
- •Физико-химические основы технологии эвс
- •Основные сведения из теории
- •1.2. Измерение удельного поверхностного сопротивления резистивной пленки
- •2. Описание лабораторной установки
- •4. Оформление отчета
- •1.Методические указания по подготовке к работе
- •I.I. Основные сведения из теории
- •1.2. Объект экспериментирования
- •2.Описание лабораторной установки
- •3.2.Построение математической модели процесса термовакуумного напыления резистивных пленок
- •4.0Формление отчета
- •5. Контрольные вопросы
- •Методические указания по подготовке к работе
- •1.1. Основные сведения из теории
- •Описание лабораторной установки
- •Порядок выполнения работы
- •Оформление отчета
- •Контрольные вопросы
- •Методические указания по подготовке к работе
- •1.1. Основные сведения из теории
- •2. Описание лабораторной установки
- •2.1. Устройство и работа установки эм-4092
- •3. Порядок выполнения работы
- •4. Оформление отчета
- •6. Контрольные вопросы
4. Оформление отчета
Отчет должен содержать; а) формулировку цели работы; б) схему сварки расщепленным электродом; в) таблицы измерений; г) значения Popt , Uopt и T для оптимального режима сварки; д) выводы по работе.
6. Контрольные вопросы
1. Каковы особенности получения микросоединений?
2. Какие методы получения микросоединений используются в микроэлектронике?
3. В чем сущность метода сварки расщепленным электродом?
4. Каков характер зависимости прочности микросоединения от напряжения сварочного импульса и давления электрода и почему?
5. Какие параметры микросоединений контролируются и какими методами?
6. В чем сущность метода ультразвуковой сварки?
7. В чем сущность метода термокомпрессионной сварки?
8. В чем сущность метода сварки V-образным электродом?
9. В чем сущность получения микросоединений методом пайки?
ПРИЛОЖЕНИЕ
Статистическая обработка экспериментального материала
Полную характеристику случайной величины x дает функция ее распределения, устанавливающая связь между значением x и вероятностью его появления p(x). Для того чтобы найти закон распределения случайной величины необходимо построить гистограмму и сравнить полученные экспериментальные данные с предполагаемым теоретическим законом (например, по критерию Пирсона).
Для построения гистограммы:
1. Формируем упорядоченный (ранжированный) ряд, располагая измеренные значения x1, x2 ,…xi …xn , где n – общее число измерений, в возрастающем порядке в виде ряда от xmin до xmax.
2. Выбираем число интервалов k по эмпирической формуле
k = 1 + 3,2lg n,
где n – общее число измерений,
и ширину интервала
Δx = R / k = (x max - x min ) / k,
где R = x max - x min - рассеяние случайной величины.
3. По упорядоченному ряду определяем число ni значений x , попавших в данный интервал (значения, находящиеся на границе интервала, разнести по 0,5 в каждый из смежных интервалов), рассчитываем относительную частоту для каждого из интервалов по формуле: pi = ni / n и значение x для i-го интервала: x i* = (x i-1 + x i) / 2. Все результаты заносим в таблицу.
i |
xi |
xi-1 |
x i* |
ni |
pi |
1 |
|
|
|
|
|
2 |
|
|
|
|
|
… |
|
|
|
|
|
… |
|
|
|
|
|
… |
|
|
|
|
|
k |
|
|
|
|
|
∑ |
n |
1,0 |
4. Строим гистограмму по результатам таблицы: по оси абсцисс откладываем интервалы и на каждом из интервалов, как на основании, строим прямоугольник, площадь которого равна pi, при этом высота прямоугольника должна быть равна частоте, деленной на ширину интервала.
5. Определяем статистические характеристики.
Математическое ожидание определяется по формуле
.
Среднее квадратическое отклонение определяется по формуле
.
6. Дифференциальная форма нормального закона распределения (закона Гаусса) имеет вид
,
где f(x) – плотность вероятности.
Интегральная форма нормального закона имеет вид
m[x] характеризует положение величины x, а σ[x] - ее рассеяние.
В интервал 2δ = σ попадает 0,68269 площади или 68% значений случайной величины,
2δ = 2σ попадает 0,95450 площади или 95% ,
2δ = 3σ попадает 0,99730 площади или 99,7% всех значений.
Библиографический список
Адлер Ю.П. Планирование эксперимента при поиске оптимальных условий. М.: Наука, 1976. 276с.
Ефимов И.Е., Козырь И.Я., Горбунов Ю.И. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. М.: Высшая школа, 1986, 464с.
Черняев В.Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов. М.: Радио и связь, 1987, 464с.
Гимпельсон В.Д., Радионов Ю.А. Тонкопленочные микросхемы для приборостроения и вычислительной техники. М.: Машиностроение, 1976, 328с.
Волков В. А. Сборка и герметизация микроэлектронных устройств. М.: Радио и связь, 1982, 278с.
Батыщев Д.А. Поисковые методы оптимального проектирования. М.: Сов.радио, 1975. 216с.