Пример ввода программы:

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 10, 7, 0 <ВК>) (выключить мойку щетки); ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 20, 21 2500 <ВК>) (включить вращение со скоростью 2500 об/мин);

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 30, 20, 200 <ВК>) (выполнять предыдущие команды 20 сек);

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 40, 5, 1 <ВК>) (включить промывку 2)

ВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 50,20,100 <ВК>) (выполнить промывку 2 10 сек);

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 60, 5, 0 <ВК>) (включить промывку 2)

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ:70,20,500 <ВК>) (выполнить припиши центрифуги 50 сек.);

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 80,18,1 <ВК>) (вернуть инструмент в исходное состояние);

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: 90,21,0 <ВК>) (включить вращение);

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ:<ВК>) (закончит ввод)

3 При этом под табл. 4 выйдет запрос на подтверждение № программы

НОМЕР ПРОГРАММЫ 6 (подтвердили, а если необходимо- поменять номер)

4 . После подтверждения номера выйдет запрос на подтверждение записи программы:

ЗАНЕСТИ ПРОГРАММУ В БИБЛИОТЕКУ?

(1-ДА, остальные - НЕТ)

Для записи программы необходимо ответить: 1<ВК>

На экране появится табл. 3 и запись:

ПРОГРАММА 6,1 ЗАПИСАННА В БИБЛИОТЕКУ

ВВЕДИТЕ НОМЕР И ТИП ПРОГРАММЫ

Можно продолжить запись еще 2-х программ на модуль очистки или до 3-х программ другого типа, а также, набрав номер и тип имеющихся программ можно провести корректировку (например, изменить в программе 6,1 время промывки и т.п.).

Пример ввода программы на термическую плиту.

1. Вводим в ответ на запрос табл.3 «ВВЕДИТЕ НОМЕР И ТИП ПРОГРАММЫ» выбранный нами номер и тип 2- термическая плита (см, табл.З) при этом на экране появится таблица 5.

Таблица 5

Блокировки

Вид работ

Работа Библиотека техн. пр-мм Ввод и корректировка программы Термическая плита

Коды функции 1. Продувка азотом 2. Вакуум 3. Герметизация 5. Зазор 20.Время

-ПРОГРАММЫ 3,2 НЕТ В БИБЛИОТЕКЕ

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАМЫ:

2. Водится программа. Как правило, при термоотжиге и сушке фоторезиста

достаточно задать только время обработки. При этом программа содержит

один шаг:

10,20, 600 <ВК> (проводить обработку при опущенном колпаке 60 секунд)

Температура не задается в программе, а выставляется на специальном регуляторе температуры и поддерживается одинаковой в течение смены. Информацию о температуре можно получить в режиме» модификации», либо в рабочем режиме автомата. Однако, как правило, ее измеряют в начале смены и в случае 1еобходимости, с помощью переносного измерителя температур. С использованием бракованной полупроводниковой пластины, к которой подсоединяется термопара. Такой метод измерения гарантирует соответствие измеряемой температуры на рабочих пластинах и не зависит от положения датчиков агрегата.

3. После ввода программы отвечаем:

-ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ: <ВК>

При этом выйдет запрос на подтверждение номера программы:

• НОМЕР ПРОГРАММЫ: 3 <ВК>

• ЗАНЕСТИ ПР-МУ В БИБЛИОТЕКУ? 1 <ВК> (1 - ДА, остальные НЕТ)

При этом программа записывается в библиотеку, на экране появляется табл.3 и запрос:

-ВВЕДИТЕ НОМЕР И ТИП ПРОГРАММЫ: