5. Контрольные вопросы

5.1. Для чего предназначены управляющие технологические и наладочные программы?

5.2. Каковы исходные данные для составления управляющих технологических программ для установки ЭМ 584А.

5.3. Каковы возможности установки ЭМ 584 А? Перечислите основные конструктивные элементы установки.

5.4. Для чего вводится коррекция на смещение модулей в режиме совмещения.

5.5. Каковы возможные последствия:

а) неверно заданного времени экспонирования?

б) неверно заданного смещения модулей

5.6. Когда совмещение не требуется, а когда оно необходимо?

7. Литература

7.1. Моряков B.C. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства - М.: Высшая школа, 1989г.

7.2. Панфилов Ю.В. и др. Оборудование производства интегральных микросхем и промышленных роботов. - М.: Радио и связь, 1988г.

7.3. Мартынов В.В. Литографические процессы -М.: высшая школа, 1990г.

Практическая работа №2 Теоретические сведения

Управляющая программа ЭМ - 584А предназначена для управления работой установки в автоматическом режиме при фотолитографическом процессе производства интегральных схем.

1) В основном рабочем цикле программа выполняет следующие функции:

ввод задания на обработку полупроводниковых пластин (технологической программы).

2. загрузку пластин из подающей кассеты в установку;

3. фокусировку;

4. поиск знаков совмещения по координатам, заданны в технологической программе,

5. определение и введение коррекции координатной системы ц послойного совмещения;

6. загрузку инструментального, либо рабочего шаблона ( соответствии с заданием технологической программы;

7. управление шторками для задания размера окна по данным технологической программы;

8. экспонирование заданных в программе модулей;

9. разгрузку пластин в приёмную кассету;

10) подбор резкости изображения, времени экспозиции, коррекции на смещение модулей (с использованием дополнительных режимов

RE);

11) смещение (разворот) шаблона в соответствии с заданием технологической программы;

12) коррекцию загрузки полупроводниковой пластины на индуктор.

Для ввода параметров установки используется команда МО. К

параметрам установки относится коррекция блока загрузки, смешения нуля фокусировки, смещение нуля базы шаблонов, масштабные коэффициент, полученные при аттестации координатной системы. Диалог оператор-ЭВМ при задании параметров установки выглядит следующим образом: . *МО(ВК)

ВВОД ПАРАМЕТРОВ УСТАНОВКИ Т (ВК) - вести параметры из памяти ЭВМ.

Иногда возможны другие варианты ответа -N (ВК) - не нужно вводить параметры (когда они уже введены; при этом выполнение команды «МО заканчивается); Д (ВК)- ввод параметров с гибкого магнитного диска.

КОРРЕКЦИЯ ЗАГРУЗКИ 0,0 (ВК)

При коррекции загрузки, отличной от нуля, индуктор измеряет базовое положение при загрузке пластины. При этом пластина сдвигается относительно центра индуктора и очевидно, меняются координаты положения знаков совмещения, модулей на пластине. Например, в случае задания коррекции загрузки на 1000 мкм по оси X (1000,0 (ВК)), индуктор при загрузке сдвинется на 1000 мкм вправо, следовательно, пластина ляжет на 1000 мкм левее, и координаты 1-ого знака по X увеличатся на 1000 мкм. Как правило, этот параметр оставляют равным нулю. СМЕЩЕНИЕ НУЛЯ БАЗЫ ШАБЛОНОВ X,Y,A = 0,0,0 (ВК)

Как правило, оставляют нулевые значения нуля базы шаблонов. В редких случаях, когда требуется развернуть ФШ для в писания данного слоя в предыдущий (при ошибках при изготовлении предыдущих слоев), набираются смещения ФШ по осям X.Y и углу, а в дискретах (1 дискрет = 0,16 мкм).

СМЕЩЕНИЕ НУЛЯ ФОКУСИРОВКИ L.P = 20,20 (ВК)

Задается по результатам контрольных процессов одинаковым по левому и правому

каналам систем автофокусировки.

КОРРЕКТ. КОЭФФИЦИЕНТЫ КООРДИНАТНОЙ. СИСТЕМЫ X.Y (ВК)

Как правило, используются записанные в памяти ЭВМ коэффициенты (равные 1,0).

В случае если некоторые слои изготавливаются на другой установке, есть возможность ввести различные коэффициенты с тем, чтобы шаг перемещения индуктора на данной установке в точности совпал с аналогичным параметром другой.

Таким образом, чаще всего из параметров установки корректируется только смещение нуля фокусировки. При выведении запросов ЭВМ о других параметрах, необходимо лишь следить, чтобы из-за сбоек на экране не появились случайные величины.

После ввода параметров установки необходимо набрать, технологическую программу. Для записи технологической программы используется команду FZ (формировать задание).

После задания данной команды на дисплее последовательно появляются запросы на параметры обработки. После ввода каждого параметра необходимо нажать клавишу (ВК). При этом параметр запишется в память ЭВМ, произведутся необходимые расчеты, после чего на экране появится следующий запрос.