Контрольные вопросы

1. Для каких задач может использоваться система с фокусированным ионным пучком?

2. Опишите устройство и принцип работы системы с фокусированным ионным пучком.

3. Для чего служит апертурная диафрагма в системах с фокусированным ионным пучком? Как регулируется степень увеличения изображения?

4. Назовите преимущества применения систем ФИП в микро- и наноэлектронике.

5. Каким образом формируются поперечные сечения на СБИС методом ФИП.

6. Назовите методы приготовления образцов для просвечивающей электронной микроскопии методом ФИП.

Рекомендуемая литература

1. Lucille A. Introduction to focuced ion beams /edited by Lucille A.., Giannuzzi, Fred A. Stevie // Springer. – 2004. С. 358.

2. Giannuzzi L.A., Stevie F.A. Introduction to Focused Ion Beams. Instrumentation, Theory, Technique, Practice. // Springer. – 2005.

3. Focused Ion Beam xP Workstation. Manual // FEI Company, Hillsboro. 1996.

4. Нанотехнологии в электронике. / Под ред. Ю.А. Чаплыгина // – М.: Техносфера. 2005. C. 446 .

5. Нанотехнология: физика, процессы, диагностика, приборы /под ред. Лучинина В.В., Таирова Ю.М.// – М.: ФИЗМАТЛИТ. 2006.

Практическое занятие 6 Химический анализ поверхности

План занятия

1. Введение

2. Методы аналитической химии

3. Физические методы химического анализа

Введение

Химический анализ проводят для наиболее точного определения состава материала. Для этой цели применяют стандартные методы аналитической химии, основанные на реакциях определяемых веществ в растворах, например, гравиметрический и титриметрический анализ; физико-химические методы, основанные на измерении физических величин, изменение которых обусловлено химическими реакциями (потенциометрия, амперометрическое титрование и др.); физические методы, в основе которых лежит изменение физических характеристик, обусловленное химической индивидуальностью веществ, напр. спектральный анализ, активационный анализ, рентгеновский микроанализ.

Несмотря на то, что методы обычного химического анализа позволяют устанавливать состав самых сложных соединений, в некоторых случаях они все же оказываются недостаточными. Обусловлено это тем, что для установления состава путем химического анализа необходимо прежде всего выделить изучаемое вещество в индивидуальном состоянии. Если такое выделение почему–либо невозможно, то неприменимыми становятся и методы химического анализа.

Для исследования сложных химических веществ и соединений применяется целый ряд очень точных физических методов. Хромотография позволяет разделять вещества сложного состава, переведенные в жидкое или газообразное состояние, при помощи специальных поглотителей–сорбентов. При масс-спектроскопии исследуемое вещество испаряется при высокой температуре и превращается в поток ионов, которые разделяются магнитным полем. При спектральном анализе изучаются спектры оптического излучения испаренных электрической дугой атомов веществ. Рентгеновская спектроскопия основана на анализе рентгеновского излучения атомов материала, подвергнутого облучению пучком электронов.