- •Реферат По курсу лекций Тихова с.В.
- •2013 Г.
- •Список основных сокращений и обозначений
- •Квантово-размерные гетероструктуры: энергетический спектр и статистика электронов и дырок, межзонное оптическое поглощение
- •1.1.1. Электронный 2d газ
- •Статистика равновесных электронов и дырок
- •Оптическое поглощение электронного газа пониженной размерности
- •1.3.1. Межзонное оптическое поглощение квантовой ямы
- •Фотоэлектрическая спектроскопия квантово-размерных гетероструктур
- •Фотовольтаические эффекты и фотопроводимость в квантово-размерных гетероструктурах
- •Методика исследования фотоэлектрических спектров
- •Спектроскопия конденсаторной фотоэдс
- •Общая характеристика спектров кфэ
- •Поляризационная фотоэлектрическая спектроскопия
- •Применение спектроскопии кфэ для исследования дефектообразования в полупроводниках
- •Методика получения гкт
- •Влияние толщины слоя InAs на спектры кфэ
- •Связь спектров кфэ с геометрическими параметрами кт
Методика получения гкт
Методика получения ГКТ, разработанная Б.Н. Звонковым и использованная в работе [32], в некоторых отношениях отличалась от общепринятой [30]. В большинстве работ используется метод молекулярно-пучковой эпитаксии или в некоторых работах метод газофазной эпитаксии(ГФЭ) из МОС при пониженном давлении газа-носителя. В ННГУ для получения ГКТ использовался метод ГФЭ из МОС при атмосферном давлении. Второе важное отличие состоит в проведении эпитаксии при относительно высокой температуре Тэ около 6500 С, тогда как обычно используются температуры ниже 5500 С. По-видимому, с этими отличиями связан тот факт, что были получены структуры с очень мелкими КТ по сравнению с описанными в литературе, что существенно облегчило сравнение эксперимента с теорией.
Для понимания результатов существенное значение имело третье отличие в методике - получение клиновидных ГКТ с переменной толщиной слоя InAs в интервале номинальных (т. е. рассчитанных в предположении чисто слоевого механизма роста) толщин 1 - 2 монослоя (МС) или. 0.35 - 0.7 нм. Для получения таких структур рост осуществлялся в ламинарном потоке без вращения подложки. Было установлено, что при этом скорости роста InAs и GaAs линейно убывали с увеличением расстояния от края подложки и были пропорциональны друг другу, что позволило по толщине слоя GaAs рассчитывать номинальную толщину слоя InAs.
Влияние толщины слоя InAs на спектры кфэ
На рис. 4.1 и 4.2 приведены спектры КФЭ при 300 и 77 К, измеренные на образцах с различной номинальной толщиной d слоя InAs (образцы выкалывались из одной пластины на разных расстояниях от края).
Наиболее примечательной особенностью этих спектров, отличающей их от спектров КФЭ в ГКЯ, является наличие ярко выраженного пика у края фоточувствительности. Хотя на спектрах КФЭ ГКЯ также часто наблюдается экситонный пик фоточувствительности, он обычно лишь слабо возвышается над платообразной полосой, связанной с межзонным поглощением в КЯ (см например рис. 3.1). Здесь же мы видим глубокие провалы, отделяющие пики от соседних участков спектра (кривые 2,3 и др.).
Рис.
4.1. Спектры КФЭ (300К) при различных
значениях номинальной толщины слоя
КТ.
d
, МС: 1 - 1.1, 2 -1.3, 3 - 1.4, 4- 1.6,
5
- 1.8, 6 - 2.1.
Рис. 4.2. То же, что на рис. 4.1, при 77К.
Подобную ступеньку с краем при 1.38 эВ можно заметить и при 300 К, однако она менее выражена из-за температурного размытия края поглощения GaAs. Эта ступенька присутствует на всех спектрах КФЭ, ее нормированная высота и положение края не меняются при d > 1 МС. Появление этой полосы хорошо объясняется образованием смачивающего слоя InAs толщиной 1МС. Наличие такого слоя отмечалось во многих работах.
Следует заметить, что в других работах пики ФЛ от КТ смещены значительно дальше в низкоэнергетическую область (до 1эВ при77К)[30]. А часто наблюдаемые одновременно пики ФЛ в области h >1.4 эВ, т. е. в рассматриваемой нами области, обычно приписываются экситонам в смачивающем слое, т. е. в КЯ. В связи с этим вопрос о природе пиков КФЭ нуждается в специальном обосновании.
Прежде всего заметим, что альтернативное предположение о принадлежности рассматриваемых пиков двумерным экситонам в смачивающем слое не позволяет объяснить ряд особенностей спектров КФЭ: независимость нормированной высоты и, особенно, ширины пиков от температуры в интервале 77 - 300 К, а также от номинальной толщины слоя InAs в интервале толщин 1.1 -2.1 МС при непрерывной зависимости hm(d). Действительно, непрерывная зависимость hm(d) в случае роста толщины смачивающего слоя означала бы, что второй монослой нарастает островками, размер которых значительно меньше размеров двумерного экситона (в противном случае наблюдалось бы раздвоение пика), но в таком случае должна сильно меняться ширина пика (она должна быть особенно большой при толщине d 1.5 МС). Необъяснимо с этой точки зрения и появление ступенчатой полосы фоточувствительности, положение края которой не зависит от d, которую мы связываем с межзонным поглощением в монослойной КЯ InAs. При дальнейшем увеличении номинальной толщины толщина смачивающего слоя не увеличивается, а избыточный материал идет на образование КТ. Расхождение в значениях hm c литературными данными обусловлено различием в размерах и форме КТ, которое в свою очередь связано с различиями в технологии и условиях выращивания КТ.
Заметим, что пики ФЛ при 77 К по положению и ширине совпадают с пиками КФЭ.
На правом плече пиков КФЭ, связанных с основным переходом в КТ с участием тяжелых дырок e1 - hh1, наблюдается выпуклость, связанная с переходом с участием легких дырок e1 - lh1.