Образец записи технической программы:
МО (ВК)Т(ВК)
0,0 (ВК)
0,0,0 (ВК)
20,20 (ВК)
xFZ(BK)
КОММЕНТАРИЙ (ВК)
РАЗМЕРЫ МОДУЛЯ X.Y (мкм) 9000,9500 (ВК)
ЗНАКИ НА ДОРОЖКАХ СКРАЙБИРОВАНИЯ Y (ВК), N (ВК)
МАССИВ КРУГЛЫЙ? Y (ВК)
РАЗМЕСТИЛ» ТОЛЬКО ЦЕЛЫЕ МОДУЛИ? Y (ВК), N (ВК)
СОВМЕЩЕНИЕ 9 (ВК)
X 1, Y 1=85000,2700 (ВК)
X 12, Y 12=54000,0 (ВК)
X 13, Y 13=18000,9500 (ВК)
X 14, Y 14=36000,9500 (ВК)
X 15, Y15=36000, -9500 (ВК)
X 16, Y 16=36000, -9500 (ВК)
X 17, Y 17=27000,0(BK)
X 18, Y 18=27000,19000 (ВК)
X 19, Y19=27000, -19000 (ВК)
ТЕХНИЧЕСКИЙ ДОПУСК НА СОВМЕЩЕНИЕ (мкм) = 2,0 (ВК) ТЕХНИЧЕСКИЙ ДОПУСК НА 8-ОЙ ЗНАК (мкм)
Х= 0,15(ВК)
Y= 0,15(ВК)
Z= 20(ВК)
ДОПУСК НА РАЗБРОС ВРЕМЕНИ ЭКСПОЗИЦИИ, %: 10(ВК)
КОЛИЧЕСТВО ПРОХОДОВ 1 (ВК)
ВЫВОД СХЕМЫ РАЗМЕЩЕНИЯ МОДУЛЕЙ? Y (ВК) {появится рис. Стр.3а} ПРОХОД ФОРМИРОВАТЬ? Y (ВК)
ВРЕМЯ ЭКСПОЗИЦИИ 200 (ВК)
СМЕЩЕНИЕ МОДУЛЕЙ X,Y (мкм)-126.0,431.4 (ВК)
НОМЕР ПФО0(ВК) ПРИВЯЗКА ОКНА 0,0 (ВК)
РАЗМЕРЫ ОКНА (мм) 100,130 (ВК)
ОБРАБОТКА ПЛАСТИНЫ W 1,2 (ВК)
ВЫВОД СХЕМ РАЗМЕЩЕНИЯ МОДУЛЕЙ? Y (ВК) (появится рис. Стр.36) ПОДТВЕРЖДАЕТСЯ? Y (ВК)
ВЫВОД ЗАДАНИЯ НА ДИСК? N(BK)
Практическая работа №3 Определение нуля фокусировки и глубины резкости для установки эм- 584а
1. Цели работы
Изучить принципы действия системы автофокусировки в установки ЭМ -584
Изучить возможности управляющей программы для определения плоскости фокусировки
Изучить виды брака при фокусировке и причины их возникновения
2. Оснащение рабочего места
Микроскоп типа ММУ-3
Пенал с пластинами
3. Порядок выполнения работы
Изучить теоретические сведения
Рассмотреть контрольный отсъём и определить смещение «нуля» фокусировки
Составить рабочую программу для заданного варианта режима RE, используя образец
Ответить на контрольные вопросы
4. Содержание отчёта
Название и цели работы
Оснащение рабочего мечта
Рабочая программа режима RE для заданного варианта
Ответы на контрольные вопросы
Вывод по работе
Варианты работ
№ варианта |
Режим экспонирования |
Размер модуля |
Проход по фокусу |
1 |
37 ед |
7700-8200 |
От 60 через -20 |
2 |
40 ед |
1000-1000 |
|
3 |
38 ед |
9200-9200 |
|
4 |
41 ед |
8800-880 |
|
5 |
36 ед |
9500-8200 |
|
Образец программы
RE (BK)
Шаг X,Y 1000,1000 (BK)
Число столбцов, строк 4,4 (ВК)
Время экспозиции 21(ВК)
Изменение экспозиции 0(ВК)
Начальное значение фокусировки 60;60 (ВК)
Изменение смещения нуля фокусировки 20 (ВК)
Ряд, массив R (ВК)
Изменение коррекции X,Y 0,0 (ВК)
Рисунок - пластины с контрольным отсчётом на плоскости фокусировки