
- •1.Основные понятия. Структура поверхностных слоев реального твердого тела
- •2.Классификация пленок и их основные параметры.
- •6.Термодинамическая теория зародышеобразования.
- •8.Взаимодействие частиц конденсированной фазы. Коалесценция.
- •3.Закономерности образования и роста покрытий, формируемых из газовой фазы.
- •4.Стадии и механизмы роста покрытий при их осаждении из газового потока.
- •13.Pvd методы нанесение алмазоподобных покрытий. Основные схемы нанесения
- •5.Образование адсорбционной фазы и зародышей конденсированной фазы.
- •7.Статистическая теория зародышеобразования.
- •14.Свойства и применение покрытий, полученных методом хтр.
- •17Метод плазменной полимеризации.
- •12. Cvd метод нанесения алмазных покрытий. Метод нагретой нити. Методы активации реакционноспособного газа
- •15.Высокоскоростные ионно-плазменные магнетронные распылительные системы.
- •16Основные направления совершенствования технологии получения покрытий методом конденсации в условиях ионной бомбардировки.
- •18 Получение тонких полимерных покрытий полимеризацией мономера.
- •22. Методы измерения толщины и скорости нанесения покрытий.
- •19. Осаждение полимерных покрытий методом диспергирования исходного полимера концентрированным потоком энергии.
- •20.Структура и основные свойства тонких металлических покрытий.
- •21. Методы определения адгезионной прочности наноразмерных покрытий.
- •23. Определение механические свойств поверхности путем наноиндентирования.
- •Основные понятия. Структура поверхностных слоев реального твердого тела
- •Классификация пленок и их основные параметры.
20.Структура и основные свойства тонких металлических покрытий.
Структура не зависимо от метода получения всегда отличается от структуры массивных тел. Это объясняется:1Осаждение тонких слоёв происходит в неравновесных условиях;2 влияние на структуру материала подложке для покрытия характерно изменение свойств по толщине. Свойства тонких покрытий:1Адгезионная прочность;2 Механические свойства наиболее распространённым является определение внутренних напряжений, твёрдости и прочности;3Триботехнические свойства:-износостойкость,-трение(коэффициент трения).4Защитные свойства(пористость, коррозионная стойкость).5 Теплофизические свойства(коэффициент теплопроводности, коэффициент теплоотдачи, термостойкость).6Декоративные свойства.7Электрофизические свойства.Адгезионная прочность тонких покрытий определяется величиной межфазного взаимодействия:1очистка поверхности изделия(удаление адсорбционных слоёв),2нагрев до 400 градусов,3травление,4нанесение промежуточных слоёв(праймеров, адгезионных слоёв),5оптимизация параметров технологич. процессов осаждения покрытий(скорость нанесения, температура нанесения, потенциал на изделие).6 проведение дополнительно физико-хим. воздействия и чаще всего дополнительной термообработки. В рез происходит релаксация внутренних напряжений на границе раздела фаз имеет место взаимная диффузия, образуется переходной слой, что повышает адгезионную прочность.
21. Методы определения адгезионной прочности наноразмерных покрытий.
Адгезионная прочность определяется величиной межфазного взаимодействия.
1.Очистка пов-ти изделия. Нагрев до Т=400-600с - полное травление. 2.Нанесение промежуточных слоёв (праймеров, адгезионных слоёв).3.Оптимизация параметров техпроцесса осаждения покрытий (скорость нанесения, Т,с изделия, потенциал на изделие (электрический)). 4.Проведение дополнительной физико-химического воздействия и чаще всего дополнительной термообработки. В результате происходит релаксация внутренних напряжений. На границе раздела фаз имеет место взаимная диффузия, образуется переходный слой, что образует адгезионную прочность.
Методы адгезионной прочности:
1 Метод нормального отрыва, когда м/у 2-мя штифтами происходит нормальный отрыв. Для тонких покрытий точность определения составляет 50 %.
2 Метод сдвига или отслаивания. Заключается в отрыве покрытия, путём создания касательного тангенциального движения на границе раздела.
3 Метод гибкой ленты. Когда определённым усилием приклеивается гибкая лента и производится её отслаивание с определением усилия либо с определением площади отслаиваемого материала.
4 метод царапания. Индентор перемещается по поверхности покрытия и определяется усилие при котором происходит отслаивание.
5 Метод истирания. Заключается в том, что удаление износа покрытия проводится абразивом любой схемы (триботехнической схемы) испытания и определяется какое-либо свойство, например, электрическое сопротивления.
6 Метод путём внедрения индентора. Метод основан на внедрении в подложку через покрытия индентора с увеличивающейся нагрузкой до начала образования в покрытии трещин концентрических либо отслаивания покрытия. Приэтом на кривой сдавливания образуется характерная ступенька.