1-1	а) сгорел предохранитель блока управления и питания б) отсутствует перемычка на контактах 8-10 разъема Х2 блока управления и питания при отсутствии дистанционного управления.	а) заменить предохранитель
4. Не включается анодное напряжение (через3-4 мин) при нажатой кнопке анод.	а) неисправна одна из блокировок установки б) не работает вентилятор охлаждения лампы	а) проверить исправность блокировок
5. Мало или отсутствует ВЧ мощности на выходе блока высокочастотного.	а) пробит выходной кабель б) неисправны элементы схемы генератора	а) заменить кабель