
- •Особые свойства электронных приборов
- •Глава 1.
- •Общие сведения о полупроводниковых материалах
- •Энергетические зонные диаграммы кристаллов
- •Прохождение тока через металлы
- •Собственная проводимость полупроводников
- •Примесная проводимость полупроводников
- •Электронная проводимость. Полупроводник и-типа
- •Дырочная проводимость. Полупроводник /7-типа
- •Однородный и неоднородный полупроводник
- •Неравновесная концентрация носителей
- •Прохождение тока через полупроводники
- •1.7. Уточнение понятий «собственные» и «примесные» полупроводники
- •Глава 2.
- •2.1. Функция распределения Ферми-Дирака
- •Плотность квантовых состояний
- •Концентрация носителей в зонах
- •2.4. Собственный полупроводник
- •2.5. Примесный полупроводник. Смещение уровня Ферми
- •Глава 3.
- •Потенциальный барьер
- •3.1.4. Электронно-дырочный переход при внешнем смещении
- •Вольт-амперная характеристика р-п перехода
- •3.2.1. Пробой р-п перехода
- •Глава 4.
- •4.1.2. Параметры диода
- •4.2. Разновидности диодов.
- •4.2.2. Тепловой расчет полупроводниковых приборов
- •Кремниевые стабилитроны (опорные диоды)
- •4.2.4. Импульсные диоды
- •Туннельные и обращенные диоды.
- •Обращенные диоды
- •4.3. Контакт металл - полупроводник. Диоды Шоттки
- •4.3.1 Выпрямляющий контакт металл - полупроводник и-типа
- •4.3.2. Выпрямляющий контакт металл - полупроводник /7-типа
- •4.3.3. Диоды Шоттки
- •4.3.4. Невыпрямляющие контакты металл - полупроводник
- •4.4. Обозначение (маркировка) несиловых диодов
- •Глава 5.
- •Устройство и принцип действия
- •5.2. Основные соотношения для токов.
- •5.3. Три схемы включения транзистора
- •5.6. Малосигнальные параметры и эквивалентные схемы транзистора
- •Зависимость внутренних параметров транзистора от режима и от температуры
- •Четырехполюсниковые a-параметры транзистора и эквивалентная схема с /«-параметрами
- •Определение /I-параметров по статическим характеристикам
- •Связь между внутренними параметрами и /(-параметрами
- •Частотные свойства транзисторов. Дрейфовый транзистор
- •Частотно-зависимые параметры
- •Дрейфовый транзистор
- •Глава 6.
- •6.4.1. Мноп-транзистор
- •6.4.3. Двухзатворный моп-транзистор
- •6.5. Обозначение (маркировка) и типы выпускаемых транзисторов
- •Глава 7.
- •7.2. Закрытое и открытое состояние тиристора 7.2.1. Закрытое состояние тиристора (ключ отключен)
- •7.4. Параметры тиристора
- •Типы и обозначения силовых тиристоров
- •Глава 8.
- •8.1. Общие сведения о микросхемах 8.1.1. Классификация микросхем
- •8.2. Сведения о технологии получения имс
- •8.2.1. Исходные материалы
- •Планарно-эпитаксиальный цикл
- •8.3.1. Эпитаксия
- •8.3.2. Окисление поверхности кремния
- •8.3.3. Первая (разделительная) диффузия
- •Вторая (базовая) и третья (эмиттерная) диффузии
- •Металлизация (межсоединения)
- •Особенности и перспективы развития интегральных схем
- •Особенности имс
21
обусловливает
удельную проводимость
Скорость
восстановления равновесного состояния
полупроводника после возмущения (или
скорость исчезновения избыточных,
основных и неосновных носителей)
оценивают средним
временем жизни
т с учетом времени жизни основных и
неосновных носителей:
Плотность
дрейфовой составляющей
Таким
образом, плотность полного тока через
любое сечение полупроводника может
состоять из четырех компонентов:
Кроме
того, направленное движение каждого
из носителей (ток) может быть
обусловлено электрическим полем -
дрейфом носителейудр
(хак в металлах), а также градиентом
концентрации носителей - диффузией но-
Для
дырочного полупроводника
поэтому
для
элек
тронного
полупроводника
для
примесного полупро
водника
время жизни т определяется временем
жизни неосновных носителей. Время
жизни т может быть измерено экспериментально.
Для моно
кристаллов
германия и кремния т составляет 10-100
мкс. Однако в реальных полупроводниковых
приборах^з-за поверхностной рекомбинации
и дефектов решетки т, называемое
эффективным временем жизни, составляет
0,1-2,0
мкс [2].
В
отличие от металла, в полупроводниках
возможны два типа носителей тока -
электроны и дырки, поэтому плотность
тока j
в
полупроводнике определяется
электроннойу„ и дырочной jp
составляющими:
сителей
Прохождение тока через полупроводники
22
где
q
-
единичный заряд электрона и дырки;
п,р-
концентрации электронов и дырок; ц„,
\ip
-
подвижности электронов и дырок,
определяемые так же, как и в
металлах.
Подвижности
носителей ц„,
\хр
в
полупроводниках в общем случае являются
сложными функциями температуры и
концентрации носителей. Однако в
невырожденных (далеких от вырождения)
полупроводниках и„, \ip
не
зависят от концентрации. При небольших
колебаниях температуры около Т
= 300 К изменения подвижностей также
невелики. Для температуры Т
= ЗООК д„ = 3800, jup=
1800
см/(В-с) для германия и ц„= 1400, \ip=
500
см/(В-с) для кремния [2,3].
Для
собственного, электронного и дырочного
полупроводников можно записать
соответственно:
По
удельным проводимостям (1.7), легко
измеряемым, могут быть практически
определены концентрации носителей.
Плотности
диффузионных составляющих токов
определяются градиентами концентраций
[2,3]:
(1.7)
(1.8)
где
Dn,
Dp
-
коэффициенты диффузии дырок и электронов.
Для германия D„
=
100, Dp
=
45 см/с, для кремния D„
=
36, Dp
=
13 см/с.
Подставляя-значения
плотностей дрейфовой (1.5) и диффузионной
составляющих,
можно записать плотность полного тока
в виде
(1.9)
Из
(1.9) следует, что для нахождения токов
в полупроводнике нужно знать концентрации
носителей тока и зависимость этих
концентраций от координаты.
В
настоящее время невозможно получить
«идеально чистый» (совсем без примеси)
полупроводник. При очистке в полупроводнике
остаются вредные примеси. Однако
полупроводник можно считать «собственным»,
если вредная примесь не искажает заметно
«собственных» свойств
1.7. Уточнение понятий «собственные» и «примесные» полупроводники
23
Получение
полупроводников такой. чистоты
представляет чрезвычайно сложную
техническую задачу и возможно только
при использовании специальных
металлургических методов очистки,
таких как метод «зонной плавки» и метод
«вытягивания из расплава» (метод
Чохральско-
го)
[13-
Не
менее сложной задачей является и
получение примесного полупроводника
с заданными свойствами, для чего нужно
строго дозировать количество атомов
примеси. Например, для сохранения
характерных полупроводниковых
свойств концентрация полезной примеси
(донорной или акцепторной) должна быть
на уровне 104
%
[2], т.е. на 2-3 порядка и более превышать
концентрацию собственных носителей в
германии при Г = 300 К (при этом собственная
проводимость не различима на «фоне»
примесной проводимости). Если же
концентрация полезной примеси достигает
0,01-0,001 %,
то полупроводник становится вырожденным:
уровень примеси размывается в зону и
сливается с зоной проводимости (или с
валентной зоной) полупроводника.
При этом полупроводник теряет
полупроводниковые свойства,
превращаясь в полуметалл. Однако даже
при такой концентрации полупроводник
остается химически чистым.
полупроводника.
Для этого концентрация вредной примеси
явр
(или рвр)
должна
быть по крайней мере на порядок меньше
концентрации собственных носителей
щ
(или pi).
Для
германия при Т
= 300 К «, = 2,5-1013см
3,
значит, ивр
< 2,5-1012
см'3.
Допустимое процентное содержание
вредной примеси