Список использованных источников
1
Парфенов О.Д. Технология микросхем –
М. Высшая школа, 1986. – 320 с.
2
Курносов А.И. Юдин В.В. Технология
производства полупроводниковых приборов
и интегральных микросхем – М. Высшая
школа, 1986. – 368 с.
3 Плазменная технология в производстве
СБИС, под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна,
перевод с английского – М. Мир, 1987. –
470 с.
4 Иванов-Есипович Н.Н. Физико-химические
основы производства радиоэлектронной
аппаратуры – М. Высшая школа, 1979. – 205
с.
5 Коледов Л.А. Технология и конструкция
микросистем, микропроцессоров и
микросборок – М. Радио и связь, 1989. –
400 с.
6 Технология СБИС в 2-х книгах, книга 1,
перевод с английского под редакцией С.
Зи – М. Мир, 1986. – 404 с.
7 Чикин Е.В. Физико-химические основы
технологии электронных систем – Томск:
Томский межвузовский центр дистанционного
образования, 2006. – 209 с.
