- •2.1 Теоретические сведения 28
- •Лабораторная работа № 1 Моделирование внутрикамерного устройства для процесса нанесения пленок с кольцеобразным источником материала
- •1.1 Теоретические сведения
- •1.1.1 Общие сведения о моделируемом объекте
- •1.1.2. Постановка задачи
- •1.1.3. Построение геометрической модели
- •1.1.4. Математическая модель процесса осаждения пленки
- •1.2 Лабораторное задание
- •1.2.1 Техническое оснащение
- •1.3 Методика выполнения работы
- •1.3.1 Требования к отчету
- •1.3.2 Инструкция по работе с программой «magna»
- •1.3.3 Контрольные вопросы
- •Лабораторная работа № 2 Моделирование системы ионного травления с ионным источником и ионно-оптической системой
- •2.1 Теоретические сведения
- •2.1.1 Общие сведения
- •2.1.2 Постановка задачи
- •2.2 Моделирование системы травления
- •2.2.1 Конструктивная схема системы обработки
- •2.2.2 Геометрическая модель иос
- •2.2.3 Классификация параметров иос
- •2.2.4 Математическая модель иос
- •2.3 Лабораторное задание
- •2.3.1 Техническое оснащение
- •2.4 Методика выполнения работы
- •2.4.1 Требования к отчету
- •2.4.2 Инструкция по работе с программой «ios»
- •2.4.3 Контрольные вопросы
- •Список литературы
2.3 Лабораторное задание
1. В соответствии с изученной методикой моделирования технических систем проработать математическую модель системы травления материалов ионным источником с пучком большого сечения и ионно-оптической системой, используя теоретический материал по данной теме.
2. Получить вариант задания и, используя компьютерную программу «IOS», провести расчет и оптимизацию конструктивно-технологических параметров ИОС для ИИ с заданной функцией распределении плазмы по трем критериям: равномерности травления, производительности системы и механической прочности конструкции.
2.3.1 Техническое оснащение
Для выполнения работы необходим компьютер с установленной программой «IOS». Занятия проводятся в компьютерном классе МИЭТ. Специальных требований к оснащению компьютера не предъявляется, дополнительного прикладного программного обеспечения не требуется.
2.4 Методика выполнения работы
Рекомендуется следующий порядок выполнения работы:
Лабораторное занятие делится на два этапа:
проработка математической модели системы травления с ионным пучком большого диаметра по изученной на лекции методике моделирования технических систем на основе теоретического материала по данной теме в рамках аудиторного занятия;