Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ПОПОВ.docx
Скачиваний:
2
Добавлен:
01.03.2025
Размер:
1.11 Mб
Скачать

20. Какие преимущества имеют электронно-лучевые пушки с поворотом луча по сравнению с аксиальными?

Что бы уменьшить катодное распыление целесообразней использовать схему с поворотом луча. В этом случае при повороте луча снижается катодное распыление. Преимуществом также является компактность, разделение зоны генераций и зоны обработки.

21. Что такое первеанс и кроссовер?

Действие пространственного заряда в пучках удобно характеризовать по коэффициентам пространственного заряда, учитывающего величины тока и ускоряющего напряжения. Этот коэффициент называют также первеансом.

P = I/Ua3/2

I – ток электродного луча;

Ua – анодное напряжение.

Различают никопервеансные (P<10-8) и высокопервеансные (P>10-8)

В высокопервеансных электронных пучках нужно учитывать их собственные электрические и магнитные поля которые создаются электронами.

Кроссовер – наименьшее изображение сечения катода после первой короткофокусной линзы которая является точкой фокуса первой линзы со стороны изображения (точка скольжения электронных траекторий).

22. Как отличить реальную течь от виртуальной?

Вначале изолируем систему от насоса. Момент закрытия вакуумного затвора считаем начальным. Измеряем давление в камере и строим график зависимости давления от времени. Если давление вначале возрастает, а затем, начиная с некоторого времени перестает изменяться, то течь виртуальная. Если давление возрастает пропорционально времени, то причиной является негерметичность (реальная течь).