- •11. Физико-химические и физические основы ионных, ионно-плазменных, плазмохимических методов нанесения и травления микроэлектронных структур
- •11.1. Основы физики тлеющего разряда Характеристики тлеющего разряда
- •Вольт-амперная характеристика разряда между электродами
- •11.2. Физические основы ионного распыления
- •11.3. Коэффициент распыления
- •11.4. Энергетическое и пространственное распределение потока распыленных частиц
- •11.5 Ионно-плазменные методы распыления Диодные системы распыления
- •Магнетронные системы распыления
- •Реактивное распыление
- •Плазмодуговое распыление
- •11.6. Процессы ионно-плазменной обработки материалов
- •Плазмохимическое осаждение
- •Плазмохимическое и ионно-химическое травление
- •Травление распылением в плазме
- •Ионно-лучевое травление
- •Реактивное ионно-плазменное травление
- •11.7. Параметры процессов травления
- •Селективность процессов травления
- •Направленность процессов травления
- •Зависимость скорости травления от параметров процесса
- •Влияние эффекта загрузки
- •Текстура поверхности
Вольт-амперная характеристика разряда между электродами
По достижении на электродах пробивающего напряжения U=Ut в газе зажигаетсясамостоятельный разряд.В рамках той идеализированной схемы приU=Ut ток стремится к бесконечности. В реальной цепи помимо разрядного промежутка всегда имеется омическое сопротивление(специально включенное, сопротивление проводов, источника питания), и это ограничивает абсолютный предел величины достижимого тока при заданной электродвижущей силе источникаЕ.Поскольку масштаб разрядного тока во многом определяет сам тип разряда, ибо с величиной тока связана степень ионизации газа, от сопротивлениязависит, какой разряд загорится после пробоя
Нагрузочная прямая.Уравнение электрически замкнутой цепи, включающей разрядный промежуток, имеет вид
.
(11.1)
На графике U = f(i) это уравнение изображается прямой линией (рис. 11.2), которая называетсянагрузочной прямой.Она проходит тем круче, чем больше внешнее сопротивление, и отсекает на оси абсцисс величину предельного токаЕ/..Реализуются те значенияiиU, которым отвечает пересечение нагрузочной прямой и вольт-амперной характеристики (ВАХ)U = f(i).
Темный таунсендовский разряд. Допустим, что сопротивлениестоль велико, что в цепи протекает лишь исключительно слабый ток. Для поддержания такого самостоятельного разряда к электродам должно быть приложено напряжение, равноепотенциалу зажигания Ut.Именно оно обеспечивает стационарное воспроизводство электронов, вылетающих из катода и вытягиваемых на анод. Пока поле не зависит от плотностей зарядов (от тока), на ВАХ разрядаU = f(i) = const = Ut. Этой ситуации отвечает участок ВС (рис. 11.2). Такой самостоятельный разряд действительно наблюдается экспериментально в обычных трубках при токах 10-10– 10-5А. Он называетсятемным таунсендовским. Из-за чрезвычайной малости ионизации газ совсем не светится. Ток регистрируют высокочувствительными приборами.
Тлеющий разряд.Будем увеличивать ток, уменьшая нагрузочное сопротивление или увеличивая ЭДС источникаЕ.Начиная с какого-то тока, напряжение на электродах падает. Потом его падение прекращается и в довольно большом диапазоне токов (иногда в несколько порядков) напряжение почти не изменяется. Этот участокDEна ВАХ соответствует так называемомунормальному тлеющему разряду.Нижней части переходного участкаCDотвечаетподнормальныйтлеющий разряд.
Нормальный разряд обладает замечательным свойством. При изменении разрядного тока плотность его на катоде остается неизменной. Меняется площадь на катоде, в которую втекает ток. Меняя илиЕв ту или другую сторону, можно видеть, как светящеесятоковое пятнона поверхности катода расширяется или сокращается.

Рис. 11.2. ВАХ разряда между электродами (1) в широком диапазоне токов и нагрузочная прямая (2): AB – область несамостоятельного разряда; BC – темный таунсендовский разряд; DE – нормальный тлеющий разряд; EF – аномальный тлеющий разряд; FG – переход в дугу; GH- дуга
Когда на катоде не остается свободного места, для увеличения тока приходится повышать напряжение (необходимо вырывать с единицы площади катода больше электронов). Ведь теперь должна расти плотность катодного тока. Такой разряд называется аномальным. Ему соответствует нарастающий участокEFВАХ. Интересно наблюдать переход к аномальному режиму. Видно, как тлеющее свечение охватывает сначала всю поверхность катода, обращенную к аноду, потом отыскивает любое не защищенное диэлектриком место на боковой, внутренней сторонах, на ножке и лишь когда все исчерпано, становится более протяженным и насыщенным, что свойственно аномальному разряду. Приi~ 1Aтлеющий разряд срывается вдугу. УчастокFGописывает переход в дугу, участокGH–дуговой разряд.
