
- •Введение.
- •Глава 1. Лазеры, используемые для воздействия на материал
- •1.1. Различные подходы при классификации лазеров
- •1.2 Типы лазеров
- •1.3. Газовые лазеры
- •1.3.4. Отпаянные со2 – лазеры
- •1.3.7. Газовые лазеры на нейтральных атомах
- •1.3.8. Ионные лазеры.
- •1.3.9. Газодинамические лазеры.
- •1.3.10. Лазеры на парах металлов.
- •1.3.11.Химические лазеры.
- •1.3.12.Эксимерные лазеры.
- •1.4. Полупроводниковые лазеры
- •1.4.1. Лазер на гомопереходе.
- •1.4.2. Лазер на двойном гетеропереходе
- •1.5. Жидкостный лазер.
- •1.5.1.Лазеры на красителях.
- •1.6. Твердотельные лазеры
- •1.6.1 Неодимовые твердотельные лазеры (Nd : yag)
- •1.6.2. Лазеры на стекле с неодимом.
- •2. Новейшие разработки в лазерной технике.
- •2.1 Ультраширокополосный полупроводниковый лазер
- •2.2. Лазер на парах меди
- •2.2.1. Характеристики саморазогревных лазеров на парах меди
- •2.3. Нанолазеры
- •2.3.1. Нанолазер из кремния
- •2.4. Акустический лазер
- •2.5. Волоконные лазеры
- •3. Технологические и конструктивные особенности лазерных установок серии мл
- •3.1. Лазерная установка серии мл1
- •3.2. Лазерная установка серии мл2
- •3.3. Лазерная установка серии мл3
- •3.4. Лазерная установка серии мл4
- •3.5. Лазерная установка серии мл5
- •4. Основные элементы лазерных установок
- •4.1. Лазерные излучатели и их компоненты для технологических систем и твердотельных лазеров различных типов
- •4.2. Блок охлаждения
- •4.3. Источник питания лампы накачки
- •4.4. Оптические модули для твердотельных лазеров
- •Библиографический список
- •Содержание
- •Глава 1. Лазеры, используемые при воздействии на материал …………..4
- •Глава 2. Новейшие разработки в лазерной технике………….……….31
- •Глава 3. Технологические и конструктивные особенности лазерных установок серии мл……………………..…….………………………………….46
- •Глава 4. Основные элементы лазерных установок……………..……..55
1.2 Типы лазеров
В зависимости от вида активной среды и способа ее возбуждения лазеры можно разделить на несколько типов (рис.1.2.) - твердотельные, жидкостные, газовые, полупроводниковые, в каждом из которых имеются свои особенности, связанные с конструкцией, способом возбуждения и т. п.
Отдельное место занимают квантовые усилители - лазеры, состоящие из активной среды и системы накачки, но без резонатора. Усилитель ставится на выходе лазера; его импульс вызывает индуцированную генерацию в активной
Д
адим
определение коэффициенту полезного
действия (КПД) лазера. Различают
теоретически возможный (квантовый
выход) и реальный (полный) КПД. Последний
определяется отношением мощности
излучения лазера к мощности, потребляемой
от источника накачки. У газовых лазеров
полный КПД составляет 1-20% (гелий-неоновый
- до 1%, углекислотный 10-20%,), у твердотельных
- 1-6%, у полупроводниковых - 10-50% (в отдельных
конструкциях до 95%). Поэтому только
полупроводниковые лазеры можно применять
в автономной и портативной терапевтической
аппаратуре.
Далее будут рассматриваться семейства лазеров по широте их применения в технологии [3, 4]. Также будут приведены новейшие разработки в лазерной технологии [5].
1.3. Газовые лазеры
Они были созданы 1960 году. На рисунке 1.3 представлена принципиальная схема газового лазера [2].
Рис. 1.3. Схема газового лазера: 1 – охлаждаемая водой разрядная трубка; 2 – система электродов; 3 - газоразрядная плазма; 4 - глухое зеркало резонатора; 5 - полупрозрачное зеркало резонатора.
В газовых лазерах активной средой являются газ, смесь газов или смесь газа с парами металлов низкого давления. Энергетические уровни в газах узкие, так как механизмы уширения, действующие в газах, слабее, чем в твердых телах, а поскольку в такой активной среде отсутствуют широкие полосы поглощения, то оптическая накачка с ее широким спектром излучения не эффективна. Газовые лазеры накачиваются электрически, прохождением через среду электрического тока (тлеющим разрядом). В непрерывном режиме работы активная среда возбуждается стационарным тлеющим разрядом, в импульсном - импульсным разрядом высоковольтного источника с частотным повторением импульсов » 103 Гц. Хотя существуют и другие пути накачки: метод газодинамического расширения, химической накачки, излучением другого лазера и т.д.
В газе из возбужденного состояния частица может перейти на более низкие уровни, кроме лазерной релаксации, как минимум четырьмя другими способами (за счет столкновений с электронами, другими атомами, стенками сосуда и т.д.). Поэтому процесс создания инверсии населенности в газовых средах намного сложнее, чем в твердых телах. Инверсия населенности возникает при выполнении одного или двух фундаментальных условий:
1) скорость возбуждения верхнего лазерного уровня больше, чем нижнего;
2) скорость релаксации верхнего уровня меньше, чем нижнего. Последнее условие необходимо для реализации непрерывной генерации.
Большой класс лазеров работает на нейтральных атомах инертных газов. Наибольшее значение среди них приобрел гелий-неоновый (He - Ne) лазер, с наиболее часто используемыми линиями генерации l = 0,633 (красная) и 0,543 мкм (зеленая). Основное преимущество такого лазера - это излучение света в видимой области. В лазерной технологии эти лазеры используются главным образом для юстировки технологических лазеров и как источник видимого света.
В последнее время разработаны и находят все большее применение лазеры, работающие на парах металлов. Как правило, все они работают в видимой области.
Самым большим классом газовых лазеров, в основе работы которых лежат переходы между энергетическими уровнями молекулы, являются молекулярные газовые лазеры. В зависимости от типа участвующего в генерации перехода молекулярные лазеры делятся на три класса:
- первый, это лазеры на колебательно-вращательных переходах, (это переходы между колебательными уровнями одного и того же электронного (основного) состояния). Диапазон генерации волн лежит в пределах l = 5-300 мкм. В настоящее время из этого класса наиболее важное значение приобрели квантовые генераторы, работающие на молекулах углекислого газа, так называемые CO2- лазеры;
- второй, это лазеры, работающие на электронно-колебательных переходах (азотные лазеры, эксимерные);
- третий, это лазеры на чисто вращательных переходах с длиной волны генерации 25 мкм -1 мм.
1.3.1. СО2 - молекулярные газовые лазеры.
В этих генераторах используется специальная смесь газов СО2 , N2 и He. Генерация происходит на переходе между двумя колебательными уровнями молекулы CO2, а N2 и He служат для повышения КПД. Эти лазеры сейчас являются одними из самых мощных (примерно 80 кВт) и наиболее эффективных (КПД ~ 15 - 20%). Длины волн генерации составляют 10,6 и 9,5 мкм.
На рис.1.4 приведена схема энергетических уровней основных электронных состояний молекулы СО2. Эта молекула имеет три невырожденные колебательные моды (рис.1.5):
1) симметричную валентную моду (u1),
2) деформационную моду (u2),
3) асимметричную валентную моду (u3) и описывается квантовыми числами n1, n2 и n3, которые определяют число квантов в каждой колебательной моде.
Рис. 1.4. Колебательные уровни основных электронных состояний СО2 и переход в молекуле N2 (обозначения уровней означает колебательную моду и число квантов в каждой моде
Так, запись 0200 означает, что уровень относится к моде 2 (см. рис. 1.5) и имеет два кванта. Переход в N2 помогает более эффективной накачке энергетических уровней СО2. Мода 2 соответствует уровню с наименьшей энергией, и тогда генерация идет на переходах 0001 - 1000, что соответствует длине волны генерации (10,6 мкм) и 0001 - 0200 (9,6 мкм).
Рис.1.5. Три фундаментальные моды колебаний молекулы СО2:
u1 - симметричная валентная мода; u2 - деформационная мода;
u3 - асимметричная валентная зона.
Накачка на верхний уровень происходит непосредственно через столкновение молекулы с электронами: е + СО2 (000) ® е + СО2 (001) (при этом молекула остается в основном состоянии) и через резонансную передачу энергии от молекулы N2, так как высокоэнергетические колебательные моды N2 находятся почти на одном энергетическом уровне соответствующей моды СО2.
Конструктивно СО2 - лазеры разделяются на семь типов и отличаются по скорости и направлению прокачки газовой среды, по величине ее давления, а также механизмами и способами накачки. Все указанные лазеры имеют общую особенность, а именно: высокий КПД (15-20%), который является следствием большого квантового выхода (~40%) и высокой эффективности процесса накачки. Рассмотрим пять основных типов лазеров.
1.3.2. СО2 - лазеры с медленной продольной прокачкой
В таких системах газовая смесь медленно прокачивается вдоль охлаждаемой лазерной трубки для удаления продуктов диссоциации, например СО, и отвода тепла через стенки резонатора. Главным ограничением этого лазера является зависимость выходной мощности от единицы длины разряда:
Wл»Ip ×p×D2 ×l
здесь D - диаметр активной среды, l - ее длина, p - давление газа.
При оптимальных значениях Iр и постоянном значении p×D = 22,5 мм.рт.ст.×см величина выходной мощности прямо зависит от длины резонаторной трубки. Лазеры данной конструкции имеют относительно низкую мощность (50-100 Вт), для увеличения которой их делали очень длинными - до 100 м. Этот недостаток удалось устранить, изготовив резонатор в свернутом виде, то есть в виде многотрубной укладки, а электроды - в виде щетки или гребенки по всей длине трубки. В этом случае удалось значительно сократить расстояния между электродами, а это, в свою очередь, позволило увеличить давление рабочей смеси (так как для поддержания устойчивого разряда в трубке требуется выполнение условия p × l = const) и тем самым увеличить число активных центров. Такие усовершенствования привели к уменьшению размеров лазеров в сотни раз при сохранении мощности.
В лазеры такой конструкции используются для подгонки резисторов, резки керамических пластин в электронной промышленности, а также для сварки тонких металлических пластин (<1 мм).
1.3.3. СО2 - лазеры с быстрой продольной прокачкой
В таких конструкциях газовая смесь прокачивается со сверхзвуковой скоростью, что дает возможность охлаждать ее путем быстрого удаления смеси из рабочей зоны в охладитель и тем самым преодолеть ограничение на выходную мощность. Прокачка с большой скоростью означает увеличение количества активных центров, что позволяет увеличить ток Iр и тем самым Wл . В современных лазерах достигнуты параметры по мощности ~ 1 кВт/м и больше. За пределами резонатора газ охлаждается и проходит необходимую генерацию (2СО + О2 = 2СО2) в присутствии катализатора. В этом режиме лазер работает практически в автономном режиме.
В настоящее время СО2 - лазеры с быстрой продольной прокачкой (мощностью 1-3 кВт) нашли широкое применение во многих операциях по обработке и термообработке материалов и, в частности, для лазерной резки металлов (с толщиной до нескольких миллиметров).