
- •Оглавление
- •Введение
- •Глава 1. Особенности проектирования имс
- •Глава 2. Проектирование гибридных интегральных микросхем (гис)
- •2.1 Конструктивно-технологические особенности.
- •2.2 Определение функциональной сложности.
- •2.3 Методы оптимизации гис по критерию функциональной точности.
- •Глава 3. Расчет и проектирование пленочных резисторов.
- •3.1 Расчет геометрических размеров резисторов.
- •3.2 Выбор и обоснование материала резистивной пленки.
- •3.3. Расчет и проектирование контактного перехода типа “пленка-пленка”.
- •3.4 Проектирование подгоняемых резисторов.
- •3.5. Точность отношения резисторов.
- •Глава 4. Расчет и проектирование пленочных конденсаторов.
- •4.1 Конструктивно-технологические особенности и основные параметры.
- •4.2 Расчет геометрических размеров конденсаторов.
- •4.3 Потери в пленочных конденсаторах.
- •4.4 Планарные конденсаторы.
- •Последовательность расчета геометрических размеров пленочных конденсаторов.
- •4.5. Проектирование прецизионных конденсаторов.
- •Глава 5. Расчет и проектирование rc-структур с распределенными параметрами.
- •5.1 Тонкопленочные rc-структуры с распределенными параметрами.
- •5.2 Режекторные фильтры на основе rc-структур.
- •5.3 Влияние погрешностей геометрии rc-структуры на электрические характеристики режекторных фильтров.
- •5.4 Избирательные rc-усилители.
- •5.5 Активные фильтры на основе rc-структур.
- •5.6. Конструктивный расчет фильтров на основе rc-структур.
- •Глава 6. Основы оптимального проектирования гис
- •6.1 Зависимости погрешности выходного параметра от физических и геометрических параметров элементов.
- •6.2 Исходные данные для проектирования топологии.
- •Схемотехнические данные и требования.
- •Технологические данные и ограничения.
- •3. Конструктивные данные и требования.
- •6.3 Конструктивные методы защиты имс от воздействия дестабилизирующих факторов.
- •6.4 Бескорпусная герметизация гис.
- •Глава 7. Разработка топологии и конструкции гис.
- •7.1. Принципы практического проектирования и компоновки топологической структуры гис.
- •7.2. Разработка коммутационной схемы соединений.
- •Заключение
- •Литература
- •Приложение 1.
- •Приложение 2. Проектирование фильтров на основе rc—структур с распределенными параметрами средствами Microwave Office. Введение
- •Схемы и результаты моделирования
- •Широкая микрополосковая двухпроводная линия из проводников с различным сопротивлением
- •Однопроводная линия над проводящим слоем
- •Базовая схема используется как элемент других схем
- •Заземление подсхемы в схеме
- •Составные или гибридные rc-структуры и lc-цепи
- •Локальные экстремумы
4.2 Расчет геометрических размеров конденсаторов.
Емкость пленочного конденсатора (рис. 4.1а, б) определяется по известной формуле:
|
(4.1) |
где – относительная диэлектрическая проницаемость диэлектрика; S – площадь перекрытия обкладок; d – толщина диэлектрика; n – количество диэлектрических слоев.
Подобно материалу резистивной пленки, слой диэлектрика, параметры и d которого определяют удельную емкость конденсатора, с точки зрения технологичности, воспроизводимости и стабильности свойств характеризуются оптимальными отношениями /d для каждого материала и способа его нанесения. Тогда емкость конденсатора:
|
(4.2) |
где Суд=0,0885/d – постоянная величина для каждого материала.
С точки зрения минимизации занимаемой площади для изготовления конденсаторов необходимо применять материалы с максимальной диэлектрической проницаемостью и минимальной толщиной. Однако, минимальная толщина диэлектрика ограничена снизу значением рабочего напряжения Uр на конденсаторе и электрической прочностью диэлектрика:
|
(4.3) |
где Eпр – электрическая прочность материала диэлектрика, [В/мм], Uпр – напряжение пробоя диэлектрика, [В]. Тогда минимальная толщина диэлектрика:
|
(4.4) |
где Кз = Uпр/Uраб = 23.
Относительная погрешность величины емкости конденсатора обусловлена производственными погрешностями и дестабилизирующими факторами из-за изменения температуры и старения материалов и определяется соотношением:
|
(4.5) |
где
– относительная погрешность удельной
емкости;
– относительная
погрешность площади перекрытия площадок;
– относительная
температурная погрешность, зависящая
в основном от ТКС материала диэлектрика
и диапазона рабочих температур;
– относительная
погрешность, обусловленная старением
пленок конденсатора.
Первые две составляющие характеризуют технологическую погрешность емкости и определяются соотношением:
|
(4.6) |
Поскольку воспроизведение удельной емкости и площади перекрытия обкладок достигается взаимно независимыми операциями, согласно (2.13), относительное среднеквадратическое отклонение емкости определяется выражением:
|
(4.7) |
Здесь величина
зависит от технологических факторов
нанесения слоя диэлектрика и является
постоянной величиной для конкретного
процесса. Таким образом, минимизация
относительной погрешности емкости
конденсатора может быть достигнута за
счет соответствующего выбора геометрических
размеров и формы обкладок.
В общем случае:
|
(4.8) |
где
и
– относительные среднеквадратические
отклонения линейных размеров А
и В,
определяющих площадь перекрытия обкладок
S=АВ;
rАВ– коэффициент корреляционной связи между погрешностями размеров А и В.
Когда размеры А
и В
верхней обкладки конденсатора формируются
в процессе одной технологической
операции (рис. 4.1, а), можно принять rАВ1.
Для конструкции (рис. 4.1б), где линейные
размеры А
и В
формируются на разных операциях
независимо rАВ0.
При
и А/В=Кф
исследование функции на экстремум с
точки зрения минимума погрешности
дает оптимальное значение КФопт=1.
Тогда для достижения заданной точности
реализации емкости конденсатора линейный
размер А
должен удовлетворять условию:
|
(4.9) |
Здесь, как и ранее,
величина
определяется из неравенства Чебышева:
|
(4.10) |
где
– аргумент интеграла вероятности.
Соотношение (4.9) позволяет определить максимальное значение удельной емкости исходя из условия обеспечения заданной точности:
|
(4.11) |
При этом значение
должна
удовлетворять условию обеспечения
электрической прочности конденсатора,
а именно:
|
(4.12) |
где dmin определяется согласно (4.4).
Соотношение (4.12) позволяет выбрать материал диэлектрика (табл. 4.1) и далее определить эксплуатационные составляющие погрешности в (4.5).
Относительная температурная погрешность:
|
(4.13) |
где С – ТКС материала диэлектрика;
Т – диапазон рабочих температур.
Относительная погрешность, обусловленная старением материала, согласно табл. 4.1 не превышает 23 %.