- •1.Применение вакуума в науке и технике:
- •2.Молекулярно-кинетическая модель вакуума. Давление. Длина свободного пробега:
- •3.Степени вакуума, единицы измерения, параметры атмосферного воздуха:
- •4.Откачка вакуумных систем. Основное уравнение вакуумной техники:
- •10. Молекулярные и турбомолекулярные насосы. Принцип действия. Особенности работы:
- •11. Диффузионный паромасляный насос. Принцип действия. Устройство, особенности эксплуатации:
- •12. Измерение полных (общих) давлений. Гидростатический, деформационный манометры:
- •13. Тепловые манометры. Работа и устройство термопарного преобразователя и преобразователя сопротивления:
- •14. Электронные преобразователи. Принцип действия, конструкция, особенности работы.
- •15. Магнитные преобразователи. Принцип действия, конструкция, особенности работы.
- •16. Основы конструирования вакуумных систем. Принципиальная схема средневакуумной установки.
- •17. Требования к герметичности вакуумных систем. Характеристика основных методов течеискания.
- •18. Вакуумметрический метод поиска течей.
- •19. Материалы вакуумных систем. Требования к ним.
- •20. Хемосорбционная откачка. Конструкции испарительных насосов.
- •21. Ионно-сорбционная откачка. Конструкции ионно-сорбционных насосов.
- •22.Источники электронов. Эмиттеры электронов с фиксированной границей.
- •23. Зависимость тока термоэлектронной эмиссии от температуры катода и ускоряющего напряжения:
- •24. Типовые конструкции и материалы для термокатодов:(Термокатод это эмиттер)
- •25. Типовые конструкции термокатодов.
- •27. Физические основы работы лазеров.
- •28. Методы накачки лазеров
- •29. Твердотельные технологические лазеры. Конструкция, технические характеристики.
- •30. Газовые лазеры на углекислом газе. Конструкция, технические характеристики
- •31. Методы увеличения мощности лазеров на углекислом газе.
- •32. Фокусировка и управление лазерным излучением. Режимы работы лазеров.
- •33.Механизм преобразования энергии лазерного излучения в тепловую в металлах. Физические процессы происходящие при воздействии лазерным излучением на металлы.
- •3. Для чего применяются фракционирующие устройства в пароструйных насосах?
- •4. Какие методы измерения производительности вакуумных насосов Вы знаете?
- •5. Как произвести градуировку термопарного преобразователя?
- •6. Каково назначение электронной пушки?
- •8. Какие функции выполняет вакуумное масло в ротационных механических насосах?
- •9. Какие основные причины ненормальной работы механических насосов?
- •10.Какие процессы происходят высоковакуумном паромасляном диффузионном насосе непосредственно после включения нагревателя?
- •11. В чем принципиальное отличие магнитных преобразователей от электронных?
- •12. Каким образом можно повысить мощность лазерного излучения?
- •20. Какие преимущества имеют электронно-лучевые пушки с поворотом луча по сравнению с аксиальными?
- •21. Что такое первеанс и кроссовер?
- •22. Как отличить реальную течь от виртуальной?
20. Какие преимущества имеют электронно-лучевые пушки с поворотом луча по сравнению с аксиальными?
Что бы уменьшить катодное распыление целесообразней использовать схему с поворотом луча. В этом случае при повороте луча снижается катодное распыление. Преимуществом также является компактность, разделение зоны генераций и зоны обработки.
21. Что такое первеанс и кроссовер?
Действие пространственного заряда в пучках удобно характеризовать по коэффициентам пространственного заряда, учитывающего величины тока и ускоряющего напряжения. Этот коэффициент называют также первеансом.
P = I/Ua3/2
I – ток электродного луча;
Ua – анодное напряжение.
Различают никопервеансные (P<10-8) и высокопервеансные (P>10-8)
В высокопервеансных электронных пучках нужно учитывать их собственные электрические и магнитные поля которые создаются электронами.
Кроссовер – наименьшее изображение сечения катода после первой короткофокусной линзы которая является точкой фокуса первой линзы со стороны изображения (точка скольжения электронных траекторий).
22. Как отличить реальную течь от виртуальной?
Вначале изолируем систему от насоса. Момент закрытия вакуумного затвора считаем начальным. Измеряем давление в камере и строим график зависимости давления от времени. Если давление вначале возрастает, а затем, начиная с некоторого времени перестает изменяться, то течь виртуальная. Если давление возрастает пропорционально времени, то причиной является негерметичность (реальная течь).
