- •Кафедра напівпровідникової електроніки
- •Курсова робота
- •На тему: “Сенсори температури та деформації”
- •Основні напрямки практичного використання hk
- •Розробка сенсорів та їх характеристики
- •1.2. Терморезистиіші вимірювальні перетворювачі
- •Сенсори температури з hk
- •2.1. Сучасний стан напівпровідникової термометрії
- •2.2. Мініатюрні широкодіапазонні термометри опору на основі hk GaAs
- •2.3 Модифікації термометрів: тоагн-1, тоагя-2, тоагн-3
- •2.4. Вплив термообробки на властивості термочутливих елементів з n-GaAs і спосіб виготовлення термометрів опору
- •2.5.Високочутливий давач температури
- •2.6. Термометр опору із hk GaP
- •2.7. Термометр опору із hk GaAsP
- •2.8. Сенсор температури (hk n-Ge)
- •2.9. Низькотемпературний термометр (hk Te-Se)
- •Сенсори деформації
- •3.1. Сенсор деформації на основі стрічкового кристала n-GaAs
- •2.2. Метод вимірювання деформації (фототензорезистор)
- •3.3. Напівпровідниковий тешорезистор (hk Те)
- •3.4. Тензорезистор з точковим контактом (Те - Au)
- •3.5. Давач гідростатичного тиску (hk Те)
- •3.6. Напівпровідниковий тензодавач на основі гетероструктури (Te-GaAs)
- •3.7. Сенсор для одночасного вимірювання деформації і температури
- •3.8. Багатофункціональний сенсор
- •4. Розрахункова частина
- •4.1 Розрахунок основних параметрів терморезисторів на основі нк
- •Параметри терморезистора з hк GaP0,4As0,6
- •Деякі параметри промислових терморезисторів
- •Розрахунок сталої часу терморезистора з нк
Параметри терморезистора з hк GaP0,4As0,6
Домішка |
Eдом,еВ |
Темп. інтервал |
ТКО,%/K |
Cu |
0,33 |
0 - 300 0C |
4 - 1 |
S |
0,12 |
-100 - +200 0C |
4 - 1 |
Ni |
0,07 |
-198 - +20 0C |
13 - 1 |
Як видно з табл. 1, TKO зменшується при підвищенні температури. Збільшення концентрації домішки приводить до пониження TKO. Найбільший TKO одержують при рівні легування 1014 – 1015 см-3. При концентрації домішок 1019 см-3 (вироджений напівпровідник) TKO (незалежно від знака) зменшується практично до нуля, відображаючи експериментальний факт, що опір вироджених зразків слабко залежить від температури.
Розглянемо деякі конкретні приклади використання терморезисторів з HK для контролю температури. Так, при легуванні HK Si-Ge бором та золотом опір змінюється на 3-4 порядки (див. рис.18) в температурній області 77-300 K. Такий терморезистор можна рекомендувати для створення мініатюрного високочутливого термометра для діапазону температур 77-300 K.
Використання HK дає змогу розширити температурний робочий інтервал терморезистора на область кріогенних температур. Важливою характеристикою термометра для кріогенних температур є слабка залежність його опору від магнітного поля. Такі характеристики мають терморезистори з HK Si-Ge<Zn> та GaP. Термометр з HK GaP призначений для точного вимірювання температури в діапазоні 4,2-300 K. Чутливий елемент являє собою HK GaP р-типу, легований Zn, з ρ = 0,02 - 0,05 Ом*см і концентрацією атомів Zn рівною 2*1018-1019 см-3. Залежність питомого опору від температури має вигляд:
,
(17)
де добре виражені ділянки з енергією ε1 близькою до енергії іонізації ізольованої домішки (300-90K); і ε3 - пов'язана з стрибкоподібною провідністю по станах домішкової зони (70-4,2 K). Відсутність кореляції у розміщенні домішок заважає виходу кривих R(T) при низьких температурах на насичення. При цьому чутливість S = ΔlgR/ΔlgT у температурному інтервалі досить рівномірна: S300= 1,3 і S4,2 = 1,6 (рис. 19 ). Оскільки GaP має найбільш низьку рухливість носіїв серед популярних напівпровідникових матеріалів, то мінімальною є і величина магнітоопору зразків. Похибка ΔТ за рахунок магнітного поля (В = 2Тл, T = 4,2 K) не перевищувала 0.01K.
Рис. 18. Температурна залежність опору HK Si1-xGex (х = 0,03), вирощених у системі В+Au.
Важливою особливістю термометрів є зручні для вимірювань номінали опорів термометрів ( <104 Ом при 4,2 K), що їх вигідно відрізняє від Ge-термометрів (1-100 Ом). Це зумовлено високою концентрацією носіїв при збереженні такої самої як, в термометрах з Ge низькотемпературної чутливості.
Для вимірювань кріогенних температур (1-20 K) використовується також термометр на основі HK Te-Se. ЧЕ термометра був виконаний з HK Te1-xSex, де 0,1< х < 0,4 мас. %. Градуювальна характеристика описується залежністю R = A-BIgT, де значення сталих А = 275 Ом, В = 171 Ом. Вказаний склад твердого розчину забезпечує похибку апроксимації <0,1 K. Для підвищення точності при вимірюваннях найбільш низьких температур (1-3 K) доцільно використовувати склади з х, близьким до 0,4 мас % Se, а для більш високих температур (10-20 K) - з х, близьким до 0,1. Перевагою термометрів с можливість проведення вимірювання у магнітних полях. Величина поперечного магнітоопору в полях з індукцією В < 0,8Тл не перевищує 0,1 K, а в більших полях магнітоопір описусгься лінійною функцією виду ΔR/R = -а + bВ і може бути легко розрахований. Розсіювана потужність у термометра при найнижчих температурах становить 10-7 Вт і перевищує відповідне значення давача з InSb (2*10-8 Вт, що підвищує точність вимірювання. Особливості термометричних характеристик визначаються специфікою низькотемпературних властивостей Те (Te-Se).
Рис. 18. Температурна залежність електропровідності НК GaP.
Наприкінці порівняємо параметри н/п терморезисторів на основі HK з промисловими аналогами (табл. 2). Промислові терморезистори створюються на основі напівпровідникової кераміки (їх маркування відображає склад кераміки, наприклад KM - кобальтомарганцеві, MM -міднозакисні та інші терморезистори).
Таблиця 2.
