1. Фольговые тензорезисторы

У фольговых тензорезисторов чувствительный элемент выполнен из фольги толщиной несколько микрометров. Материал - сплав Ni-Cu или Ni-Cr. Эти датчики имеют малые размеры и изготовлены методом фототравления, что обуславливает относительно низкую стоимость. Эти тензорезисторы универсальны в применении. Все это обуславливает их самое массовое применение в различных областях измерений.

009- 011

2. Проволочные тензорезисторы

012

Проволочный тензорезистор (рис. 4.2) представляет собой решетку 1 из проволоки диаметром 0,02…0,05 мм, наклеенную на основу 2 из тонкой бумаги или лаковой пленки. Сверху ее закрывают такой же бумагой или пленкой 3. В качестве материала для проволоки используется чаще всего константаи, характеризующийся достаточно большим коэффициентом тензо-чувствительиости и малым температурным коэффициентом сопротивления. Проволочные теизорезисторы выполняют с базой (длиной петли) = 5… 30 мм. Теизорезисторы с базой 5…7 мм называют мало базисными и используют главным образом в местах концентрации напряжений в исследуемых деталях.

Коэффициент тензочувствительио-сти проволочных тензорезисторов, выполненных из константановой проволоки, составляет 2 ±0,2, номинальный рабочий ток — примерно 30 мА, максимальные деформации недолжны превышать 0,3 %.

В качестве чувствительного элемента в них применяется проволока из сплава Ni-Cu или Ni-Cr, толщиной 13-25 микрометров. Так выпускаются тензорезисторы на бумажной подложке, специальные тензорезисторы для бетона, тензорезисторы на большие деформации и специальные тензорезисторы для высоких температур.

3. Полупроводниковые тензорезисторы

013

Их чувствительный элемент изготовлен из монокристалла кремния, К-фактор таких тензорезисторов - может достигать 90 - 200. Это делает их подходящими для измерения микро деформаций и для производства высокочувствительных датчиков. Возможна их работа без дополнительного усилителя. Однако эти тензорезисторы в значительной степени подвержены влиянию температуры, а также не обладают достаточной линейностью. Соответственно, область их применения ограничена.

В качестве материала для тензорезисторов используют:

Недостатком использования тензорезисторов является необходимость компенсации таких вредных факторов, влияющих на точность измерения, как влияние температуры, влажности, ползучесть упругого элемента, ползучесть клеевого слоя.

Все это вызывает нелинейность выходного сигнала, температурный уход ноля, температурный уход чувствительности, изменение модуля Юнга упругого элемента от температуры ит.д.

(5)

, ,

В таблице ниже приведены модуль Юнга и предел прочности для некоторых материалов.

Материал	Модуль Юнга, 109 Н/м2	Предел прочности, 107 Н/м2
Сталь	196	127
Железо	186	33
Медь	120	24
Латунь	102	35
Алюминий	68	7,8

Величина деформации выражается в виде ,485 10^-6деформации или