- •1.Основные понятия. Структура поверхностных слоев реального твердого тела
- •2.Классификация пленок и их основные параметры.
- •6.Термодинамическая теория зародышеобразования.
- •8.Взаимодействие частиц конденсированной фазы. Коалесценция.
- •3.Закономерности образования и роста покрытий, формируемых из газовой фазы.
- •4.Стадии и механизмы роста покрытий при их осаждении из газового потока.
- •13.Pvd методы нанесение алмазоподобных покрытий. Основные схемы нанесения
- •5.Образование адсорбционной фазы и зародышей конденсированной фазы.
- •7.Статистическая теория зародышеобразования.
- •14.Свойства и применение покрытий, полученных методом хтр.
- •17Метод плазменной полимеризации.
- •12. Cvd метод нанесения алмазных покрытий. Метод нагретой нити. Методы активации реакционноспособного газа
- •15.Высокоскоростные ионно-плазменные магнетронные распылительные системы.
- •16Основные направления совершенствования технологии получения покрытий методом конденсации в условиях ионной бомбардировки.
- •18 Получение тонких полимерных покрытий полимеризацией мономера.
- •22. Методы измерения толщины и скорости нанесения покрытий.
- •19. Осаждение полимерных покрытий методом диспергирования исходного полимера концентрированным потоком энергии.
- •20.Структура и основные свойства тонких металлических покрытий.
- •21. Методы определения адгезионной прочности наноразмерных покрытий.
- •23. Определение механические свойств поверхности путем наноиндентирования.
- •Основные понятия. Структура поверхностных слоев реального твердого тела
- •Классификация пленок и их основные параметры.
23. Определение механические свойств поверхности путем наноиндентирования.
Наноиндентирование – вся совокупность методов, использующих прецизионное, локальное, силовое воздействие на материал и одновременную регистрацию деформационных откликов с нанометровым разрешением.
Принцип: основной режим работы реализуется путем внедрения геометрически аттестованного индентора под действием заданного профиля нормальной силы и одновременной регистрации глубины погружения его в материал. Как правило, представляют результаты индентирования как зависимость нормальной силы как функция глубины погружения. Такая зависимость является аналогом диаграммы напряжение – относительная деформация, которая используется в традиционныхмакроиспытаниях. В качестве инденторов используют цилиндр с плоским торцом, сферы, конус, пирамиды. Каждый индентор имеет свои достоинства и недостатки. Наиболее распространенным индентором является трехгранный пирамидальный индентор Берковича.
Приборы называются наноинденторы или нанотестеры. Они содержат в себе узел нагружения, прецизионный датчик для регистрации перемещения индентора. Это все конструктивно объединено в одну головку измерительную. Дальше идет контрольный блок и компьютер с системой программ для управления всеми рабочими циклами прибора, сбора, обработки и хранения информации. Для выбора места «укола» используют оптический микроскоп, а для позиционирования и перемещения образца – двух или трех координатный столик. Набор узлов и их функции в наноинденторах и в атомно силовых микроскопах аналогичны и развивались они параллельно. Поэтому иногда АСМ и наноиндентор реализуются в одном приборе.
Возможности наноиндентирования: 1. Получение разнообразной характеристики материала путем математической обработки на основании адекватных физических моделей адекватного взаимодействия. 2. Можно определить модуль Юнга, твёрдость, вязкость разрешения, 3. Наноконтактные локальные характеристики (жёсткость, критическое значение упруго-контактных переходов, макроскопический предел текучести). Новые характеристики:-различные масштабные эффекты и условия их проявления; - полиморфные превращения, индуцируемые высокими контактными давлениями; - зависимость свойств от глубины в высокоградиентных материалах; - определение положения границ и раздельное определение свойств материалов плёнки и подложки без приготовления поперечного шлифа и стравливания поверхности; - определение адгезионной прочности покрытия; -закономерности трещинообразования в зоне локальной деформации; - показатели контактной усталости и абразивной износостойкости.
Для определения механических свойств тонкой плёнки на подложку, глубина внедрения h должна быть меньше, чем толщинаH: h< 0,1-0,3H.
Основные понятия. Структура поверхностных слоев реального твердого тела
Классификация пленок и их основные параметры.
Закономерности образования и роста покрытий, формируемых из газовой фазы.
Стадии и механизмы роста покрытий при их осаждении из газового потока.
Образование адсорбционной фазы и зародышей конденсированной фазы.
Термодинамическая теория зародышеобразования.
Статистическая теория зародышеобразования.
Взаимодействие частиц конденсированной фазы. Коалесценция.
Основы нанесения покрытий методом химических транспортных реакций. Основные стадии процесса.
Технология нанесения покрытий методом химических транспортных реакций.
Нанесение покрытий из вольфрама и молибдена методом химических транспортных реакций.
CVD метод нанесение алмазных покрытий. Метод нагретой нити. Методы активации реакционоспособного газа.
PVD методы нанесение алмазоподобных покрытий. Основные схемы нанесения
Свойства и применение покрытий, полученных методом ХТР.
Высокоскоростные ионно-плазменные магнетронные распылительные системы.
Основные направления совершенствования технологии получения покрытий методом конденсации в условиях ионной бомбардировки.
Метод плазменной полимеризации.
Получение тонких полимерных покрытий полимеризацией мономера.
Осаждение полимерных покрытий методом диспергирования исходного полимера концентрированным потоком энергии.
Структура и основные свойства тонких металлических покрытий
Методы определения адгезионной прочности наноразмерных покрытий.
Методы измерения толщины и скорости нанесения покрытий.
23.Определение механические свойств поверхности путем наноиндентирования.