- •Характеристика "Индустрии наносистем"
- •Основные постулаты Индустрии наносистем
- •Основные постулаты Индустрии наносистем
- •Список литературы
- •§1. Гигантские эффекты
- •Магнитосопротивление
- •Металлические спин-электронные структуры
- •Спин-вентили
- •Магнитный туннельный переход
- •§2. Мезоскопическая физика
- •1. Длина волны де Бройля
- •2. Средний свободный пробег электрона
- •3. Диффузионная длина
- •4. Длина экранирования
- •5. Длина локализации
- •§3. Квантовая механика
- •§4. Электронные микроскопы
- •§5. Сканирующие электронные микроскопы
- •§6. Развитие зондового сканирования поверхности
- •§7. Электронные наноприборы. Часть 1
- •§8. Электронные наноприборы. Часть 2
- •§9. Электронные наноприборы. Часть 3
1. Длина волны де Бройля
В квантовой механике электрону с импульсом р соответствует волна с длиной λВ, называемой длиной волны де Бройля:
,
где в уравнении импульс р в
квазиклассическом приближении
выражен как произведение m*v (m*
- эффективная масса электрона). В физике
твёрдого тела утверждается, что
динамическое поведение электронов
в полупроводнике может быть описано
при условии, что им приписывается именно
масса m* (а не реальная масса
электрона в вакууме m0).
Последнее замечание имеет особое
значение для рассматриваемой теории,
так как для многих полупроводников
значения m* намного меньше m0.
Например, в широко используемых
соединениях эффективная масса m*
составляет всего (0,014- 0,067)m0
. В этом случае поведение полупроводников
резко отличается от большинства металлов,
в которых электроны проводимости почти
всегда могут считаться квазисвободными.
Современная литографическая техника
(гр.,
от lithos камень, и grapho пишу)
позволяет сравнительно легко создавать
полупроводниковые наноструктуры,
размеры которых (в одном или двух
измерениях) меньше величины λВ.
2. Средний свободный пробег электрона
Электрон, двигающийся в твёрдом теле,
обычно испытывает рассеяние при
взаимодействии с кристаллическими
дефектами, например, примесями,
протяженными дефектами, колебаниями
решетки (фононами) и др. Обычно такие
процессы рассеяния или «столкновения»
являются неупругими, в результате чего
изменяются значения энергии и импульса.
Расстояние, проходимое электроном
между двумя такими неупругими процессами
взаимодействия, принято называть средним
свободным пробегом электрона
в
данном твёрдом теле, который равен
,
где через v обозначена скорость
электрона, а величина τе обозначает
так называемое время релаксации.
3. Диффузионная длина
В мезоскопических системах (с характерным размером L) электроны могут двигаться либо по привычному диффузионному механизму ((от латинского diffusio - распространение, растекание, рассеивание), движение частиц среды, приводящее к переносу вещества и выравниванию концентраций или установлению их равновесного распределения.), либо баллистически. Баллистическим механизмом переноса носителей заряда называют движение в системах, где определённая выше средняя длина свободного пробега значительно больше характерного размера структуры L, в результате чего движение происходит фактически без рассеяния и основным фактором рассеяния выступают поверхности самой структуры. В транзисторах с горячими электронами (см. раздел 9.5) перенос электронов происходит именно по баллистическому механизму, в результате чего они и могут приобретать энергию, значительно превышающую ту, которая соответствует тепловой энергии решётки. В обратном случае (т. е. когда << L) движение электронов в системе описывается коэффициентом диффузии D, который связан с так называемой диффузионной длиной Le соотношением
Le = (Dτe)1/2 , где τe — время релаксации. В теории полупроводников понятие диффузионной длины используется очень широко и часто. Например, при диффузии электронов в полупроводнике p-типа их концентрация экспоненциально уменьшается с расстоянием, причём коэффициентом затухания в экспоненте выступает именно параметр Le.
При диффузионном режиме перенос электронов в мезоскопических системах обычно описывается уравнением Больцмана, т. е. так же, как и в случае объёмных систем. Для баллистического механизма уравнение Больцмана, естественно, неприменимо, поскольку движение электронов через структуру происходит практически без столкновений.
ГОРЯЧИЕ ЭЛЕКТРОНЫ (горячие дырки), подвижные носители заряда в тв. проводнике, энергетич. распределение к-рых заметно отличается (в сторону больших энергий) от равновесного распределения, определяемого Ферми — Дирака статистикой или Больцмана статистикой. Носители заряда становятся «горячими» при протекании электрич. тока через проводник под действием достаточно сильного электрич. поля.
При протекании тока электрич. поле ускоряет большее число носителей, а тормозит меньшее, и тем самым сообщает электронному газу дополнит. энергию.
Разогрев носителей с ростом поля приводит к изменению электропроводности ПП и отклонению его вольт-амперной хар-ки от закона Ома. Эфф. подвижность носителей тока изменяется, т. к. время рассеяния импульса, как правило, зависит от энергии носителя, к-рая в ср. растёт с ростом электрич. поля. Кроме того, Г. э., приобретая достаточно большую энергию, могут переходить в более высокие зоны проводимости, в к-рых их подвижность значительно отличается (обычно в меньшую сторону) от подвижности в ниж. зонах. Изменяется и концентрация носителей либо из-за ударной генерации электронно-дырочных пар или ударной ионизации примесей, либо из-за изменения скорости рекомбинации горячих носителей или скорости захвата их примесными центрами. Обычно захват носителей происходит ионами примеси, знак заряда к-рых противоположен знаку заряда носителей. При этом скорость захвата уменьшается с разогревом, и концентрация носителей и электропроводность ПП растут. Однако иногда примесные центры заряжены одноимённо с носителями заряда и на больших расстояниях отталкивают их по закону Кулона. Тогда носитель, чтобы оказаться захваченным, должен преодолеть потенциальный барьер, вследствие чего скорость захвата растёт (время жизни уменьшается) с увеличением энергии. В результате концентрация носителей и электропроводность уменьшаются с ростом электрич. поля.
