Контрольные вопросы

1. Перечислите основные способы описания микроструктуры материала.

2. Какова общая схема микроструктурных исследований?

3. За счет чего создается изображение в оптическом микроскопе?

4. Поясните, каким образом упругое рассеяние используется в оптических и электрооптических системах.

5. Что определяют процессы неупругого рассеяния в растровом электронном микроскопе?

6. Каково схематическое представление дифракционной картины? Чему пропорционален угол дифракционного рассеяния?

7. Какова схема получения изображения в РЭМ?

8. Перечислите основные методы микроструктурного анализа, которые обычно используют в промышленности и научных исследованиях?

9. Поясните различия в принципах работы просвечивающего и растрового электронного микроскопов.

Рекомендуемая литература

1. Брандон Д., Каплан У. Микроструктура материалов. Методы исследования и контроля // М.: Техносфера, 2006 – 284с.

2. Гоулдстейн Дж., Ньюбери Д., Эчлин П., Джой Д., Фиори Ч. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ: в 2-х книгах. Книга 1. Пер. с англ. – М.: Мир, 1984. – 303с.

Практическое занятие 2 Анализ материалов и структур методами оптической микроскопии

План занятия

1. Введение

2. Устройство оптического микроскопа

3. Дефекты оптического изображения

4. Методы наблюдения

5. Применение оптической микроскопии в производстве СБИС

Введение

Простейший способ увеличить изображение небольшого предмета – это наблюдать его с помощью лупы. Лупой называют собирающую линзу с малым фокусным расстоянием (как правило, не более 10 см), вставленную в рукоятку. Более совершенным инструментом для наблюдения микроскопических предметов является простой микроскоп. Когда появились эти приборы, в точности неизвестно. Создатель телескопа Галилей в 1610 году обнаружил, что в сильно раздвинутом состоянии его зрительная труба позволяет сильно увеличить мелкие предметы. Его можно считать изобретателем микроскопа, состоящего из положительной и отрицательной линз. В начале XVII века появились и микроскопы, составленные из двух положительных линз. Изобретатель такого микроскопа точно не известен, но многие факты говорят о том, что им был голландец Корнелий Дребель, живший в Лондоне и находившийся на службе у английского короля Иакова I. В 1663 году микроскоп Дребеля был усовершенствован английским физиком Робертом Гуком, который ввел в него третью линзу, получившую название коллектива. Этот тип микроскопа приобрел большую популярность, и большинство микроскопов конца XVII-первой половины VIII века строились по его схеме.

В настоящее время появились разные виды микроскопии: оптическая, электронная, ионная, рентгеновская, лазерная рентгеновская, сканирующая зондовая. Каждый из видов имеет свои особенности и свои области применения, но одной из наиболее доступных и оперативных остается оптическая микроскопия. Оптические микроскопы по области применения разделяются на технические, биологические, хирургические; по классу сложности – на учебные, рабочие, лабораторные и исследовательские; по виду микроскопии – на микроскопы проходящего и отраженного света, стереомикроскопы, поляризационные, люминесцентные (флуоресцентные), фазового контраста, конфокальные и наноскопы.