- •Вакуумное оборудование. Вакуумные насосы
- •2.17 Объемные вакуумные насосы
- •2.18 Молекулярная откачка
- •2.18 Эжекторные вакуумные насосы
- •2.19 Диффузионные пароструйные насосы Принцип действия и классификация диффузионных пароструйных насосов
- •2.20 Диффузионные паромасляные насосы
- •2.21 Вакуумные агрегаты с паромасляными насосами
- •2.22 Бустерные паромасляные насосы.
- •2.25 Геттерные насосы (сорбционные).
- •2.27 Криогенные насосы
- •2.28 Сравнение откачных средств
Вакуумное оборудование. Вакуумные насосы
2.1 Классификация вакуумных насосов
Вакуумные насосы можно классифицировать по следующим признакам: назначению, принципу действия, конструкции, характеру воздействия на откачиваемые газы и диапазону рабочих давлений.
По назначению насосы можно подразделить условно на форвакуумные (Р=1,01-105—102 Па), высоковакуумные (Р=10-2—10-6 Па) и сверхвысоковакуумные (р=10-6—10-10 Па и ниже).
В зависимости от характера воздействия на откачиваемые газы различают насосы объемного действия, которые удаляют из откачиваемого объекта газ путем его сжатия в рабочем пространстве насоса и выталкивания в окружающую атмосферу или подачи в следующую ступень откачки, и поверхностного действия, которые удаляют из откачиваемого объекта газ путем связывания его на рабочих поверхностях насоса благодаря процессам адсорбции, конденсации, ионизации, диффузии и образования химических соединений.
Общая классификация современных вакуумных насосов представлена в табл.2.1.
Таблица 2.1 Классификация вакуумных насосов
По назна- чению |
По принципу действия, конструкции и характеру воздействия на откачиваемые газы |
Диапазон рабочих, давлений, Па |
||
|
насосы объемного действия |
насосы поверхностного действия |
предельное |
запуска |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
|
Механические: |
|
|
|
|
а) поршневые: с твердым поршнем |
|
13,3 |
1,01105 |
|
с жидкостным |
|
0,133 |
1,0.1105 |
|
поршнем (насос |
|
|
|
|
Теплера) |
|
|
|
Форва- |
б) вращательные |
|
|
|
куумные |
многопластинчатые |
|
13,3 |
1,01105 |
|
пластинчато- роторные |
|
6,65— |
1,01105 |
|
|
|
0,665 |
|
|
пластинчато- статорные |
|
6,65— |
1,01105 |
|
|
|
0,665 |
|
|
золотниковые |
|
6,65— |
1,01105 |
|
|
|
0,665 |
|
|
двухроторные |
|
1,3310-2 |
1,33103 |
|
Эжекторные: |
|
|
|
|
а) водоструйные |
|
6,66 103 |
1,01105 |
|
б) пароводяные |
|
1,33 |
1,01 105 |
|
в) парортутные |
|
10-2 |
1,33103 |
|
г) паромасляные |
|
10-2 |
1,33102 |
|
|
Адсорбционные |
1,3310-2 |
1,01105 |
|
|
|
|
|
|
Диффузионные |
|
|
|
|
пароструйные: |
|
|
|
|
а)бустерные: паромасляные парортутные |
|
10-2 10-3 |
1,33102 1,33103 |
|
б) высоковакуумные: |
|
|
|
|
|
|
|
|
Высокова-куумные |
паромасляные парортутные |
|
10-5 10-5 |
13,3 1,33102 |
|
|
Ионные |
1010-6 |
1,33 |
|
|
|
10-5 |
10-2 |
|
|
Геттерные или |
10-7 |
0,133 |
|
|
сублимационные |
|
|
|
Турбомолекулярные |
|
1010-7 |
1,33 |
|
|
Электрофизические |
|
|
Сверхвыскова- |
|
а) геттерно-ионные |
10-7 |
10-2 |
куумные |
|
б)орбитровные магнитораз- |
10-10 |
10-2 |
|
|
в) магниторазрядные |
10-9 |
1,33 |
|
|
Криогенные или конденсационные |
10-10 |
1,33103 |
|
|
Комбинированные: |
|
|
|
|
а) криосорбционные |
10-10 |
10-2 |
|
|
б)криогенные + магнитноразрядные |
10-8 |
1,33 |
|
|
в)магниторазрядные + геттерные |
10-8 |
1,33 |
|
Диффузионные пароструйные со специальными ловушками |
|
|
|
|
а) паромасляные с многоярусной прогреваемой ловушкой |
|
10-8 |
13,3 |
|
б)парортутные с многоярусной прогреваемой ловушкой |
|
10-10 |
1,33102 |
2.16 Объемная откачка
В процессе объемной откачки выполняются следующие основные операции:
1) всасывание газа за счет расширения рабочей камеры насоса,
2) уменьшение объема рабочей камеры и сжатие находящегося в ней газа,
3) удаление сжатого газа из рабочей камеры в атмосферу или насос предварительного разрежения.