
- •Москва Издательство маи
- •Глава 1. Введение
- •1.1. Основные понятия о первичных преобразователях сигналов
- •1.2. Характеристики первичных преобразователей сигналов
- •1.3. Основные структурные схемы датчиков
- •1.4. Классификация датчиков
- •1.5. Мостовые схемы включения датчиков
- •Глава 2. Резистивные датчики
- •2.1 Датчики механического перемещения
- •2.1.1 Эквивалентная электрическая схема
- •2.1.2 Нелинейные сопротивления
- •2.2 Резистивные датчики перемещения светового луча
- •2.3 Терморезисторы
- •2.3.1 Передаточная функция терморезисторов
- •2.3.2 Параметры терморезистора
- •2.3.3 Вольтамперная характеристика
- •2.3.4 Параметры терморезисторов
- •2.3.5 Терморезисторы с дополнительным нагревом
- •2.3.6 Позисторы
- •2.4 Варистор
- •2.5 Фоторезисторы
- •2.6 Тензорезисторы
- •Глава 3. Емкостные датчики
- •3.1 Принцип действия
- •3.2 Чувствительность емкостных датчиков
- •3.3 Ограничения для емкостных датчиков
- •3.4 Емкостные датчики малых перемещений
- •3.5 Емкостные датчики с изменением диэлектрических свойств
- •3.6 Электрические схемы емкостных датчиков
- •3.6.2 Дифференциальные схемы емкостных датчиков
- •3.7 Ошибки емкостных датчиков
- •3.8 Примеры приложений
- •Глава 4. Индуктивные датчики
- •4.1 Индуктивные датчики с переменным воздушным зазором
- •4.1.1 Принцип действия
- •4.1.2 Функция преобразования
- •4.1.3 Чувствительность
- •4.2 Дифференциальные индуктивные датчики перемещения
- •4.2.1 Принцип действия
- •4.2.2 Передаточная функция дифференциального датчика
- •4.3.3 Чувствительность дифференциального датчика
- •Индуктивный датчик угла
- •Глава 5. Тензопреобразователи
- •5.1 Принцип действия
- •5.2 Чувствительность тензопреобразователя
- •5.3 Схема включения преобразователя в электрическую цепь
- •5.4 Погрешности тензодатчиков
- •5.4.1 Температурная погрешность
- •5.4.2 Поперечная чувствительность
- •5.5 Применение тензодатчиков
- •Глава 6. Пьезоэлектрические датчики
- •6.1 Принцип действия
- •6.2 Пьезоэлектрические материалы
- •6.2.1 Монокристаллический кварцевый пьезоэлемент
- •6.2.2 Пьезокерамика
- •6.3 Функция преобразования
- •6.4 Электрические схемы
- •6.7.2 Пьезокерамические элементы
- •Глава 7. Пьезорезонансные тензодатчики
- •7.1 Частотные свойства пьезоэлемента
- •7.2 Механическая добротность
- •Резонансная частота кварцевых резонаторов
- •7.4 Тензочувствительность пьезорезонаторов
- •Генераторы с пьезорезонансной стабилизацией частоты
- •7.6 Типы пьезорезонансных датчиков
- •Глава 8. Вибрационные гиродатчики
- •8.1 Принцип действия
- •8.2 Многокомпонентные гироскопы
- •8.3 Монолитный гироскоп
- •Глава 9. Другие типы датчиков
- •9.1 Датчики изменения магнитного потока
- •9.2 Магнитостикционные датчики
- •9.2.1 Принцип действия
- •9.3 Термоэлектрический датчик
- •Список используемых источников
- •Оглавление
- •Глава 1. Введение………………………………………………………...3
- •Глава 2. Резистивные датчики……………………………………15
- •Глава 3. Емкостные датчики……………………………………..30
- •Список используемых источников………………………………87
7.2 Механическая добротность
Механические колебания пьезоэлемента сопровождаются потерями энергии. Эти потери включают акустическое излучение и тепло, выделяющееся в элементе, в материале электродов, на границе раздела колеблющегося элемента и элементов крепления.
Механическая добротность Q пьезоэлемента описывает способность элемента сохранять механическую энергию, и определяется как отношение реактивного сопротивления Xm к активному сопротивлению Rm:
Добротность на частоте последовательного резонанса fS определим как
.
Если
обозначить
, (7.3)
где δ – логарифмический декремент затухания, то добротность можно определить, как
(7.4)
Теоретически добротность кварцевого пьезоэлемента может достигать величины Q=1,2·1013/ fS.
Резонансная частота кварцевых резонаторов
Необходимые резонансные частоты кварцевых пьезоэлементов (кварцевых резонаторов) обеспечиваются в процессе изготовления. Обычно кварцевый резонатор представляет собой пластину, вырезанную из кристалла кварца (рис. 7.3). Электроды напыляются на верхнюю и нижнюю грани пластины.
Рис. 7.3
Частота параллельного резонанса совпадает с частотой механического резонанса fP= fm и определяется размерами пластины:
, (7.5)
где n - число полуволн механических колебаний; h – размер пластины в направлении распространения звуковых волн; v –скорость звука в пластине.
Скорость звука зависит от плотности среды ρ и константы упругости Е:
. (7.6)
Подставляя (7.6) в (7.5) получим значения резонансных частот:
(7.7)
Для кварцевых пьезоэлементов константа упругости изменяется при деформации. При растяжении и сжатии константа изменяется в пределах Еmax = 100 МПа … 2400 МПа. Эквивалентная сила, действующая на элемент, изменяется в диапазоне от Fраст ≈ 4×103 Н до Fсжат ≈105 Н.
Основные методы управления резонансной частотой следуют из анализа эквивалентной схемы (рис. 7.1):
Из (7.1) и (7.2) следует, что при изменении Cm и Lm одновременно изменяются fS и fP.
При увеличении Rm увеличивается логарифмический декремент затухания δ. При этом понижается частота собственных колебаний:
.
Изменение C0 изменяет частоту fР.
Чаще всего используется метод а). Метод б) мало эффективен из-за высокой добротности кварцевых резонаторов. Метод в) используется для расширения межрезонансного промежутка.
7.4 Тензочувствительность пьезорезонаторов
Тензочувствительностью пьезоэлектрического резонатора называют зависимость резонансной частоты от механических напряжений, вызванных внешним усилием F или деформацией присоединённого упругого элемента.
Определим коэффициент преобразования силы в частоту
. (7.8)
При деформациях пьезоэлемента в нём возникают механические напряжения σ. Введём коэффициент тензочувствительности в виде
(7.9)
Между коэффициентами KF и Kσ существует простая связь:
. (7.10)
Механическое напряжение σ, возникающее в пьезоэлементе под действием силы F, приложенной к площади a·h, определяется выражением
,
(7.11)
где kф – коэффициент
формы, учитывающий конструкцию
пьезоэлемента и схему нагружения.
С учётом (7.11) из (7.10) получим
. (7.12)
Если номер гармоники N, удовлетворяющей условиям резонанса, определить как:
,
то
. (7.13)
Коэффициент Kf позволяет оценить свойства пьзоэлемента, независимо от рабочей частоты, номера гармоники и размеров.
Увеличение массы
пьезоэлемента изменяет эквивалентную
индуктивность Lm эквивалентной
схемы резонатора (Рис. 7.1) изменяет
частоту резонанса. Под масс-чувствительностью
резонатора понимается зависимость
частоты fР к изменению
массы элемента. Основная резонансная
частота
зависит от скорости звука ν и
толщины пластины. Если увеличить толщину
пьезоэлемента на Δh<<h, то
пропорционально уменьшится резонансная
частота
. (7.14)
Увеличение толщины
увеличивает массу m элемента на
Δm=Δh·ρ·S,
где S – площадь
пластины. На основании (7.14) можно
записать
. (7.15)
Определяя
чувствительность по массе, как
и учитывая, что для основной гармоники
N=fPh, из (7.15) получим
.
Чувствительность по массе растёт как квадрат частоты.