6. Литература

6.1. Моряков О.С. "Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства" - М:, "Высшая школа", 1989г.

6.2. Панфилов ЮВ. и др. "Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы -М:. "радио и связь", 1988г.

6.3. Мартынов В.В. Литографические процессы - М.: "Высшая школа", 1990г.

Практическая работа №1

Теоретические сведения

Управляющая программа автомата нанесения фоторезиста

линии Лада-150

Управляющая программа для автомата Лада-150 имеет следующие режимы:

1. Работа с библиотекой технологических программ:

1.1. Вывод содержимого библиотеки (номер и тип программ, записанных в библиотеке);

1.2. Вывод заданной программы (выводится содержание заданной технологической программы);

1.3. Ввод и корректировка программ (можно записать до 3-х программ на каждую рабочую позицию);

1.4. Удаление заданной программы;

1.5. Очистка библиотеки (при этом стирается все имеющиеся программы)

2. Управление автоматом.

В этом режиме можно быть задано включение автомата на начало работы, в случае необходимости останова автомата с завершением обработки всех пластин, находящихся в момент останова на модулях; экстренных останов, когда прекращается и движение транспорта, и любая обработка на модулях; и продолжение работы (после останова с завершением обработки)

2. Присвоение технологических программ.

В этом режиме каждому модулю можно присвоить одну из 3-х записанных программ. Если программа на данный момент не присвоена, обработки пластин на ней не производится, транспорт сразу же перенесет пластину на следующую рабочую позицию.

2. Режим снятия блокировки.

В этом режиме снимаются все сообщения об авариях. Затем происходит повторный опрос датчиков, и выводятся новые сообщения об оставшихся аварийных ситуациях.

Режимом пользуются следующим образом. Устраняются аварийные ситуации, например, убирают битую пластину с модуля, либо ликвидируют неисправность насадки. Затем входят в режим снятия блокировок и выбирают нужный вариант

снятия блокировок из предложенных на экране.

Например:

1) закончить работу

2) игнорировать

3)повторить

После исправления насадки можно повторить опрос датчиков (3-й вариант). При выходе блокировки «Нет кассеты на загрузке», если нет необходимости ставить кассету, можно выбрать 1-й и 2-й варианты,

5. Режим диагностики - используется для работы и автономном режиме, когда требуется обработка на одном модуле без участия транспорта либо только работа транспорта, а также - для работы в наладочном режиме, когда любое действие автомат выполняет только по команде оператора. В этом режиме выводятся сообщения о параметрах автомата (температура на плитах, скорости вращения и т.п.)

6. Режим прокачки дозатора, режим «доза»- используется для промывки системы нанесения фоторезиста, для настройки дозатора.

7. Режим «модификации» - используется для получения сообщений о температуре, зазорах при опускании колпаков на плитах и т.п.

Инструкция по работе с управляющей программой автомата нанесения в автоматическом режиме

1. Исходная картинка на экране при работе с управляющей программой АНФ линии Лада -150 имеет следующий вид:

Таблица 1

Блокировки

Виды работ

Работа

Команда оператора 1. Библиотека технических программ 2. Управление автоматом 3. Прокачка дозатора 4. Присвоение технических программ 5. Модификация 6. Снятие блокировки 7. Доза 8. Диагностика

- ВВЕДИТЕ КОМАНДУ:

Для записи технологических программ выбирается режим «БИБЛИОТЕКА ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОГРАММ», для этого вводится ответ: 1<ВК>

2. После данного ответа на экране появится картинка таблица 2.

Таблица 2

Блокировки

Виды работ

Работа

Библиотека техн. пр-мм

Команда оператора

1. Вывод содержимого

библиотеки

2. Вывод программы

3. Ввод и корректировка

программы

4. Удаление программы

5. Очистка библиотеки

- ВВЕДИТЕ ПРОГРАММУ: 3<ВК>

3. После выбора данного режима на экране появится картинка таблица 3 для автомата нанесения.

Таблица 3

Блокировки

Виды работ

Работа Библиотека техн. пр-мм Ввод и корректировка программы

Типы программы 1. Агрегат очистки пластин 2. Термическая плита 3. Агрегат нанесения 4. Холодная плита

- ВВЕДИТЕ НОМЕР И ТИП ПРОГРАММЫ:

Необходимо ввести программы в соответствии с вариантом задания. Допускается ввод не более 3-х программ для каждого типа. Номер выбирается произвольно, а тип - из табл. 3.

Пример ввода программы на агрегат очистки:

1. Вводим в ответ на запрос «ВВЕДИТЕ НОМЕР И ТИП ПРОГРАММЫ» 6,1 <ВК> - т. е. записываем программу №6 на агрегат очистки (тип. 1). Появится таблица 4.

Таблица 4

Блокировки
Вид работ
Работа
Библиотека техн. пр-мм
Ввод и корректировка программы
Агрегат очистки
Коды функций
1. Сушка	10 сканер Е
2. Насос	18 инстр. в исх
3. Давления	20 время
4. Мойка	21 скорость
5. Пром. 1	22 ускорение
6. Пром. 2
7. Моющий раствор
8. мойка щетки

- ПРОГРАММЫ 6,1 НЕТ В БИБЛИОТЕКЕ

ВВЕДИТЕ ШАГ ПРОГРАММЫ:

4. Вводится программа, составления в соответствии с вариантом задания.

Программа вводится последовательно, шагами. Для ввода каждого шага набирается номер шага, умноженный на 10. затем запятая, затем код необходимой функции. Затем ее значение. Например, 10,21,2000- на 1-ом шаге включить скорость 2000об/мин.

Время задается в десятых долях секунды, скорость - в оборотах в минуту (об/мин), ускорение- в (об/мин)/сек.

Для включения необходимой функции набирается «I», для выкл. «О».

В конце программы или ранее должен быть шаг «Вернуть инструмент в исходное состояние» (п. 18,1 <ВК>).

После окончания вращения должен быть шаг останова центрифуги (п. 21,0 <ВК>).

Для удаления неправильно введенного шага, набирается после номера шага код функции Q, а затем значение функции 0 (п. 0,0 <ВК>).

Для ввода промежуточного шага («вставление» шаг) набирается номер предыдущего шага, умноженный на 10 с добавлением 6 единиц. Например, для ввода дополнительного шага между 3-им и 4-ым, набирается шаг 35. При дополнительный шаг в программе получает следующее значение (40), а значение следующих шагов увеличивается на 10.