5. Контрольные вопросы

1. Какой вид брака произойдёт при прижиме кисти больше нормы?

2. К какому виду брака приведет несвоевременная и не качественная промывка емкостей и системы подачи растворов?

3. Перечислите аттестационные процессы на АГМО «Лада -125»

4. Каковы основные причины боя пластин, предложите пути их устранения.

5. Каковы требования к чистоте рабочего места?

6. Литература

1. Моряков B.C. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства - М.: Высшая школа, 1989г.

2. Панфилов Ю.В. и др. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленных роботов. - М.: Радио и связь, 1988г.

З. Мартынов В.В. Литографические процессы -М.: высшая школа, 1990г.

Лабораторная работа №2

Исследование работы оборудования для нанесения фоторезиста

1. Цель работы:

1.1. Изучить конструкцию автоматов нанесения фоторезиста линий "Лада-125", Лада -150.

1.2. Ознакомиться с основными аттестационными процессами на агрегате нанесения фоторезиста линии "Лада-125".

1.3. Изучить основные виды брака при нанесении фоторезиста, их причины, методы предупреждения устранения.

2. Оснащение рабочего места:

2.1. Автомат нанесения фоторезиста линии "Лада-125"

2.2. Компьютерная программа: устройство АНФ линии "Лада-150"

2.3. Полупроводниковые пластины

2.4. Кассеты

2.5. Захват

2.6. Тест на допуск к работе

3. Порядок выполнения работы:

3.1. Выполнить тест на допуск к работе

3.2. Изучить указания по безопасным условиям работы на АНФ линии "Лада- 125".

3.3. Изучить конструкцию и принцип работы АНФ линии "Лада- 125".

3.4. Провести подготовку АНФ к работе.

3.5. Набрать режимы обработки пластин для заданного варианта и показания, преподавателю.

3.6. Построить график зависимости толщины фоторезиста от скорости вращения центрифуги.

3.7. Составить алгоритм технологического процесса нанесение фоторезиста согласно варианта.

3.8. Составить таблицу основных видов брака при нанесении фоторезиста, их причины, способы предупреждения и устранения.

3.9. Провести процесс нанесения и сушки фоторезиста на тренажере линии «Лада-150».

4. Содержание отчета:

4.1. Название и цель работы.

4.2. График зависимости толщины фоторезиста от скорости вращения центрифуги для заданного варианта

4.3. Алгоритм технологического процесса для заданного варианта.

4.4. Результаты набора режимов обработки. Внешний вид щита управления

4.5. Таблица видов брака их причин, способов предупреждения и устранения.

4.6. Выводы по работе.

4.7. Ответы на контрольные вопросы.

Варианты

Вариант	V об/мин					h мк/м
	VI	V2	V3	V4	V5		h	h	h	h	h
1	1000	1500	2000	2200	2500		2,098	1,948	1,816	1,765	1,698
2	3000	3500	3750	4000	4500		1,597	1,498	1,465	1,423	1,347
3	4750	5000	5250	5500	5750		1,316	1,290	1,271	1,240	1,214