17. Требования к герметичности вакуумных систем. Характеристика основных методов течеискания.

Методы течеискания:

Опрессовка – применяется для проверки отдельных элементов вакуумных систем. В испытуемом объекте создается избыточное давление воздуха, а объект погружается в жидкость или места предполагаемой течи смачиваются мыльным раствором. место течи совпадает с местом образования пузырьков. Диаметр пузырька в месте его образования равен диаметру капилляра. Чувствительность метода можно повысить, если использовать газы, с меньшей, чем у воздуха, вязкостью.

При люминисцентном методе используется свойство раствора люминофора проникать в капиллярные течи. Проверяемый объект длительное время выдерживают в растворе люминофора. После удаления люминофора с поверхности объекта заполненные капилляры легко обнаруживаются в виде точек или полос при облучении ртутно-кварцевыми лампами.

Метод высокочастотного разряда (искровой) заключается в том, что при приближении электрода высокочастотного трансформатора к месту течи образуется направленный разряд. Появление разряда связано с понижением давления воздуха в месте течи и улучшением условий электрического пробоя газового промежутка.

Вакууметрический метод основан на изменении выходного сигнала манометрического преобразователя при проникновении пробного вещества через течь. В кач-ве пробного вещества применяют пары или газы, которые по сравнению с воздухом обладают значительно большей или значительно меньшей теплопроводностью либо имеют отличный от воздуха потенциал ионизации. Н-р, пары ацетона, спирта, эфира, газы: гелий,аргон,водород и др.

Галогенный метод основан на изменении эмиссии ионов нагретой металлической поверхности при попадании на неё пробного вещества, содержащего галогены. Используется для поиска негерметичных мест в больших объемах или в системах с разветвленным трубопроводом.

Масс-спекрометрический метод является самым чувствительным. Метод используется для поиска весьма малых течей в высоковакуумных и сверхвакуумных системах. В качестве пробного газа используется гелий.

18. Вакуумметрический метод поиска течей.

Вакуумметрические методы основаны на измерении давления остаточной среды либо отдельных компонентов (пробных газов) в вакуумируемом объеме. В простейшем случае для этой цели служат различные манометрические датчики, которыми комплектуются стандартные вакуумметры: тепловые, ионизационные, магнитные электроразрядные, мембранно-емкостные. Чаще всего используют те, которые входят в состав обследуемого вакуумного поста. В более сложных случаях к вакуумной системе откачных постов подключают датчики, входящие в состав специальных приборов (течеискателей): гелиевые, водородные, галогенные, гелиевые масс-спектрометрические. Применение внешнего по отношению к проверяемому объекту прибора может быть оправдано только в том случае, если искомая течь меньше, чем чувствительность штатного средства измерения.

19. Материалы вакуумных систем. Требования к ним.

Требования: 1) упругость паров газов, при рабоч. темпер., должна быть ниже Р_раб;

2) газовыделения при рабочем давлении и темпер. должны быть минимальными;

3) газопроницаемость д. б. минимальна;

4) коррозионная стойкость;

5) отсутствие ползучести.

Чугун: использ-ся только мелкозернистый(например СЧ14). Применяется для изготовления корпусных деталей.

Полимеры: Полиэтилен – из них изготавливают трубы.

Вакуумная резина: Чорная и белая. Белая – немаслостойкая, но эластичная, малое газовыделение. Чорная – худшая эластичность, большое газовыдел-е, но маслостойкие.