
- •Конспект лекций
- •Оглавление
- •Элементы зонной теории твердых тел
- •Статистика электронов и дырок в полупроводниках
- •Литература…………………………………………………………. .73
- •Приложение 2 Фазовая и групповая скорости, фононы………….. 87
- •1. Элементы зонной теории твердых тел
- •1.1 Электронный газ в периодическом потенциальном поле
- •1.2. Зоны Бриллюэна
- •1.3. Эффективная масса электрона
- •1.4. Зонная схема кристаллических тел - проводники, диэлектрики, полупроводники
- •2. Статистика электронов и дырок в полупроводниках
- •2.1. Собственные и примесные полупроводники
- •2.2. Зависимость концентрации свободных носителей в полупроводнике от положения уровня Ферми
- •2.3. Уровень Ферми и равновесная концентрация носителей в невырожденных собственных полупроводниках
- •2.4. Положение уровня Ферми и концентрация носителей в примесных полупроводниках
- •2.5. Неравновесные носители, рекомбинация носителей
- •2.6. Поверхностная рекомбинация
- •2.7. Уравнение непрерывности
- •3. Электропроводность твердых тел
- •3.1. Движение электронов под действием внешнего поля
- •3.2. Зависимость подвижности носителей заряда от температуры
- •3.3. Электропроводность чистых металлов
- •3.4. Электропроводность собственных полупроводников
- •3.5. Электропроводность примесных полупроводников
- •3.6. Диффузионные уравнения
- •4. Контактные явления
- •4.1. Контакт электронного и дырочного полупроводников
- •4.2. Равновесное состояние р-n-перехода
- •4.3. Зонная диаграмма р-n-перехода при положении внешнего поля
- •4.4. Вах тонкого р-n-перехода
- •5. Поверхностные явлении
- •5.1. Поверхностные состояния
- •5.2. Эффект поля. Мдп-структуры
- •5.3. Вольт-фарадная характеристика
- •6. Полевые транзисторы
- •6.1. Общие сведения
- •6.2. Полевые транзисторы с изолированным затвором
- •6.3 Статические характеристики
- •6.4. Основные параметры мдп-транзисторов
- •6.5 Полевые транзисторы с управляющим
- •7. Электрофизические свойства p-n-переходов и структур металл-диэлектрик-полупроводник
- •7.1. Барьерная и диффузионная емкость p-n-перехода
- •7.2. Механизмы пробоя p-n-переходов
- •7.3. Механизмы переноса заряда через тонкие диэлектрические пленки
- •Сильно-полевая туннельная инжекция и инжекционная модификация.
- •Литература
- •Прямоугольный барьер полубесконечной толщины
- •Приложение 2 Фазовая и групповая скорости, фононы
3.6. Диффузионные уравнения
Пусть вдоль полупроводника имеется градиент концентрации свободных носителей заряда, создание которого возможно с помощью освещения образца, его неравномерного нагрева и т.д.
В общем случае, ток проводимости состоит из геометрической суммы дрейфового и диффузионного токов.
Дрейфовые составляющие плотности тока проводимости определяются по закону Ома.
,
(3.6.1)
,
(3.6.2)
где
- электрический потенциал, n
и р концентрации электронов и дырок,
которые в общем случае не являются
равновесными.
Диффузионная составляющая тока зависит от градиента концентрации свободных носителей заряда
,
(3.6.3)
.
(3.6.4)
Диффузионный ток создает объемные заряды, поле которых вместе с внешним полем обуславливает дрейфовый ток.
В представленном на рисунке 3.4 случае, когда p1>p2, левая часть будет заряжаться отрицательно, а правая положительно и внутреннее электрическое поле полупроводника, обусловленное объемными зарядами, направлено против внешнего поля.
В общем случае, ток носителей одного вида в полупроводнике равен сумме диффузионного и дрейфового тока:
, (3.6.5)
. (3.6.6)
Если рассматривать токи в каком либо одном направлении, то уравнения (3.6.5), (3.6.6) можно переписать в виде
, (3.6.7)
. (3.6.8)
Полная плотность тока равна:
. (3.6.9)
Направления токов определяют обычно в зависимости от направления градиентов потенциала и концентраций. Знаки токов учитывают при записи уравнений.
Связь между дрейфовой подвижностью носителей и коэффициентами диффузии выражается с помощью уравнений Эйнштейна
i
iр
др
iр
диф
P1>P2
Рис. 3.5
Na-Nd
резкий
плавный
X
p
n
Рис. 4.1
,
.
(3.6.10)
Подвижность носителей пропорциональна коэффициенту диффузии.
4. Контактные явления
4.1. Контакт электронного и дырочного полупроводников
Соответствующим введением примесей в полупроводник можно создать такое их распределение, что одна часть кристалла будет полупроводником n-типа, а другая - полупроводником р-типа.
Электронно-дырочным переходом (р-n-переходом) называют слой полупроводника, располагающийся по обе стороны от границы раздела р и n-областей.
В зависимости от характера распределения примесей, различают резкий и плавный р-n-переходы. В резком р-n-переходе концентрация акцепторов и доноров изменяется скачкообразно на границе р- и n-областей (рис. 4.1, кривая 1).
В плавном переходе концентрация акцепторов и доноров является линейной функцией расстояния (рис. 4.1, кривая 2).
Относительно резкий р-n-переход можно создать при вплавлении примеси, плавный при диффузии.
Поскольку на границе раздела р- и n-областей имеется градиент концентрации свободных носителей заряда, то будет происходить процесс диффузии электронов в р-область и дырок в n-область. Это приводит к обеднению основными носителями заряда приграничных слоев и к возникновению объемных зарядов противоположного знака. В р-полупроводнике в приграничном слое падает концентрация дырок, а в n-полупроводнике концентрация электронов.
В резком р-n-переходе создаются обедненные слои ступенчатого объемного заряда (рис. 4.2), в плавном - линейного объемного заряда (рис. 4.2). Для случая на рисунках 4.2 и 4.3 концентрация акцепторов в р-области выше концентрации доноров в n-области. Толщины слоев обратно пропорциональны концентрациям примесей в областях полупроводника. Однако, при любых соотношениях концентрации примесей в областях полупроводника, сумма объемных зарядов в р- и n-областях равна нулю, т.е. площади под кривыми (x) равны между собой.
Считают, что концентрация равновесных основных носителей заряда в полупроводнике вне р-n-перехода равна концентрации примесей, т.е. примеси полностью ионизованы. Тогда равновесная концентрация электронов nno в нейтральной части n-полупроводника равна ND, а равновесная концентрация дырок ppo, в нейтральной части р-области равна NA.
nno=ND , ppo=NA. (4.1.1)
Для
равновесных концентраций всегда
справедлив закон действующих масс,
поэтому произведение концентраций
основных и неосновных носителей заряда
в обеих частях р-n-перехода
всюду одинаково и равно
:
.
(4.1.2)
На рис. 4.4 изображены зависимости концентраций основных и неос-
p
n
X
dp
dn
Рис. 4.2
p
n
dp
dn
X
Рис. 4.3
новных носителей заряда по обе стороны от резкого р-n-перехода и в самом резком р-n-переходе.