- •Міністерство освіти і науки україни Запорізький національний технічний університет
- •З дисципліни "Технологія виробництва іс, гіс, вет"
- •1 Лабораторна робота №1
- •1.1 Теоретичні відомості
- •1.2 Завдання
- •Перелік використаних джерел
- •2 Лабораторна робота №2
- •2.1 Технологічний процес як велика система
- •2.2 Визначення і термінологія
- •2.3 Планування двофакторного експерименту
- •2.4 Проведення двофакторного експерименту
- •2.5 Обробка результатів експерименту
- •2.6 Дробовий факторний експеримент
- •2.7 Врахування нелінійності типу квадратів факторів
- •2.8 Планування експерименту при пошуку оптимуму
- •2.9 Обробка та оцінка експериментальних даних
- •2.10 Завдання
- •Перелік використаних джерел
- •3 Лабораторна робота №3
- •3.1 Термічні операції в технології напівпровідникових приладів
- •3.2 Дифузійні печі
- •3.3 Конструкції термічних камер дифузійних печей
- •3.4 Газова шафа
- •3.5 Пристрій завантаження-вивантаження
- •3.6 Система регулювання температури
- •3.7 Завдання
- •Перелік використаних джерел
- •4 Лабораторна робота №4
- •4.1 Теоретичні відомості
- •4.2 Контрольні запитання
- •4.3 Завдання
- •Перелік використаних джерел
- •Принцип роботи компенсаційного стабілізатора напруги
2.5 Обробка результатів експерименту
В результаті експерименту одержують рівняння регресії, яке часто називають моделлю процесу:
у = b0 + b1 x1 + b2 x2 . (2.3)
З
о
розрахункові точки для відгуку без
урахування взаємодії факторів (
*- експериментальні
точки і співпадаючі з ними розрахункові
точки з урахуванням взаємодії (
2)
ур''=40+2,5х1-17,5х2-8х1х2
Рисунок
2.3 - Розміщення площини регресії відносно
експериментальних точок
);
)
=40+2,5х1-17,5х2;
Для опису досліджуваного явища чи процесу спочатку пробують використати лінійну модель, як найбільш просту (див. (2.3)), а якщо вона виявиться неадекватною, тоді її ускладнюють, тобто підвищують степінь полінома.
Для знаходження коефіцієнтів bi використовують метод найменших квадратів (МНК).
З геометричної точки зору, у випадку двофакторного експерименту задача полягає в тому, щоб знайти в тримірному просторі рівняння площини, яка, можливо, не пройде через експериментальні точки yіе, але матиме найменшу суму квадратів відхилень дослідних точок від цієї площини (рис.2.3), тобто має бути
, (2.4)
де уіе – значення відгуку в і-му досліді (експериментальне),
уір – розрахункове значення відгуку для тих же умов.
В розгорнутому вигляді рівняння (2.4) запишеться так:
. (2.5)
В даному прикладі задача знаходження коефіцієнтів зводиться до знаходження мінімуму функції (bj) трьох змінних b0, b1, b2 із умов:
(2.6)
або в розгорнутому вигляді
(2.7)
(2.8)
(2.9)
де х0і – фіктивна змінна, що завжди дорівнює + 1.
Звідси одержимо систему нормальних рівнянь відносно х0і, х1і, х2і:
(2.10)
Ця складна система рівнянь значно спрощується, якщо врахувати наведений нижче ряд властивостей нашої матриці повного факторного експерименту (ПФЕ – експеримент, в якому використані всі можливі сполучення значень факторів; в нашому прикладі – сплавленні p-n-переходів – їх 4).
Властивість ортогональності: сума рядкових добутків елементів будь-яких двох стовпців дорівнює нулю.
Властивість нормування: сума квадратів елементів будь-якого стовпця дорівнює числу різних дослідів (або рядків матриці) N.
Властивість симетрії: алгебраїчна сума елементів будь-якого реального фактора дорівнює нулю (умова балансу додатних та від`ємних значень кожної змінної).
Властивість рототабельності: дисперсії передбачених значень відгуку на рівних відстанях від центру плану постійні та мінімальні.
Враховуючи ці властивості, систему (2.10) можна записати у вигляді:
|
(2.11) |
Звідси легко визначити коефіцієнти рівняння регресії:
|
(2.12) |
або в загальному вигляді
|
(2.13) |
де j=0; 1; 2 (індекс коефіцієнта), і=1; 2; 3; 4 (номер досліду).
При проведенні n паралельних дослідів в формули (2.11) і (2.13) підставляють середні значення відгуку (для кожного рядка матриці).
Отже, у розглянутому нами прикладі (див. табл.2.2)
b0 = 1/4 (47 + 68 + 28 + 17) = 40;
b1 = 1/4 (47 (–1) + 68 (+1) + 28 (–1) + 17 (+1) = 2,5;
b2 = 1/4 (47 (–1) + 68 (–1) + 28 (+1) + 17 (+1) = -17,5.
І наше рівняння регресії має вигляд:
у = 40 + 2,5 х1 – 17,5 х2 . |
(2.14) |
З нього видно, що підвищення температури процесу (х1) та зменшення часу сплавлювання (х2) ведуть до збільшення проценту виходу якісних p-n - переходів (див. другий дослід у табл.2.2).
Далі за допомогою цього рівняння знаходимо розрахункові значення уір функції відгуку для всіх чотирьох наборів факторів (для всіх чотирьох дослідів). Одержані дані записуємо у додаткову графу (колонку, рядок) матриці експерименту, наносимо на графік рис.2.3, з якого бачимо суттєву різницю між експериментальними та розрахунковими даними.
Врахуємо ефект взаємодії факторів, якому в матриці експерименту буде відповідати добуток х1х2 (нелінійність типу добутку факторів).
Складемо нову таблицю 2.3, в яку перенесемо дані з табл.2.2 та будемо вносити всі доповнення, що з`являються в процесі обробки результатів експерименту; при цьому значення “1” опустимо, а будемо записувати лише знаки “+” і “–”.
Таблиця 2.3 – Матриця двофакторного експерименту в процесі обробки результатів
№ дос-ліду |
Рівні вхідних змінних факторів |
Експери-ментальні значення відгуку
уе |
Розрахункові значення відгуку без урахування взаємодії
|
Допо-міжна змінна
х3=х1х2 |
Розрахункові значення відгуку з урахуванням взаємодії
|
Нев`язка |
|||
Без урахування взаємодії
|
З ураху-ванням взаємо-дії
|
||||||||
x0 |
x1 |
x2 |
|||||||
1 |
+ |
– |
– |
47 |
55 |
+ |
47 |
– 8 |
0 |
2 |
+ |
+ |
– |
68 |
60 |
– |
68 |
+ 8 |
0 |
3 |
+ |
– |
+ |
28 |
20 |
– |
28 |
+ 8 |
0 |
4 |
+ |
+ |
+ |
17 |
25 |
+ |
17 |
– 8 |
0 |
Нагадаємо, що х0 – це фіктивна змінна, яка необхідна лиш для обчислення коефіцієнта b0 за загальною формулою (2.13) (х0 завжди приймає значення + 1).
У графу 6 табл.2.3 занесено розрахункові значення відгуку без урахування взаємодії факторів х1 та х2 ; у графу 7 – допоміжну змінну х1 х2, значення якої знаходимо шляхом перемноження рівнів факторів х1 та х2 у відповідних рядках.
Врахувавши ефект взаємодії факторів, замість рівняння (2.3) одержимо нове рівняння
у = b0 x0 + b1 х1 – b2 х2 + b12 х1 x2 , |
(2.15) |
або у = b0 x0 + b1 х1 – b2 х2 + b3 х3 , |
(2.16) |
де b3=b12, а х3=х1 х2.
Оскільки графа 7 відповідає умовам ортогональності, нормування та симетрії, коефіцієнт b3 може бути обчислений як звичайно:
b3 = (1/N) ( у1 – у2 – у3 + у4 ) , |
(2.17) |
Підставивши відповідні значення уе, одержуємо: b3= –8.
Замість рівняння (2.14) запишемо нове рівняння регресії
у = 40 +2,5 х1 – 17,5 х2 – 8 х3 |
(2.18) |
та обчислимо нові значення функції відгуку і запишемо їх у графу 8. Порівнявши дані граф 8 і 5, 10 і 9, бачимо, що із врахуванням взаємодії факторів розрахункові ( ) та експериментальні (уе) значення функції відгуку співпали, а нев`язка зменшилась до нуля.
Отже, за результатами чотирьох дослідів визначено чотири оптимальних, з точки зору МНК, коефіцієнти b0, b1, b2, b3=b12, включаючи коефіцієнт взаємодії факторів.
Рівняння регресії (2.18) відрізняється від лінійного (2.14) доданком 8х1х2.
Результати обробки результатів експерименту ілюструє наведений вище рисунок 2.3.
Позитивні сторони такого планування – простота обробки результатів, висока точність визначення коефіцієнтів регресії, можливість визначення коефіцієнта взаємодії факторів та значне скорочення кількості дослідів у порівнянні з методом однофакторного дослідження складних систем.

,