
- •Особые свойства электронных приборов
- •Глава 1.
- •Общие сведения о полупроводниковых материалах
- •Энергетические зонные диаграммы кристаллов
- •Прохождение тока через металлы
- •Собственная проводимость полупроводников
- •Примесная проводимость полупроводников
- •Электронная проводимость. Полупроводник и-типа
- •Дырочная проводимость. Полупроводник /7-типа
- •Однородный и неоднородный полупроводник
- •Неравновесная концентрация носителей
- •Прохождение тока через полупроводники
- •1.7. Уточнение понятий «собственные» и «примесные» полупроводники
- •Глава 2.
- •2.1. Функция распределения Ферми-Дирака
- •Плотность квантовых состояний
- •Концентрация носителей в зонах
- •2.4. Собственный полупроводник
- •2.5. Примесный полупроводник. Смещение уровня Ферми
- •Глава 3.
- •Потенциальный барьер
- •3.1.4. Электронно-дырочный переход при внешнем смещении
- •Вольт-амперная характеристика р-п перехода
- •3.2.1. Пробой р-п перехода
- •Глава 4.
- •4.1.2. Параметры диода
- •4.2. Разновидности диодов.
- •4.2.2. Тепловой расчет полупроводниковых приборов
- •Кремниевые стабилитроны (опорные диоды)
- •4.2.4. Импульсные диоды
- •Туннельные и обращенные диоды.
- •Обращенные диоды
- •4.3. Контакт металл - полупроводник. Диоды Шоттки
- •4.3.1 Выпрямляющий контакт металл - полупроводник и-типа
- •4.3.2. Выпрямляющий контакт металл - полупроводник /7-типа
- •4.3.3. Диоды Шоттки
- •4.3.4. Невыпрямляющие контакты металл - полупроводник
- •4.4. Обозначение (маркировка) несиловых диодов
- •Глава 5.
- •Устройство и принцип действия
- •5.2. Основные соотношения для токов.
- •5.3. Три схемы включения транзистора
- •5.6. Малосигнальные параметры и эквивалентные схемы транзистора
- •Зависимость внутренних параметров транзистора от режима и от температуры
- •Четырехполюсниковые a-параметры транзистора и эквивалентная схема с /«-параметрами
- •Определение /I-параметров по статическим характеристикам
- •Связь между внутренними параметрами и /(-параметрами
- •Частотные свойства транзисторов. Дрейфовый транзистор
- •Частотно-зависимые параметры
- •Дрейфовый транзистор
- •Глава 6.
- •6.4.1. Мноп-транзистор
- •6.4.3. Двухзатворный моп-транзистор
- •6.5. Обозначение (маркировка) и типы выпускаемых транзисторов
- •Глава 7.
- •7.2. Закрытое и открытое состояние тиристора 7.2.1. Закрытое состояние тиристора (ключ отключен)
- •7.4. Параметры тиристора
- •Типы и обозначения силовых тиристоров
- •Глава 8.
- •8.1. Общие сведения о микросхемах 8.1.1. Классификация микросхем
- •8.2. Сведения о технологии получения имс
- •8.2.1. Исходные материалы
- •Планарно-эпитаксиальный цикл
- •8.3.1. Эпитаксия
- •8.3.2. Окисление поверхности кремния
- •8.3.3. Первая (разделительная) диффузия
- •Вторая (базовая) и третья (эмиттерная) диффузии
- •Металлизация (межсоединения)
- •Особенности и перспективы развития интегральных схем
- •Особенности имс
40
тых
долей вольта (< 0,5 В - Ge,
<
1 В - Si),
что
позволяет на практике часто
приравнивать его к нулю, например по
сравнению с сотней вольт в обратном
направлении. Итак, в прямом направлении
через р-п
переход протекает большой ток при
очень малом (почти нулевом) напряжении.
Поэтому прямосмещенный р-п
переход можно представить замкнутыми
контактами ключа (включен ключ), что
часто используется на практике.
Дырки,
перешедшие через пониженный потенциальный
барьер в и-область, увеличивают
концентрацию неосновных носителей р„
(сверх равновесной) на границе и-области
с р-п
переходом, т.е. имеют место возмущения
неосновных носителей. Процесс введения
неосновных носителей через пониженный
потенциальный барьер называют инжекцией
(впрыскиванием), а неравновесные
носители, появившиеся в результате
инжекции, именуют инжектированными
носителями. Точно также электроны
инжектируются из п-области
в p-область,
где они тоже являются неосновными
носителями.
Ширина
р-п
перехода h
при
прямом смещении уменьшается по сравнению
с равновесной шириной ho,
но
это явление не играет существенной
роли. В несимметричных переходах,
например при рр
» п„,
область с более высокой концентрацией
(p-область)
называют эмиттером, а область с меньшей
концентрацией - базой.
Теоретическая
вольт-амперная характеристика (ВАХ)
р-п
перехода
находится
при решении уравнения
непрерывности
[2], описывающего
закон
движения инжектированных
неосновных
носителей, например
дырок
в п-области,
в направлении от
границы
в глубь области. Однако
вольт-амперную
характеристику
можно
получить сравнительно про-
сто,
определяя величину тока толь-
ко
на границе р-п
перехода (легко
найти
dp/dx|^_0),
как
это показано
ниже.
На
рис. 3.5 схематично приве-
дена
и-область с р-п
переходом
(принято,
что ширина перехода А0
=
=
0). При прямом смещении в
и-область
инжектируются дырки и
увеличивают
на границе с р-п
пере-
ходом
концентрацию дырок от рав-
Вольт-амперная характеристика р-п перехода
41
новесной
р„
до возмущенной р„0
на величину Др„.
Таким образом, в п-области
на границе с переходом имеет место
процесс возмущения неосновных
носителей, рассмотренный в п. 1.5 и
показанный на рис. 1.6,а. Под действием
градиента концентрации возникает
диффузионный поток дырок в
глубь
«-области от р-п
перехода. Плотность полного тока в
любом сечении «-области определяется
равенством (1.9). Однако на границе (х
=
0) дрейфовая составляющая равна нулю и
ток является полностью диффузионным.
Дырочная составляющая диффузионного
тока на границе перехода согласно (1.8)
определяется выражением
Градиент
концентрации на границе перехода может
быть определен через избыточную
концентрацию Ар„
на границе и среднюю длину диффузии
дырок Lp
(см.
рис. 3.5):
Граничную
концентрацию р„0
можно найти из равенства (3.1),
распространенного на неравновесную
концентрацию рпй,
с учетом результирующего потенциального
барьера ф = ф 0
- Ua:
Равенство
(3.4), устанавливающее граничную
концентрацию инжектированных дырок,
является важнейшим в теории полупроводников.
Более строгая теория дает такой же
результат [2]. Используя (3.4) и (3.3), можно
найти
(3.2)
(3.3)
(3.4)
(3.5)
Точно
так же, используя равенства (3.2), (3.3) и
(3.4) для потока инжектированных
электронов в p-области,
можно определить плотность электронной
составляющей диффузионного тока:
из
которого с учетом (3.1) можно найти
42
(3.6)
Вольт-амперная характеристика
р-п
перехода, представляющая собой
зависимость плотности полного тока на
границе перехода от напряжения
смещения, может быть получена из (3.5),
(3.6) и (1.8):
На практике для реальных
полупроводниковых приборов (которые
рассматриваются позднее) используют
вольт-амперную характеристику для
полного тока черезр-п
переход:
Допустимая
плотность тока ja
для
германиевых переходов составляет 20-40
А/см2,
для кремниевых - 40-60 А/см2.
Площади же могут быть в
Зависимость (3.7) справедлива
и для обратного смещения, т.е.
отрицательного Uа
(все приведенные выше рассуждения
справедливы и для обратного смещения,
только возмущение в и-области на границе
будет отрицательным, рпъ
<рп).
На рис. 3.6 приведен график характеристики
(3.9).
Соотношение (3.9) тоже является
одним из важнейших в теории полупроводников.
В этом соотношении количественно
отражены все те процессы, о которых
упоминалось выше. Например, в равновесии
(Ua
= 0) результирующий
ток равен нулю, но его составляющие +/0
и -/о порознь не равны нулю и являются
тепловым (-/о)
и
диффузионным (+10)
токами
в равновесном переходе. Качественно
тепловой ток /о был рассмотрен в пункте
3.1.3. Диффузионный ток является следствием
теплового и всегда равен ему по величине
и противоположен по направлению.
Количественно величина теплового тока
определяется выражением (3.8).
Пример 3.2.
Найти величину /0
для несимметричного германиевого
перехода (распространенный случай) при
Т
= 300 К.
(3.7)
где
(3.8)
(3.9)
пределах от долей мм2
до 100 см2.
Данные:
43
Указанная
выше величина /0
для Si
на
3-4 порядка меньше.
У
современных интегральных кремниевых
транзисторов с площадью перехода не
более 2 • 10 ”5
см2
типовое значение теплового тока
теоретически находится на уровне
/0
«
1СГ15
А
[1].
Тепловой
ток /о сильно зависит от температуры:
При
прямом смещении диффузионный ток,
определяемый экспоненциальным
членом, быстро возрастает уже при малых
Ua.
Например,
при
где
ф3
= ширина запрещенной зоны в масштабе
потенциалов (на-
Я
пряжений);
(70
)0
- тепловой ток при заданной (комнатной)
температуре. Соотношение (3.10) получено
из (2.11) с учетом (1.2) или (1.3).
(3.10)