- •Введение
- •1.1. Условия наблюдения квантовых размерных эффектов
- •1.2. Структуры с двумерным электронным газом
- •1.2.1. Полупроводниковые и полуметаллические пленки
- •1.2.2. МДП-структуры
- •1.2.4. Дельта-слои
- •1.2.5. Графен
- •1.3. Квантовые нити
- •1.4. Квантовые точки
- •1.5. Сверхрешетки
- •1.5.1. Полупроводниковые композиционные СР
- •1.5.2. СР типа полуметалл-полупроводник
- •1.5.3. СР на основе кремния и МДП-структур
- •1.5.4. Легированные СР
- •1.5.5. Композиционно-легированные СР
- •1.5.6. Квазипериодические и непериодические СР
- •2. Энергетический спектр
- •2.1. Изолированные квантовые ямы, нити, точки
- •2.1.1. Квантовые ямы
- •2.1.2. Квантовые нити
- •2.1.3. Квантовые точки
- •2.2. Одномерные сверхрешетки
- •2.3. Локализованные состояния
- •2.4. Размерное квантование во внешних полях
- •2.4.1. Двумерные системы в магнитном поле
- •2.4.2. Квантовые ямы и сверхрешетки в электрическом поле
- •3.1. Изолированные квантовые ямы и нити
- •3.2. Сверхрешетки
- •4. Оптические свойства
- •4.1. Общие положения
- •4.2. Межзонное поглощение в квантовых ямах и сверхрешетках
- •4.3. Межзонное поглощение в квантовых нитях
- •4.4. Межподзонное поглощение в квантовых ямах и сверхрешетках
- •4.5. Фотодетекторы ИК–излучения
- •Содержание
- •Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
- •2. Энергетический спектр . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
- •3. Плотность состояний и концентрация носителей заряда. . . . . . 41
- •4. Оптические свойства . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
- •6. Резонансное туннелирование . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
- •Учебное издание
- •Учебное пособие
Содержание
Введение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1. Основные полупроводниковые квантово-размерные структуры . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5
1.1. Условия наблюдения квантовых размерных эффектов . . . . . . 5 1.2. Структуры с двумерным электронным газом . . . . . . . . . . . . . . 6 1.2.1. Полупроводниковые и полуметаллические пленки. . . . . 6 1.2.2. МДП-структуры. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 1.2.3. Гетероструктуры . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8 1.2.4. Дельта-слои . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.2.5. Графен . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9 1.3. Квантовые нити. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11 1.4. Квантовые точки . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12 1.5. Сверхрешетки . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13 1.5.1. Полупроводниковые композиционные СР . . . . . . . . . . . . 15 1.5.2. СР типа полуметалл-полупроводник. . . . . . . . . . . . . . . . . 17 1.5.3. СР на основе кремния и МДП структур. . . . . . . . . . . . . . . 18 1.5.4. Легированные СР . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19
1.5.5. Композиционно-легированные СР. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 20 1.5.6. Квазипериодические и непериодические СР. . . . . . . . . . . 21
2. Энергетический спектр . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21
2.1. Изолированные квантовые ямы, нити, точки . . . . . . . . . . . . . . 21 2.1.1. Квантовые ямы . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 22 2.1.2. Квантовые нити. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 25
2.1.3. Квантовые точки . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26 2.2. Одномерные сверхрешетки. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27 2.3. Локализованные состояния. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29 2.3.1. Мелкие водородоподобные примеси. . . . . . . . . . . . . . . . . 30 2.3.2. Экситоны Мота . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
2.4. Размерное квантование во внешних полях . . . . . . . . . . . . . . . . 35 2.4.1. Двумерные системы в магнитном поле. . . . . . . . . . . . . . . 35 2.4.2. Квантовые ямы и сверхрешетки в электрическом поле. . 38
3. Плотность состояний и концентрация носителей заряда. . . . . . 41
3.1. Изолированные квантовые ямы и нити . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41 3.2. Сверхрешетки . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
4. Оптические свойства . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
4.1. Общие положения. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 47 4.2. Межзонное поглощение в квантовых ямах и сверхрешетках . 49 4.3. Межзонное поглощение в квантовых нитях . . . . . . . . . . . . . . . 54 4.4. Межподзонное поглощение в квантовых ямах
113
и сверхрешетках. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 55 4.5. Фотодетекторы ИК–излучения. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 58 5. Кинетические явления. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
5.1. Неравновесная функция распределения в низкоразмерных структурах. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
5.2. Планарный перенос в квантовых ямах. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62 5.3. Вертикальный перенос в сверхрешетках. . . . . . . . . . . . . . . . . . 65 5.3.1. Область омической проводимости . . . . . . . . . . . . . . . . . . 65
5.3.2. Отрицательная дифференциальная проводимость в классических полях. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 67
5.3.3. Резонансное туннелирование в области штарковской локализации. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 70
5.4. Баллистическая проводимость квантовых нитей . . . . . . . . . . . 75 5.5. Квантовый эффект Холла (КЭХ) в квантовых ямах. . . . . . . . . 78 5.5.1. Классическая теория целочисленного КЭХ . . . . . . . . . . . 78 5.5.2. Влияние эффектов локализации на КЭХ . . . . . . . . . . . . . 79
6. Резонансное туннелирование . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 81
6.1. Прохождение электронов в структурах с одиночными квантовыми ямами и потенциальными барьерами. . . . . . . . . . 82 6.1.1. Коэффициент пропускания и резонансное туннелирование
электронов при прохождении над квантовой ямой . . . . 82
6.1.2.Коэффициент пропускания и резонансное туннелирование электронов при прохождении над потенциальным
барьером . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85 6.2. Туннелирование электронов через двухбарьерную
квантовую структуру (ДБКС). . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 88 6.2.1. Прохождение электромагнитных волн через
резонатор Фабри -Перо. Резонансные частоты. . . . . . . . 89 6.2.2. Энергетический спектр электронов в изолированной
несимметричной КЯ. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93 6.2.3. Естественное и релаксационное уширения уровней
энергии в квантовой яме ДБКС. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98 6.2.4. Туннелирование электронов через ДБКС в области
резонансных значений энергии. Формула Лоренца . . . . 101 6.3. Резонансно-туннельный диод (РТД) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104 6.3.1. Строение и действие РТД. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104 6.3.2. ВАХ и ОДП идеального РТД. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 106
6.3.3. Эквивалентная схема и максимальная частота генерации РТД . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
Заключение . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110 Список литературы. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
114