Добавил:
Upload
Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз:
Предмет:
Файл:Список лаб. работ_инструкции по литографии.docx
X
- •Список лабораторных работ
- •Список практических работ
- •Лабораторная работа №1 Исследование работы оборудования для подготовки пластин перед фотолитографией
- •1. Цель работы
- •2. Оснащение рабочего места
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Содержание отчета
- •5. Контрольные вопросы
- •6. Литература
- •Исследование работы оборудования для нанесения фоторезиста
- •4. Содержание отчета:
- •5. Контрольные вопросы:
- •6. Литература:
- •Лабораторная работа №3 Исследование работы установки контактной фотолитографии эм-576а
- •4. Содержание отчета
- •Название и цели работы.
- •5. Контрольные вопросы
- •6. Литература
- •Лабораторная работа №4 Исследование точности совмещения и замер линейных размеров с помощью тестовых структур
- •1. Цели работы
- •2. Оснащение рабочего места
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Содержание отчёта
- •Название и цели работы
- •5. Контрольные вопросы
- •6. Литература
- •Лабораторная работа №5 Подготовка металлизированного промежуточного оригинала (мпо) к работе
- •Лабораторная работа №6 Исследование дефектов фотолитографии
- •1. Цель работы
- •2. Оснащение рабочего места
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Содержание отчёта
- •Оснащение рабочего места
- •5. Контрольные вопросы
- •6. Литература
- •Практическая работа №1 Составление управляющей программы на анф «Лада - 150»
- •1. Цель работы:
- •2. Оснащение рабочего места:
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Содержание отчета
- •4.1. Название и цели работы.
- •5. Контрольные вопросы
- •6. Литература
- •Инструкция по работе с управляющей программой автомата нанесения в автоматическом режиме
- •Пример ввода программы:
- •Пример ввода программы на термическую плиту.
- •При записи программы на модуль нанесения фоторезиста
- •Пример присвоения программ
- •Инструмент по работе с управляющей программой автомата проявления фоторезиста линии Лада- 150
- •Практическая работа №2 Составление управляющих программ для установки эм-584а
- •1. Цель работы
- •2. Оснащение рабочего места
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Содержание отчета
- •5. Контрольные вопросы
- •7. Литература
- •Практическая работа №2 Теоретические сведения
- •Составление технологической программы для установки эм- 584а
- •Образец записи технической программы:
- •Практическая работа №3 Определение нуля фокусировки и глубины резкости для установки эм- 584а
- •1. Цели работы
- •2. Оснащение рабочего места
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Содержание отчёта
- •Название и цели работы
- •5. Контрольные вопросы
- •6. Литература
- •Практическая работа №4 Исследование контрольного отсъёма на повторяющиеся дефекты для установки эм- 584а
- •2. Оснащение рабочего места
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Содержания отчета
- •Название и цели работы
- •5. Контрольные вопросы
- •6. Литература
6. Литература
6.1. Моряков B.C. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства - М: Высшая школа, 1989г.
6.2. Панфилов Ю.В. и др. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленных роботов. - М.: Радио и связь, 1988г.
6.3. Мартынов В.В. Литографические процессы -М.: Высшая школа, 1990 г.
Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]