
- •Оглавление
- •Введение
- •Глава 1. Особенности проектирования имс
- •Глава 2. Проектирование гибридных интегральных микросхем (гис)
- •2.1 Конструктивно-технологические особенности.
- •2.2 Определение функциональной сложности.
- •2.3 Методы оптимизации гис по критерию функциональной точности.
- •Глава 3. Расчет и проектирование пленочных резисторов.
- •3.1 Расчет геометрических размеров резисторов.
- •3.2 Выбор и обоснование материала резистивной пленки.
- •3.3. Расчет и проектирование контактного перехода типа “пленка-пленка”.
- •3.4 Проектирование подгоняемых резисторов.
- •3.5. Точность отношения резисторов.
- •Глава 4. Расчет и проектирование пленочных конденсаторов.
- •4.1 Конструктивно-технологические особенности и основные параметры.
- •4.2 Расчет геометрических размеров конденсаторов.
- •4.3 Потери в пленочных конденсаторах.
- •4.4 Планарные конденсаторы.
- •Последовательность расчета геометрических размеров пленочных конденсаторов.
- •4.5. Проектирование прецизионных конденсаторов.
- •Глава 5. Расчет и проектирование rc-структур с распределенными параметрами.
- •5.1 Тонкопленочные rc-структуры с распределенными параметрами.
- •5.2 Режекторные фильтры на основе rc-структур.
- •5.3 Влияние погрешностей геометрии rc-структуры на электрические характеристики режекторных фильтров.
- •5.4 Избирательные rc-усилители.
- •5.5 Активные фильтры на основе rc-структур.
- •5.6. Конструктивный расчет фильтров на основе rc-структур.
- •Глава 6. Основы оптимального проектирования гис
- •6.1 Зависимости погрешности выходного параметра от физических и геометрических параметров элементов.
- •6.2 Исходные данные для проектирования топологии.
- •Схемотехнические данные и требования.
- •Технологические данные и ограничения.
- •3. Конструктивные данные и требования.
- •6.3 Конструктивные методы защиты имс от воздействия дестабилизирующих факторов.
- •6.4 Бескорпусная герметизация гис.
- •Глава 7. Разработка топологии и конструкции гис.
- •7.1. Принципы практического проектирования и компоновки топологической структуры гис.
- •7.2. Разработка коммутационной схемы соединений.
- •Заключение
- •Литература
- •Приложение 1.
- •Приложение 2. Проектирование фильтров на основе rc—структур с распределенными параметрами средствами Microwave Office. Введение
- •Схемы и результаты моделирования
- •Широкая микрополосковая двухпроводная линия из проводников с различным сопротивлением
- •Однопроводная линия над проводящим слоем
- •Базовая схема используется как элемент других схем
- •Заземление подсхемы в схеме
- •Составные или гибридные rc-структуры и lc-цепи
- •Локальные экстремумы
4.5. Проектирование прецизионных конденсаторов.
При необходимости получения конденсаторов повышенной точности, превосходящей технологические возможности производства, применяют специальные конструкции, допускающие, как правило, дискретную подгонку емкости (рис. 4.3):
Рис.4.3
Конструкция предусматривает наличие двух частей: основную, не подгоняемую часть и дополнительную с подгоночными секциями Сi. При равных значениях Сi имеет место подгонка с постоянным шагом; при Сi Сj имеет место подгонка с переменным шагом. Дискретное изменение емкости конденсатора осуществляется удалением перемычек в соответствующих областях, что приводит к уменьшению емкости на С. Таким образом в процессе подгонки емкость конденсатора изменяется в сторону уменьшения. Тогда при максимальном значении емкости не подгоняемой части и подгоночных секций емкость конденсатора должна быть равна номинальному значению при отключенных всех n подгоночных секций, то есть:
|
(4.20) |
Отсюда емкость не подгоняемой части конденсатора:
|
(4.21) |
При этом емкость одной подгоночной секции в наихудшем случае не должна превышать величины поля допуска, то есть:
|
(4.22) |
Отсюда величина емкости подгоночной секции:
|
(4.23) |
где с – величина допуска, выраженная в пф.
И, наконец, число подгоночных секций определяется из очевидного соотношения:
|
(4.24) |
где
определяется из условия:
|
(4.25) |
Отсюда
|
(4.26) |
Полученное значение n согласно (4.24) округляется до ближайшего большего целого числа. При этом площадь перекрытия обкладок подгоночной секции:
|
(4.27) |
а площадь перекрытия обкладок не подгоняемой части конденсатора:
|
(4.28) |
На основании (4.27) и (4.28) ведется расчет геометрических размеров конденсатора согласно раздела 4.5 настоящего издания.
При значении n10 целесообразно использовать конструкцию с переменным шагом подгонки с законом изменения шага подгонки в виде геометрической прогрессии со знаменателем q = 2.
При этом заданная точность обеспечивается секцией с площадью перекрытия, определяемой (4.27), а необходимое количество секций определяется согласно (3.43). Тогда площади перекрытий подгоночных секций определяется как:
|
(4.29) |
Глава 5. Расчет и проектирование rc-структур с распределенными параметрами.
5.1 Тонкопленочные rc-структуры с распределенными параметрами.
Развитие пленочной микроэлектроники с ее специфическими методами привело к разработке тонкопленочных RC-структур с распределенными параметрами. Так как в них функции емкости и сопротивления совмещены, они являются прототипом мономорфных конструкций, в которых единая структура выполняла бы все функции RC схем. Кроме того RC-структуры, состоящие в общем случае из чередующихся резистивных и диэлектрических слоев с контактами, позволяют существенно сократить размеры схем, повысить их надежность, а часто и получить новые характеристики, недостижимые при использовании RC элементов с сосредоточенными параметрами. Распределенные RC-структуры могут быть трехслойными, четырехслойными типа RC-NR и CR-NC, а также многослойными (рис. 5.1):
|
|
|
|
а) |
б) |
в) |
г) |
Рис.5.1
В силу того, что CR-NC структуры (рис. 5.1в, г) содержат два диэлектрических слоя, надежность подобных структур существенно меньше, чем RC-NR структур (рис. 5.1а, б). Поэтому в дальнейшем рассматриваются вопросы проектирования и расчета схем на основе RC-NR структур и их производных.
Эта структура содержит резистивную пленку R, диэлектрическую пленку, определяющую величину емкости С, и резистивную пленку NR, где N изменяется от нуля до бесконечности. Функциональная гибкость подобной структуры определяется большим числом возможных вариантов включения выводов, выбором закона изменения сопротивления и емкости структуры вдоль ее длины, добавлением дискретных компонент и так далее. Например, для однородных структур, характеризующихся постоянной величиной R(x) и C(x), за счет различных соединений выводов можно получить 34 производные схемы, из которых 13 - двухполюсники; 15 - трехполюсники; 6 - четырехполюсники.
Рассмотрим простейшую одномерную модель RC-NR структуры:
Рис.5.2
Эквивалентную схему этой структуры можно представить в виде последовательного соединения бесконечно большого числа ячеек вида рис. 5.2. Здесь R(x) и C(x) распределенные на единицу длины сопротивление и емкость структуры. Система уравнений, описывающих данную цепь, имеет вид:
|
(5.1) |
где 0 < x < l – длина структуры;
R(x) и C(x) – соответственно сопротивление и емкость структуры на единицу длины.
Решение данной системы уравнений для однородных RC-структур для наиболее привлекательных вариантов двух- и трехполюсного включения представлены в таблицах 5.1 и 5.2.
Таблица 5.1.
Вариант |
RC - двухполюсники |
Сопротивление Zвх |
1 |
|
|
2 |
|
|
3 |
|
|
4 |
|
|
Таблица 5.2.
Вариант |
Схема включения |
А-матрица |
Z-матрица |
Функция передачи |
1 |
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
3 |
|
|
|
|
Здесь
.
На основе RC-структур можно построить частотно-избирательные устройства, обладающие характеристиками фильтров нижних частот (ФНЧ), верхних частот (ФВЧ), полосовых фильтров (ПФ) и режекторных фильтров (РФ).
Для первой схемы включения функция передачи:
|
(5.2) |
Поведение этой
функции полностью характеризуется
расположением ее нулей и полюсов на
комплексной плоскости
Полюса функции (5.2) определяются
уравнением:
|
(5.3) |
В силу того, что аргумент функции (5.3) иррационален, введем нормированную переменную:
|
(5.4) |
Тогда
|
(5.5) |
где
|
(5.6) |
Подставляя (10.5) в (10.3) получаем
|
(5.7) |
которое сводится к системе уравнений:
|
(5.8) |
|
(5.9) |
Из соотношения (5.8) следует, что при:
|
(5.10) |
После подстановки этих значений в (5.5) найдем полюса:
|
(5.11) |
Видно, что полюса системы располагаются на вещественной отрицательной полуоси комплексной плоскости Р и их здесь счетное множество. В предположении yn=0, передаточная функция (5.2) перепишется:
|
(5.12) |
Преобразовав
|
(5.13) |
Получим
|
(5.14) |
где
,
а АЧХ определяется выражением
|
(5.15) |
а ФЧХ определяется по следующей формуле
|
(5.16) |
Видно, что по сравнению с аналогичными характеристиками схемы на сосредоточенных RC элементах имеет место более крутой спад АЧХ и неограниченное нарастание фазового сдвига при возрастании частоты.
Параметры RC-структуры с частотой среза ФНЧ связаны соотношением:
|
(5.17) |
Проведя аналогичный анализ для схемы 2 табл. 5.2 можно получить выражение передаточной функции:
|
(5.18) |
Отсюда АЧХ и ФЧХ имеют вид соответственно:
|
(5.19) |
|
(5.20) |
Согласно (5.18) видно, что имеет место реализация ФВЧ. При этом параметры RC-структуры с граничной частотой связаны соотношением:
|
(5.21) |
Особенность третьего варианта схемы включения RC-структуры - постоянство коэффициента передачи, что позволяет его использовать в качестве частотно-независимого делителя напряжения.