- •22 Лекция 10
- •10. Физико-химические основы химических и электрохимических методов нанесения и травления тонких пленок и материалов
- •10.1. Основы электрохимии Жидкие растворы и электролиты
- •Электрохимический процесс
- •Электролиз и его законы
- •10.2. Электрохимическое осаждение
- •10.3. Химическое осаждение пленок из растворов и паровой фазы Химическое осаждение пленок из растворов
- •Осаждение из паровой фазы
- •10.4. Коррозия
- •10.5. Химические методы травления
- •Кинетика процесса химического травления
- •Механизм травления
Электрохимический процесс
Электрохимической системойназывается совокупность проводников первого рода (с электронным механизмом электропроводности) и второго рода (с ионным механизмом электропроводности). Химические взаимодействия в таких системах идут погетерогенному механизмуна поверхности металлических электродов путем обмена электронами между ионами в электролите и металлом, выполняющим роль резервуара с неограниченным запасом электронов. Аналогичные гомогенные реакции, идущие в жидких электролитах с передачей электрона в актах непосредственного столкновения реагирующих частиц, называютсяокислительно-восстановительнымиреакциями. При этомокислениюсоответствует потеря электрона частицей, авосстановлению– его приобретение. В электрохимических реакциях процессы окисления и восстановления протекают на разных электродах, т.е. пространственно разделены, в отличие от химических реакций. Электронные явления на поверхности электродов сопровождаются процессами массопереноса в объеме раствора с возможным растворением или осаждением материала электродов.
Протекание обратимой окислительно-восстановительной реакции на металлических электродах порождает между ними электродвижущую силу (ЭДС), вызывающую ток во внешней электрической цепи (процессы в гальванических элементах) и, наоборот, протекание через раствор тока от внешнего источника сопровождается химическими превращениями веществ на электродах (процессы электролиза). В соответствии с этим электрохимические системы применяют на практике в двух случаях:
1) в виде гальванического элементадля создания химических источников тока;
2) в виде электролитической ячейкидля осаждения или удаления вещества в процессе электролиза.
В электролитической ячейке положительный потенциал анода, создаваемый внешним источником, оттягивает электроны от поверхности внутрь металла, «оголяя» его ионную решетку, и тем самым обеспечивает переход ионов металла в раствор электролита. Следовательно, на аноде происходит процесс окисления (отбор электрона от атома металла или от аниона в растворе) одновременно с возможным растворением материала электрода – анодное окисление и растворение. На катоде процессы идут в обратном направлении, создавая избыток электронов на поверхности металла, и тем самым обеспечивают восстановление (передача электрона катиону в растворе) с одновременным осаждением вещества на электроде –катодное восстановление и осаждение.
В гальваническом элементе отрицательный электрод, посылая электроны во внешнюю цепь, ведет себя как анод в электролитической ячейке, обеспечивая протекание процессов окисления и растворения, в то время как положительный электрод, подобно катоду, обеспечивает восстановление и осаждение материала на своей поверхности.
Особенностью любых электрохимических систем является самопроизвольное возникновение обратимой ЭДС между металлическими электродами как результат протекания в системе обратимой химической реакции. Этот термин означает, что один и тот же электрохимический элемент может быть обратимо использован как в гальваническом, так и в электролитическом режиме путем выполнения вполне определенного соотношения между двумя противодействующими друг другу электродвижущими силами – внутренней ЭДС (Е) элемента и внешней ЭДС (Евн), приложенной к элементу. Для работы в гальваническом режиме необходимо внутреннюю ЭДС частично скомпенсировать внешней ЭДС так, чтобы незначительное превышениеЕ Евнобеспечивало протекание бесконечно малого тока во внешней цепи. Обращение гальванического элемента в электролитический достигается при обратном неравенствеЕвн Е, обеспечивающем протекание бесконечно малого тока в противоположном направлении. Требование бесконечно малого тока обеспечивает электрохимическое равновесие в системе.
Схематическое изображение электрохимической системы (гальванический элемент Даниэля – Якоби) при работе в гальваническом и электролитическом режимах приведено на рис.10.1. Гальванический элемент состоит из двух полуэлементов. В одном полуэлементе осуществляется окислительная полуреакция, а в другом – восстановительная.
Один из полуэлементов состоит из цинкового стержня, погруженного в пористый стакан с раствором сульфата цинка. Другой полуэлемент состоит из медного стержня, погруженного в раствор сульфата меди.
В основе работы элемента Даниэля – Якоби (см. рис.10.1) лежит обратимая химическая реакция
Zn(т) + CuSO4(ж) ZnSO4(ж) + Cu(т). (10.1)
Реакция (10.1) с учетом диссоциации солей
CuSO4Cu2++SO42-иZnSO4Zn2++SO42-
путем удаления общего иона SO42-может быть записана в ионной форме как
Zn + Cu2+ Zn2+ + Cu. (10.2)
В гальваническом режиме работы элемента (рис.10.1, а), когдаЕ Евн, направление тока во внешней цепи (обозначено сплошными стрелками, показывающими движение положительных зарядов) таково, что внутри растворов отрицательные ионы (анионы)SO42-движутся от плюса к минусу, т.е. против направления действия ЭДСЕ. Такое «противодвижение» поддерживается силами химической природы, порожденными самопроизвольным протеканием реакции (10.2) в прямом направлении (слева направо). Движение анионовSO42-из раствораCuSO4в растворZnSO4вызвано тем, что в первом растворе их заряд преобладает над зарядом катионовCu2+, а во втором - доминирует заряд катионовZn2+.Действительно, на положительном полюсе в результате процесса восстановления катионы Cu2+ превращаются в атомы Cu (осаждаются на медном электроде), а на отрицательном электроде идет процесс окисления с превращением атомов Zn в ионы Zn2+, переходящие как катионы в раствор электролита (т.е. цинковый электрод растворяется). При таком направлении движения ионов SO42- поддерживается электронейтральность растворов и обеспечивается непрерывность электронного и ионного токов.
В электролитическом режиме работы элемента (рис. 10.1, б), когдаЕвн Е,направление тока во внешней цепи, обозначенное сплошными стрелками, меняется на противоположное. Тогда анионыSO42-движутся под действием внешней ЭДСЕвнот минуса к плюсу, т.е. в направлении внутренней ЭДСЕ. Это обеспечивает подвод электрической энергии от внешнего источника к химической системе и делает возможным протекание реакции (10.2) в обратном направлении (справа налево). На катоде катионыZn2+восстанавливаются до атомовZn, а на аноде идет процесс окисления с переходом атомовCuв раствор в форме катионаCu2+, т.е. при электролизе медный электрод растворяется, а цинк выделяется из раствора.
|
а |
б |
|
Рис.10.1.
Схематическое изображение элемента
Даниэля – Якоби в гальваническом (а)
и электролитическом режимах (б):
| |
Из сравнения рассмотренных режимов (рис.10.1, аиб) видно, что электронные процессы на отрицательном электроде гальванического элемента и на аноде (положительном электроде) электролитической ячейки одинаковы: и тот, и другой поставляют электроны во внешнюю цепь, отбирая их от нейтральных атомов металла (путем перевода ионов металла из кристаллической решетки в раствор электролита в форме катиона:
Cu(т)Cu2+(водн.) + 2е-;Zn(т)Zn2+(водн.) + 2e-.
Противоположным образом ведут себя положительный электрод гальванического элемента и катод (отрицательный электрод) электролитической ячейки: они оба принимают электроны от внешней цепи, передавая их катионам раствора с переводом последних в кристаллическую решетку металла
Cu2+(водн.) +2е-Cu(т);Zn2+(водн.) + 2е-Zn(т).
Основное различие между химическими и электрохимическими реакциями состоит в том, что в акте электрохимического взаимодействия непосредственный контакт между реагирующими частицами, имеющий место в химической реакции, заменен на контакт участников реакции с электродами, в результате которого происходит обмен ионами между электродом и раствором электролита. Электроды, обеспечивающие обмен катионами (положительными ионами), называются обратимыми относительно катиона, а обеспечивающие обмен анионами (отрицательными ионами), - обратимыми относительно аниона. Существуют также электроды, которые не обмениваются ионами с раствором, а обеспечивают только подвод или отвод электронов, необходимых для осуществления окислительно-восстановительной реакции на поверхности электрода. Такие электроды называются инертными. Для этих электродов отсутствует массоперенос их материала через раствор. К числу инертных электродов относятся платина и графит.
Электрохимический
потенциал1для ионаМ z+в кристаллической решетке металла(
)
можно считать постоянным при данной
температуре, а в растворе электролита
(
)
– зависящим от его концентрации
(активности). При
>
начинается переход ионов Мz+из металла в раствор. При этом металл
заряжается отрицательно, а раствор по
отношению к нему положительно, т.е. в
районе границы раздела возникает двойной
заряженный слой с электрическим полем,
способствующим переходу ионов в обратном
направлении. По мере прямого перехода
ионов в электролит их концентрация в
растворе возрастает, что увеличивает
электрохимический потенциал
.
Так продолжается до тех пор, пока скорости
прямых и обратных переходов «металлраствор»
не уравняются, т.е. пока не наступит
фазовое равновесие:
=
или
,
(10.3)
где т иж – электрические потенциалы металла и раствора электролита, при этом в рассматриваемом случает < ж. Следовательно, разность химических потенциалов при равновесии компенсируется разностью электрических потенциалов.
Если
исходная концентрация раствора
электролита такова, что
<
,
то при погружении металла в раствор
часть ионов Мz+из раствора переходит в металл, заряжая
его положительно по отношению к раствору,
так что при равновесиит
> ж.
Таким образом, в обоих случаях на границе раздела «электрод – раствор» возникает двойной электрический слой, одной обкладкой которого является заряд на металле, локализованный практически на его поверхности. Равный и противоположный по знаку заряд в растворе создается ионами: катионами при т < жи анионами прит > ж. Так как ионы в растворе совершают тепловое движение, то ионная обкладка двойного слоя частично размыта в так называемыйдиффузнный слой(или слой Гуи). Оставшаяся меньшая часть ионного заряда, локализованная между диффузным слоем и поверхностью металла, называетсяплотным слоем(или слоем Гельмгольца).
Результирующее падение напряжения = т - жна диффузном и плотном слоях называетсяэлектрическим потенциалом электродапо отношению к раствору и находится как
.
(10.4)
Электрический потенциал электрода по отношению к раствору невозможно измерить экспериментально, так как для этого обязательно требуется еще один измерительный электрод, контактирующий с раствором без скачка потенциалов, называемыйнулевым электродом. Такого универсального нулевого электрода, пригодного для электролитов разного состава, в природе не существует. Поэтому условились отсчитывать потенциал любого электрода от потенциала так называемоговодородного электрода, принятого в качестве электрода сравнения, чей стандартный электродный потенциал положен равным нулю.
Потенциал электрода, определенный по водородной шкале, принято называть электродным потенциалом и обозначать его буквой Е. Для определенности условились в стандартном гальваническом элементе водородный электрод всегда брать левым с электрическим потенциаломН.Тогда электродный потенциал другого электрода с электрическим потенциаломравенЕ = - Н.
Для электродов, обратимых относительно катиона, потенциал положителен, если реакция на данном электроде протекает в направлении восстановления с переходом катионов из раствора на электрод (осаждение вещества) и отрицателен при обратном (окислительном) направлении реакции с переходом катионов с электрода в раствор (растворение вещества). Следовательно, в реальном гальваническом элементе металл с более низким электродным потенциалом самопроизвольнорастворяется и вытесняет из раствора электролита ионы другого металла, имеющего больший электродный потенциал. Переход ионов металла в обратном направлении требует приложения внешней ЭДС, т.е. возможен лишь в режиме электролиза.
Для электродов, обратимых относительно аниона, ситуация прямо противоположна: электрод приобретает положительный потенциал при переходе анионов с электрода в раствор (растворение вещества) и отрицательный потенциал – при их обратном переходе из раствора на электрод (осаждение вещества). В этом случае неметалл вытесняет из раствора другие неметаллы с меньшим электродным потенциалом.
ЭДС элемента, вычисляемая как разность потенциалов для правого и левого электродов, равняется разности электрических потенциалов этих электродов по отношению к раствору.
Водородный электрод обычно выполняется в виде платиновой пластины с губчатым поверхностным слоем, опущенной в раствор серной кислоты и омываемой потоком газообразного водорода. На поверхности платины, насыщенной растворенным в ней водородом, протекает реакция
Н+ + е- 0,5Н2(газ). (10.5)
Для нахождения электродного потенциала металла, на котором протекает реакция, обратимая относительно катиона, составляется стандартный гальванический элемент из водородного электрода (левого) и металлического электрода (правого).
Для различных веществ в справочной литературе приведены их стандартные электродные потенциалы в виде так называемого ряда напряжений(табл.10.1)Ряд напряжений характеризует химические свойства металлов:
1. Чем выше расположен металл в ряду напряжений, тем сильнее его восстановительная способность и тем слабее окислительная способность его иона в растворе (т.е. тем легче он отдает электроны (окисляется) и тем труднее его ионы присоединяют обратно электроны).
2. Каждый металл способен вытеснять из растворов солей те металлы, которые стоят в ряду напряжений ниже его, т.е. восстанавливает ионы последующих металлов в электронейтральные атомы, отдавая электроны и сам превращаясь в ионы.
Таблица 10.1
Стандартные электродные потенциалы Е0в воде при 25оС
(ряд напряжений)
|
Электрод |
Электродный процесс |
Е0,B |
|
Li+Li |
Li+ + e- Li |
-3,045 |
|
K+K |
K+ + e- K |
-2,925 |
|
Na+Na |
Na+ + e- Na |
-2,714 |
|
Mg2+Mg |
Mg2+ + 2e- Mg |
-2,37 |
|
Al3+Al |
Al3+ + 3e- Al |
-1,66 |
|
Zn2+Zn |
Zn2+ + 2e- Zn |
-0,763 |
|
Fe2+Fe |
Fe2+ + 2e- Fe |
-0,440 |
|
Cd2+Cd |
Cd2+ +2e Cd |
-0,403 |
|
Co2+Co |
Co2+ + 2e- Co |
-0,277 |
|
Ni2+Ni |
Ni2+ + 2e- Ni |
-0,250 |
|
Sn2+Sn |
Sn2+ + 2e- Sn |
-0,136 |
|
Pb2+Pb |
Pb2+ + 2e- Pb |
-0,126 |
|
H+H |
H+ +e- H |
0,000 |
|
Cu2+Cu |
Cu2+ + 2e- Cu |
+0,337 |
|
Cu+Cu |
Cu+ + e- Cu |
+0,521 |
|
Hg+Hg |
Hg+ + e- Hg |
+0,798 |
|
Ag+Ag |
Ag+ + e- Ag |
+0,799 |
|
Au3+Au |
Au3+ + 3e- Au |
+1,500 |
3. Только металлы, стоящие в ряду напряжений выше водорода (Н), способны вытеснять его из растворов кислот (например, Zn,Fe,Pb, но не Сu,Hg,Ag).


