Список лабораторных работ

№ п/п	Наименование лабораторных работ	Кол-во часов
1	Лабораторная работа №1. Исследование работы оборудования для подготовки пластин перед фотолитографией	4
2	Лабораторная работа №2. Исследование работы оборудования для нанесения фоторезиста	4
3	Лабораторная работа №3. Исследование работы установки контактной фотолитографии ЭМ-576 А	4
4	Лабораторная работа №4. Исследование точности совмещения и замерлинейных размеров с помощью тестовых структур	4
5	Лабораторная работа №5.Подготовка металлизированного промежуточного оригинала (МПО) к работе	4
6	Лабораторная работа №6. Исследование дефектов фотолитографии	4

Список практических работ

№ п/п	Наименование лабораторных работ	Кол-во часов
1	Практическая работа №1. Составление управляющей программы на АНФ «Лада 150»	4
2	Практическая работа №2. Составление управляющих программ для установки ЭМ-584А	4
3	Практическая работа №3. Определение нуля фокусировки и глубины резкости для установки ЭМ- 584А	4
4	Практическая работа №4. Исследование контрольного отсъёма на повторяющиеся дефекты для установки ЭМ- 584А	4

Лабораторная работа №1 Исследование работы оборудования для подготовки пластин перед фотолитографией

1. Цель работы

1.1. Изучить конструкцию автоматов гидромеханической очистки (АГМО) линиии Лада -125.

1.2. Научиться задавать на пульте установки необходимые режимы отмывки.

1.3. Ознакомиться с основными аттестационными процессами на АГМО линии Лада -125.

1.4. Изучить основные виды брака при ГМО, их предупреждение и устранение.

1.5. Определить влияние работы оборудования на качество ГМО.

2. Оснащение рабочего места

2.1. Автоматическая линия фотолитографии «Лада -125».

2.2. Кассеты.

2.3. Пластины.

2.4. 3ахват для кассет.

2.5. Тест на допуск к работе.

3. Порядок выполнения работы

3.1. Выполнить тест на допуск к работе

3.2. Изучить указания по безопасным условиям работы на линии «Лада - 125».

3.3. Провести подготовку АГМО линии «Лада -125» к работе.

3.4. Набрать режимы обработки пластин для заданного варианта и показать преподавателю. Зарисовать пульт управления с выставленными режимами.

3.5. Составить алгоритм технологического процесса очистки пластин на АГМО линии «Лада =125» согласно варианта.

3.6. Составить таблицу основных видов брака, их причин, методов устранения.

4. Содержание отчета

4.1 Название и цели работы

4.2 Рисунок панели

4.3 Алгоритм технологического процесса согласно варианта

4.4Таблица основных видов брака

Варианты №1

а)

скорость V1 очистки	скоростьV2 промывки	V3 сушка
1500 об/мин	2500 об/мин	5000 об/мин

б) алгоритм технической эксплуатации автомата АГМО «Лада -125»

Варианты №2

а)

V1	V2	V3
12000 об/мин	3000 об/мин	7500 об/мин

б) алгоритм подготовки к работе АГМО «Лада - 125»

Варианты №3

а)

V1	V2	V3c
1000 об/мин	3500 об/мин	6000 об/мин

б) алгоритм проведения аттестационного процесса на АГМО «Лада -125»