Задание № 3

Измерить сопротивление полученных пленок, рассчитать их удельное сопротивление. Построить график зависимости ρ = f(h) и сравнить полученные значения с удельным сопротивлением массивного образца.

Измерение сопротивления пленок произвести с помощью потенциометра УПИП-60М в следующем порядке:

а) подключить измерительную ячейку с исследуемой пленкой к зажимам «Т1», «П1» и «Т2», «П2» потенциометра; переключатель «род работы» установить в положение «МОСТ 4₃»;

б) установить выбранный множитель на переключателе отношения плечей «N=»;

в) включить питание;

г) установить стрелку гальванометра на нуль при нажатой кнопке «грубо», а затем при нажатой кнопке «точно» вращением рукояток переключателей «× 1,0 Ώ», «× 0,1 Ώ», «× 0,01 Ώ».

Результат измерения определяется по формуле

, (7)

где R_М – величина сопротивления плеча сравнения.

Удельное сопротивление пленки алюминия или другого металла рассчитывается по формуле

, (8)

где l, а, h – длина, ширина и толщина пленки соответственно (м).

Удельное сопротивление массивного алюминиевого образца ρ = 2,6·10^–8 Ом·м.

А₁ = 4мм A₂ = 4ммR = 60мм

B₁ = 30мм В₂ = 30мм

С₁ = 40мм С₂ = 70мм

V = 4ПR²h

h_{1 =} A₁*B₁*C₁ / 4ПR² = 0,0000048 / 0,045216 = 0,1 *10^-4

h_{2 =} A₂*B₂*C₂ / 4ПR² = 0,0000084 / 0,045216 = 0,1*10^-4

R_{1 =} 1Ом R₂ = 0,6Ом S = 20 L = 60мм

p_{1 =} R*S/ L = 0,3 *10^-3Ом*м

p₂ = 0.18 * 10^-3Ом*м

Вывод: В этой лабораторной работы я освоил технологический процесс нанесения металлических пленок методом термического испарения в вакууме и экспериментальное исследование зависимости удельного сопротивления тонких пленок от толщины.