Современные проблемы физики / PhysicalReviewpdf / Lifshits

© ãËٯˈ Ç.É., 1997

SURFACE PHASES

AND MICROELECTRONIC STRUCTURES GROWTH ON SILICON

V. G. LIFSHITS

The conditions of surface phases formation on silicon in ultra-high vacuum are described. The construction of the different surface phase diagrams is discussed. The paper contains a review of the data on the twoand three-component surface phases formation on silicon surface at coadsorption processes. The case of delta-doping in which the delta-doped layers are surface phases is presented.

йФЛТ‡М˚ ЫТОУ‚Лfl ЩУ - ПЛ У‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪ- М˚ı Щ‡Б М‡ Н ВПМЛЛ ‚ Т‚В ı‚˚ТУНУП ‚‡НЫЫПВ. й·ТЫК‰‡ВЪТfl ФУТЪ УВМЛВ ‰Л‡„ ‡ПП ‡БОЛ˜- М˚ı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б. лЪ‡Ъ¸fl ТУ‰В КЛЪ У·БУ ‰‡ММ˚ı У· У· ‡БУ‚‡МЛЛ ‰‚Ыı- Л Ъ ВıНУПФУМВМЪ- М˚ı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б М‡ Н ВПМЛЛ Ф Л Ф УˆВТ- Т‡ı ТУ‡‰ТУ ·ˆЛЛ. к‡Т- ТПУЪ ВМ˚ ВБЫО¸Ъ‡Ъ˚ ЛБЫ˜ВМЛfl ‰ВО¸Ъ‡-ОВ„Л У- ‚‡МЛfl, ‚ НУЪУ УП ‰ВО¸Ъ‡- ОВ„Л У‚‡ММ˚В ТОУЛ ТЫЪ¸ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚.

ийЗЦкпзйлнзхЦ оАбх а ЗхкАфаЗАзаЦ еадкйщгЦднкйззхп лнкмднмк зА дкЦезаа

З. Й. гаотас

С‡О¸МВ‚УТЪУ˜М˚И „УТЫ‰‡ ТЪ‚ВММ˚И ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ, ЗО‡‰Л‚УТЪУН

ЗЗЦСЦзаЦ

З М‡¯ВИ ТЪ‡Ъ¸В У ФУ‚В ıМУТЪЛ Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡ [1] П˚ ЫКВ „У‚У ЛОЛ У ЪУП, ˜ЪУ ТОВ‰ЫВЪ Т˜ЛЪ‡Ъ¸ ФУ‚В ı- МУТЪ¸˛, ‡ ˜ЪУ – ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БУИ. иУ‰ ФУ‚В ı- МУТЪМУИ Щ‡БУИ ФУМЛП‡˛Ъ ЪУМНЛИ ‰‚ЫПВ М˚И ТОУИ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ПУМУН ЛТЪ‡ОО‡, М‡ıУ‰fl˘ЛИТfl ‚ ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУП ‡‚МУ‚ВТЛЛ Т У·˙ВПМУИ Щ‡БУИ. иУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ТЩУ ПЛ У‚‡М‡ ЪВПЛ КВ ‡ЪУП‡ПЛ, ˜ЪУ Л У·˙ВПМ‡fl Щ‡Б‡ (М‡Ф ЛПВ , ФУ‚В ı- МУТЪ¸ Si(111)7 Ч 7 М‡ ‡ЪУПМУ-˜ЛТЪУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ВПМЛfl) [2]. ЦТОЛ М‡Ф˚ОЛЪ¸ М‡ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЫ˛ ФУ‰ОУКНЫ Ф ЛПВ МУ ПУМУТОУИ ˜ЫКВ У‰МУ„У ‚В- ˘ВТЪ‚‡ (ПУМУТОУИ – ˝ЪУ ТОУИ ЪУО˘ЛМУИ ‚ У‰ЛМ ‡ЪУП, Л Ъ‡НУВ ФУН ˚ЪЛВ ·Ы‰ВП М‡Б˚‚‡Ъ¸ ТЫ·ПУМУТОУИМ˚П), ЪУ ‚ ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНЛ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ЫТОУ‚Лflı М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ТЩУ ПЛ ЫВЪТfl ФУ‚В ıМУТЪ- М‡fl Щ‡Б‡ – МУ‚УВ ‚В˘ВТЪ‚У ЛБ ‡ЪУПУ‚ ФУ‰ОУКНЛ Л ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚ ТУ Т‚УВИ ТУ·ТЪ‚ВММУИ ˝ОВН- Ъ УММУИ ТЪ ЫНЪЫ УИ, Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНУИ Л Т‚УИТЪ‚‡ПЛ. и Л ˝ЪУП ТОВ‰ЫВЪ ‡БОЛ˜‡Ъ¸ ‡ЪУП˚, ‚ıУ‰fl˘ЛВ ‚ ТУТЪ‡‚ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ (·Ы‰ВП М‡- Б˚‚‡Ъ¸ Лı ‡ЪУП‡ПЛ “‚ Щ‡БВ”), Л ‡ЪУП˚, М‡ıУ‰fl˘ЛВТfl ‚ ЛБ·˚ЪНВ ФУ УЪМУ¯ВМЛ˛ Н НУМˆВМЪ ‡ˆЛЛ ˜ЫКВ У‰- М˚ı ‡ЪУПУ‚, НУ„‰‡ ‚Тfl ФУ‚В ıМУТЪ¸ ФУН ˚Ъ‡ ФУ‚В ı- МУТЪМУИ Щ‡БУИ (·Ы‰ВП Ъ‡НЛВ ‡ЪУП˚ М‡Б˚‚‡Ъ¸ ‡ЪУП‡- ПЛ “М‡ Щ‡БВ”).

б‡ПВЪЛП, ˜ЪУ ‡ЪУП˚ “‚ Щ‡БВ” УЪМУТЛЪВО¸МУ ТЛО¸- МУ Т‚flБ‡М˚ Т ФУ‰ОУКНУИ, УФ В‰ВОfl˛Ъ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ ВНУМТЪ ЫНˆЛ˛ ФУ‰ОУКНЛ, ЛБПВМfl˛Ъ ВВ ‚‡ОВМЪМЫ˛ ФУОУТЫ. АЪУП˚ “М‡ Щ‡БВ” УЪМУТЛЪВО¸МУ ТО‡·У Т‚flБ‡М˚ Т ФУ‰ОУКНУИ, МВ Ы˜‡ТЪ‚Ы˛Ъ ‚ ВНУМТЪ ЫНˆЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ Л МВ ЛБПВМfl˛Ъ ‚‡ОВМЪМЫ˛ ФУОУТЫ ФУ‰ОУКНЛ. щЪУ ‡БОЛ˜ЛВ ПВК‰Ы ‡ЪУП‡ПЛ, ‚ıУ‰fl˘Л- ПЛ ‚ ТУТЪ‡‚ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ Л ЛБ·˚ЪУ˜М˚ПЛ ФУ УЪМУ¯ВМЛ˛ Н МВИ, УФ В‰ВОflВЪ Ф Л У‰Ы ‚ТВı ФУ‚В ı- МУТЪМ˚ı Ф УˆВТТУ‚ Л У·˚˜МУ Ф ЛМЛП‡ВЪТfl ‚У ‚МЛ- П‡МЛВ Ф Л У·˙flТМВМЛЛ ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪ- М˚ı Щ‡Б Л ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Ф УˆВТТУ‚. л В‰Л ‰ Ы„Лı Т‚УИТЪ‚ „ВУПВЪ Л˜ВТН‡fl ТЪ ЫНЪЫ ‡ Т˜ЛЪ‡ВЪТfl У‰МУИ ЛБ ‚‡КМВИ¯Лı ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛН ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б, ‰У‚УО¸МУ ЫТФВ¯МУ ФУБ‚УОfl˛˘‡fl Лı Л‰ВМЪЛЩЛˆЛ У- ‚‡Ъ¸. й·˚˜МУ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚ У·УБМ‡˜‡˛ЪТfl ‚ ТУУЪ‚ВЪТЪ‚ЛЛ Т Лı ФВ ЛУ‰Л˜МУТЪ¸˛ УЪМУТЛЪВО¸МУ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФУ‰ОУКНЛ, М‡ НУЪУ УИ УМЛ

‚˚ ‡˘ВМ˚. н‡Н, М‡Ф ЛПВ , ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ Si(111)3 Ч 1–Ag (ТУН ‡˘ВММУ 3 Ч 1–Ag) ЛПВВЪ ФВ Л- У‰ В¯ВЪНЛ ‚ Ъ Л ‡Б‡ ·УО¸¯В, ˜ВП ФВ ЛУ‰ Н ВПМЛВ- ‚УИ ФУ‰ОУКНЛ Т У ЛВМЪ‡ˆЛВИ (111).

ийгмуЦзаЦ ийЗЦкпзйлнзхп оДб

нВФВ ¸ П˚ БМ‡ВП, ˜ЪУ ‰Оfl У· ‡БУ‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ МВУ·ıУ‰ЛП˚ УФ В‰ВОВММ‡fl НУМˆВМЪ ‡- ˆЛfl ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚ (˝ЪЛı ‡ЪУПУ‚ ‰УОКМУ ı‚‡- ЪЛЪ¸ М‡ У· ‡БУ‚‡МЛВ ‡ЪУПУ‚ “‚ Щ‡БВ”) Л, НУМВ˜МУ, ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУВ ‡‚МУ‚ВТЛВ. ЦТОЛ ФВ ‚УВ Ъ В- ·У‚‡МЛВ ФУМflЪМУ, ЪУ ‚ЪУ УВ МЫК‰‡ВЪТfl ‚ МВНУЪУ УП ФУflТМВМЛЛ. СВИТЪ‚ЛЪВО¸МУ, М‡Ф˚ОЛП Ф ЛПВ МУ Ъ ВЪ¸ ПУМУТОУfl Al М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ ˜ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl Т У ЛВМЪ‡ˆЛВИ (111). е˚ ЫКВ ФЛТ‡ОЛ [1], ˜ЪУ М‡ ˜ЛТЪУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ВПМЛfl ‚ Т‚В ı‚˚ТУНУП ‚‡- НЫЫПВ У· ‡БЫВЪТfl Н ВПМЛВ‚‡fl ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ Si(111)–7 Ч 7. иУТОВ М‡Ф˚ОВМЛfl ‡О˛ПЛМЛfl, ‰УФЫТЪЛП Ф Л НУПМ‡ЪМ˚ı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı, П„МУ‚ВММУ„У У·-‡БУ‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ Si–Al МВ Ф УЛБУИ- ‰ВЪ, ıУЪfl У· ‡БУ‚‡Ъ¸ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ Si–Al ‚˚„У‰МВВ ‰Оfl Ъ‡НУИ ТЛТЪВП˚, ˜ВП УТЪ‡‚ЛЪ¸ ТЪ ЫНЪЫ-Ы Si(111)–7 Ч 7. щЪУ Т‚flБ‡МУ Т ЪВП, ˜ЪУ ФВ В‰ У· ‡- БУ‚‡МЛВП МУ‚УИ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ Si–Al МВУ·ıУ- ‰ЛПУ ‡Б Ы¯ЛЪ¸ ТЪ‡ Ы˛ (Si(111)–7 Ч 7), НУЪУ ‡fl У·О‡‰‡ВЪ МВНУЪУ УИ ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУИ ЫТЪУИ˜Л‚У- ТЪ¸˛. дУМВ˜МУ, ˜В ВБ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ·УО¸¯УИ Ф УПВКЫЪУН ‚ ВПВМЛ ТЛТЪВП‡ ‰УОКМ‡ Ф ЛИЪЛ ‚ ТУТЪУflМЛВ ЪВ ПУ‰ЛМ‡ПЛ˜ВТНУ„У ‡‚МУ‚ВТЛfl ‰‡КВ Ф Л УЪМУТЛЪВО¸МУ МЛБНУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В Л ‚ТВ ‡‚МУ У· ‡БУ‚‡Ъ¸ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ Si–Al. З ‰ВИТЪ‚ЛЪВО¸МУТЪЛ ‰Оfl ·˚ТЪ У„У У· ‡БУ‚‡МЛfl ‡‚МУ‚ВТМУИ ТЛЪЫ‡ˆЛЛ, ЪУ ВТЪ¸ У· ‡БУ‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚, У· ‡БВˆ М‡‰У М‡„ ВЪ¸. к‡ТТПУЪ ЛП МВНУЪУ ˚В Ф ЛПВ ˚ У· ‡БУ‚‡- МЛfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б, ЛТФУО¸БЫВП˚В ‚ ПЛ У‚УИ Ф ‡НЪЛНВ.

з‡Ф˚ОВМЛВ М‡ „У fl˜Ы˛ ФУ‰ОУКНЫ

щЪУ У‰ЛМ ЛБ М‡Л·УОВВ ˜‡ТЪУ ЛТФУО¸БЫВП˚ı ТФУТУ·У‚. ЗУЪ Н‡Н ФУОЫ˜‡ОЛ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ ТЫ ¸- П˚ Sb М‡ Si(111). 燄 В‚‡ОЛ ФУ‰ОУКНЫ ‰У ЪВПФВ ‡ЪЫ 550–650°л Л М‡Ф˚ОflОЛ Sb ТУ ТНУ УТЪ¸˛ 1–5 ПУМУТОУfl ‚ ПЛМЫЪЫ. и Л Ъ‡НЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı М‡ ФУ‚В ı-

˝ЪУИ МУ‚УИ Щ‡Б˚ Н ВПМЛИ–ТЫ ¸П‡. АЪУП˚ Sb ‚ ˝ЪУП ПУМУТОУВ – ‡ЪУП˚ “‚ Щ‡БВ”, ЪУ ВТЪ¸ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ТЛО¸МУ Т‚flБ‡М˚ Т ФУ‰ОУКНУИ. ЗТВ ТОВ‰Ы˛˘ЛВ ‡ЪУП˚ ·Ы‰ЫЪ ЫКВ “М‡ Щ‡БВ”, ЪУ ВТЪ¸ БМ‡˜ЛЪВО¸МУ ТО‡·ВВ Т‚fl- Б‡М˚ Т ФУ‰ОУКНУИ, Л Ф Л Ъ‡НЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı (‡ Лı ТФВˆЛ‡О¸МУ ‚˚· ‡ОЛ Ъ‡НЛПЛ) ОВ„НУ ‰ВТУ ·Л Ы˛ЪТfl Т ФУ‚В ıМУТЪЛ. АЪУП˚ “‚ Щ‡БВ” Ф Л ˝ЪУП УТЪ‡˛ЪТfl М‡ ФУ‰ОУКНВ, ЪУ ВТЪ¸ ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ Н ВПМЛИ– ТЫ ¸П‡ МВ ‡Б Ы¯‡ВЪТfl. н‡НУИ ПВЪУ‰ Ы‰У·ВМ, Ъ‡Н Н‡Н МВЪ МЫК‰˚ ЪУ˜МУ НУМЪ УОЛ У‚‡Ъ¸ ‚ ВПfl М‡Ф˚ОВМЛfl Л ЪВПФВ ‡ЪЫ Ы У· ‡Бˆ‡.

з‡Ф˚ОВМЛВ М‡ ıУОУ‰МЫ˛ ФУ‰ОУКНЫ Л УЪКЛ„

щЪУЪ ПВЪУ‰ Ф ЛПВМflВЪТfl ЪУ„‰‡, НУ„‰‡ ıУЪflЪ ТУ- Б‰‡Ъ¸ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ МВ ЪУО¸НУ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡- БЫ, МУ Л Н‡НУВ-ЪУ ЛБ·˚ЪУ˜МУВ НУОЛ˜ВТЪ‚У ˜ЫКВ У‰- М˚ı ‡ЪУПУ‚, М‡Ф ЛПВ ‚ ‚Л‰В ‡ЪУПУ‚ “М‡ Щ‡БВ” ЛОЛ УТЪ У‚НУ‚. З ТЪ‡Ъ¸В [1] П˚ Ф Л‚У‰ЛОЛ Ф ЛПВ ФУ‚В ıМУТЪМУИ ‰ЛЩЩЫБЛЛ ЛБ ФУОУТНЛ БУОУЪ‡ ФУ Н ВПМЛ˛. зЫКМУ ·˚ОУ ЛПВЪ¸ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ПМУ„У ОВ„НУФУ‰‚ЛКМ˚ı ‡ЪУПУ‚, НУЪУ ˚В ПУ„ОЛ ·˚ ‰ЛЩЩЫМ‰Л У‚‡Ъ¸ ФУ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БВ Н ВПМЛИ–БУ- ОУЪУ. иУ˝ЪУПЫ Л М‡Ф˚ОflОУТ¸ БУОУЪ‡ ·УО¸¯В, ˜ВП Ъ В·ЫВЪТfl ‰Оfl ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚. з‡ФУПМЛП, ˜ЪУ ЪВ ‡ЪУП˚ БУОУЪ‡, НУЪУ ˚В ‚У¯ОЛ ‚ ТУТЪ‡‚ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚, УТЪ‡‚‡ОЛТ¸ МВФУ‰‚ЛКМ˚ПЛ, ‡ ‚ТВ ЛБ·˚- ЪУ˜М˚В Н‡Н ‡Б Л ‰ЛЩЩЫМ‰Л У‚‡ОЛ ФУ ФУ‚В ıМУТЪЛ.

оУ ПЛ У‚‡МЛВ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б ‰ЛЩЩЫБЛУММУИ ‡Б„УМНУИ

щЪУ ‰У‚УО¸МУ ˝НБУЪЛ˜ВТНЛИ ТФУТУ· ФУОЫ˜ВМЛfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б. йМ Ф ЛПВМflВЪТfl, Н‡Н Ф ‡‚ЛОУ, НУ„‰‡ ıУЪflЪ ФУОЫ˜ЛЪ¸ М‡ У‰МУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ МВТНУО¸НУ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б Т ‡БОЛ˜МУИ НУМˆВМЪ-‡ˆЛВИ ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚ Л Ф У‚ВТЪЛ Лı Т ‡‚МЛЪВО¸М˚И ‡М‡ОЛБ ‚ В‰ЛМ˚ı ЫТОУ‚Лflı. й·˚˜МУ Ф Л Ъ‡НУП ТФУТУ·В М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ ФУ‰ОУКНЛ М‡МУТflЪ ФУОУТНЫ ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚ ЪУО˘ЛМУИ ‚ МВТНУО¸НУ ‡ЪУПМ˚ı ТОУВ‚ Л Ф УЛБ‚У‰flЪ УЪКЛ„. З ВБЫО¸Ъ‡ЪВ ‡ЪУП˚ ˜ЫКВ У‰МУ„У ‚В˘ВТЪ‚‡ ‰ЛЩЩЫМ‰Л Ы˛Ъ ФУ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ ‚ У·О‡ТЪ¸ ˜ЛТЪУИ ФУ‰ОУКНЛ, Л Ъ‡П, „‰В Лı НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ‰УТЪЛ„‡ВЪ МВНУЪУ ˚ı ‚ВОЛ˜ЛМ, МВУ·- ıУ‰ЛП˚ı ‰Оfl ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ЪУИ ЛОЛ ЛМУИ ФУ‚В ı- МУТЪМУИ Щ‡Б˚, Ъ‡НЛВ Щ‡Б˚ У· ‡БЫ˛ЪТfl: ·ОЛКВ Н ФУОУТНВ – Т ·УО¸¯ЛПЛ НУМˆВМЪ ‡ˆЛflПЛ ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚, ‰‡О¸¯В – Т ПВМ¸¯ЛПЛ.

йЪКЛ„ ‚˚ТУНУОВ„Л У‚‡ММ˚ı У· ‡БˆУ‚

иЫЪЛ ‰УТЪ‡‚НЛ ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚ М‡ ФУ‚В ı- МУТЪ¸ ‰Оfl ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ Т‡П˚В ‡БОЛ˜М˚В. ЙО‡‚МУВ Ф Л ˝ЪУП, ˜ЪУ·˚ МВ- У·ıУ‰ЛП‡fl НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ˝ЪЛı ‡ЪУПУ‚ УН‡Б‡О‡Т¸ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Л ЪВПФВ ‡ЪЫ М˚В ЫТОУ‚Лfl ·˚ОЛ ФУ‰ıУ- ‰fl˘ЛПЛ. к‡ТТН‡КВП, Н‡Н П˚ ‚ФВ ‚˚В ФУОЫ˜ЛОЛ ФУ-

‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ Si(111)– 3–B. н‡Н Ф УТЪУ ·У МВ М‡Ф˚ОЛЪ¸ – ˝ЪУ У˜ВМ¸ ЪЫ„УФО‡‚НЛИ П‡ЪВ Л‡О. нУ„‰‡ П˚ ‚БflОЛ У· ‡БВˆ Н ВПМЛfl, ОВ„Л У‚‡ММ˚И ·У УП (‚˚ТУНУОВ„Л У‚‡ММ˚И ·У УП Н ВПМЛИ, ТВИ˜‡Т ТЪ‡- МВЪ ФУМflЪМУ ФУ˜ВПЫ), Л ТЪ‡ОЛ В„У УЪКЛ„‡Ъ¸ Ф Л ‚˚- ТУНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı (1400°C). З˚¯В ЪВПФВ ‡ЪЫ Ы ФУ‰МЛП‡Ъ¸ ЫКВ ·˚ОУ МВО¸Бfl – Н ВПМЛИ ‡ТФО‡‚ЛОТfl ·˚. уЪУ КВ ФУОЫ˜ЛОУТ¸? иУТНУО¸НЫ ˝МВ „Лfl Т‚flБЛ ‡ЪУПУ‚ ·У –Н ВПМЛИ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ‚˚¯В ˝МВ „ЛЛ Т‚flБЛ ‡ЪУПУ‚ Н ВПМЛИ–Н ВПМЛИ, Ф Л Ъ‡НЛı ЪВПФВ-‡ЪЫ ‡ı ‚ ФВ ‚Ы˛ У˜В В‰¸ ТЪ‡ОЛ ЛТФ‡ flЪ¸Тfl Т ФУ- ‚В ıМУТЪЛ ‡ЪУП˚ Н ВПМЛfl ТОУИ Б‡ ТОУВП. и ЛТЫЪТЪ- ‚Ы˛˘ЛИ КВ ‚ ˝ЪЛı ТОУflı ·У УТЪ‡‚‡ОТfl, Л, Ъ‡НЛП У· ‡БУП, Ф УЛТıУ‰ЛОУ В„У М‡Н‡ФОЛ‚‡МЛВ М‡ ФУ‚В ı- МУТЪЛ. дУ„‰‡ НУМˆВМЪ ‡ˆЛfl ·У ‡ ‰УТЪЛ„О‡ МВНУЪУ УИ

Н ЛЪЛ˜ВТНУИ ‚ВОЛ˜ЛМ˚, М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ ТЩУ ПЛ У- ‚‡О‡Т¸ ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ Si–B.

ийлнкйЦзаЦ оДбйЗхп СаДЙкДее

З ˝ЪУП ‡Б‰ВОВ П˚ ‡ТТПУЪ ЛП, Н‡Н ТЪ УflЪТfl Щ‡- БУ‚˚В ‰Л‡„ ‡ПП˚ ‰Оfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б, Л Ф Л‚В- ‰ВП МВНУЪУ ˚В Ф ЛПВ ˚. й·˚˜МУ Ъ‡НЛВ ‰Л‡„ ‡ПП˚ ТЪ УflЪТfl ‚ НУУ ‰ЛМ‡Ъ‡ı ФУН ˚ЪЛВ – ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡. б‰ВТ¸ П˚ ЫФУЪ В·ЛОЛ МУ‚УВ ФУМflЪЛВ – “ФУН ˚ЪЛВ” (‰‡ОВВ ϑ). ЗВОЛ˜ЛМ‡ ϑ – ˝ЪУ УЪМУ¯ВМЛВ ˜ЛТО‡ ˜ЫКВ-У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ˜ЛТОЫ ‡ЪУПУ‚ ‚ ‚В ıМВП ПУМУТОУВ ФУ‰ОУКНЛ. з‡Ф ЛПВ , ‚ Н ВПМЛЛ, ‚ Т‡ПУП ФУ‚В ıМУТЪМУП ТОУВ (111), ТУ‰В КЛЪТfl 7,8 1014 ‡ÚÓÏÓ‚/ÒÏ2. ЦТОЛ „У‚У flЪ, ˜ЪУ ϑ ТУТЪ‡‚ОflВЪ 1, ЪУ ˝ЪУ БМ‡˜ЛЪ, ˜ЪУ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Н ВПМЛfl М‡МВТОЛ У‰ЛМ ПУМУТОУИ ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚, ‡ Лı ˜ЛТОУ – 7,8 1014 ̇ 1 ÒÏ2.

иВ ‚˚И ТФУТУ· ФУТЪ УВМЛfl Щ‡БУ‚˚ı ‰Л‡„ ‡ПП Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ ЪУП, ˜ЪУ ‡‰ТУ ·‡Ъ М‡МУТflЪ М‡ ФУ‚В ı- МУТЪ¸ ФУ‰ОУКНЛ Ф Л ЩЛНТЛ У‚‡ММУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В Л ФУТОВ Н‡К‰УИ ФУ ˆЛЛ М‡Ф˚ОВММУ„У ‚В˘ВТЪ‚‡ УФ В- ‰ВОfl˛Ъ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ ТЪ ЫНЪЫ Ы, М‡Ф ЛПВ ПВЪУ- ‰УП ‰ЛЩ ‡НˆЛЛ ПВ‰ОВММ˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚, У НУЪУ УП П˚ ФЛТ‡ОЛ ‚ [1]. и У‚В‰fl Ъ‡НЫ˛ Ф УˆВ‰Ы Ы Ф Л ‡Б- М˚ı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı, ФУОЫ˜‡˛Ъ Щ‡БУ‚Ы˛ ‰Л‡„ ‡ППЫ.

ЗЪУ УИ ТФУТУ· Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ М‡МВТВМЛЛ ‡‰ТУ - ·‡Ъ‡ Ф Л НУПМ‡ЪМУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В Л ФУТОВ‰Ы˛˘ВП УЪКЛ„В Ф Л ‚УБ ‡ТЪ‡˛˘Лı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı. щЪУЪ ТФУТУ· Ъ В·ЫВЪ УТУ·УИ ‡ННЫ ‡ЪМУТЪЛ, Ъ‡Н Н‡Н Ф Л УЪКЛ„В ˜‡ТЪ¸ ‡ЪУПУ‚ ПУКВЪ ТУ· ‡Ъ¸Тfl ‚ УТЪ У‚НЛ ЛОЛ ‚УУ·- ˘В ‰ВТУ ·Л У‚‡Ъ¸Тfl Т ФУ‚В ıМУТЪЛ. н‡НЛП У· ‡БУП, ТОВ‰ЫВЪ ФУПМЛЪ¸, ˜ЪУ НУОЛ˜ВТЪ‚У М‡Ф˚ОВММ˚ı М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Л УТЪ‡‚¯ЛıТfl ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ УЪКЛ„‡ ‡ЪУПУ‚ ПУКВЪ ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ‡БОЛ˜‡Ъ¸Тfl Л В‡О¸М‡fl ‰Л‡- „ ‡ПП‡ ·Ы‰ВЪ ЫКВ УЪ ‡К‡Ъ¸ ˜ЛТОУ ˜ЫКВ У‰М˚ı ‡ЪУПУ‚, УТЪ‡‚¯ЛıТfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ. дУМВ˜МУ, УЪКЛ„ ТОВ‰ЫВЪ Ф У‚У‰ЛЪ¸ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ‰УО„У, ˜ЪУ·˚ В‡ОЛБУ‚‡О‡Т¸ ‡‚МУ‚ВТМ‡fl ТЛЪЫ‡ˆЛfl Л ТУУЪ‚ВЪТЪ‚Ы˛˘‡fl ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ ЫТФВО‡ У· ‡БУ‚‡Ъ¸Тfl Ф Л УФ В- ‰ВОВММУИ ЪВПФВ ‡ЪЫ В.

з‡ ЛТ. 1 Ф Л‚В‰ВМ˚ ТıВП‡ЪЛ˜ВТНЛВ Щ‡БУ‚˚В ‰Л‡- „ ‡ПП˚ Ag/Si(111) Л Au/Si(111). йМЛ Ф УТЪ˚ Л МВ МЫК‰‡˛ЪТfl ‚ ФУflТМВМЛflı, ‡Б‚В ˜ЪУ ТОВ‰ЫВЪ ‰У·‡- ‚ЛЪ¸, ˜ЪУ Ф Л‚В‰ВММ˚В ФУН ˚ЪЛfl М‡·О˛‰‡ОЛТ¸ ФУТОВ УЪКЛ„‡.

лйДСлйкЕсаь СЗмп наийЗ ДнйейЗ а нкЦпдйеийзЦзнзхЦ ийЗЦкпзйлнзхЦ оДбх

з‡ЫН‡ У ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б‡ı Ф УıУ‰ЛЪ ЪВ КВ ˝Ъ‡Ф˚, ˜ЪУ Л М‡ЫН‡ У· У·˙ВПМ˚ı Щ‡Б‡ı. д‡Н ‡Б‚Л‚‡- О‡Т¸ М‡ЫН‡ У· У·˙ВПМ˚ı Щ‡Б‡ı? лМ‡˜‡О‡ ФУОЫ˜ВМЛВ Т‚В‰ВМЛИ У ˜ЛТЪ˚ı ‚В˘ВТЪ‚‡ı, ТУТЪУfl˘Лı ЛБ У‰МУ„У ˝ОВПВМЪ‡, ‡М‡ОЛБ Лı Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ Л ˝ОВНЪ УМ- М˚ı ТЪ ЫНЪЫ , Б‡ЪВП ЛБЫ˜ВМЛВ Т‚УИТЪ‚ Л ЛТФУО¸БУ‚‡- МЛВ ˝ЪЛı П‡ЪВ Л‡ОУ‚. й˜ВМ¸ ·˚ТЪ У ФУМflОЛ, ˜ЪУ ‰У- ·‡‚ОВМЛВ ‚ЪУ У„У НУПФУМВМЪ‡ ПУКВЪ Ф Л‚ВТЪЛ Н ‰УФУОМЛЪВО¸М˚П ‚УБПУКМУТЪflП, Л ТЪ‡ОЛ ФУОЫ˜‡Ъ¸

У·˙ВПМ˚В ТУВ‰ЛМВМЛfl Л ТФО‡‚˚, ЛТТОВ‰У‚‡Ъ¸ Лı ТЪ ЫНЪЫ ˚ Л Т‚УИТЪ‚‡, ТЪ УЛЪ¸ Щ‡БУ‚˚В ‰Л‡„ ‡ПП˚ Т ЪВП, ˜ЪУ·˚ Н‡К‰˚И ПУ„ ФУОЫ˜ЛЪ¸ ЪУЪ ТФО‡‚, НУЪУ-˚И ВПЫ МЫКВМ. лВИ˜‡Т ЫКВ Ъ Ы‰МУ УФ В‰ВОЛЪ¸, НЪУ КВ ФВ ‚˚И ‰У·‡‚ЛО Ъ ВЪЛИ НУПФУМВМЪ ‚ У·˙ВПМ˚И ТФО‡‚, МУ ˝ЪУ ·˚О‡ П‡ОВМ¸Н‡fl В‚УО˛ˆЛfl ‚ П‡ЪВ Л‡- ОУ‚В‰ВМЛЛ. з‡Ф ЛПВ , ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УП П‡ЪВ-Л‡ОУ‚В‰ВМЛЛ ЛБ‚ВТЪМУ У˜ВМ¸ ПМУ„У Ф ЛПВ У‚ ‰У- ·‡‚ОВМЛfl Ъ ВЪ¸В„У НУПФУМВМЪ‡ ‚ ‰‚ЫıНУПФУМВМЪМ˚И ФУОЫФ У‚У‰МЛН Т ˆВО¸˛ ЛБПВМВМЛfl Ф‡ ‡ПВЪ У‚ В- ¯ВЪНЛ, ¯Л ЛМ˚ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ Л Ъ.‰.

з‡ЫН‡ У ФУ‚В ıМУТЪЛ Ф УıУ‰ЛЪ ЪВ КВ ˝Ъ‡Ф˚ ‡Б- ‚ЛЪЛfl. з‡Ф ЛПВ , Ф Л ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ВПМЛfl ТМ‡˜‡О‡ Ф УЛБ‚ВОЛ ‡М‡ОЛБ ˜ЛТЪУИ ФУ‚В ı- МУТЪЛ, ЪУ ВТЪ¸ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б Т‡ПУ„У Н ВПМЛfl М‡ Н ВПМЛВ‚УП ПУМУН ЛТЪ‡ООВ. л ‡БЫ ФУТОВ ˝ЪУ„У ‚ М‡˜‡ОВ 60-ı „У‰У‚ ТЪ‡ОЛ М‡Ф˚ОflЪ¸ ‚ЪУ УИ НУПФУМВМЪ Л ЛТТОВ‰У‚‡Ъ¸ ‰‚ЫıНУПФУМВМЪМ˚В ФУ‚В ıМУТЪ- М˚В Щ‡Б˚. к‡Б‚ЛЪЛВ ПВЪУ‰У‚ ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl [3–5] ФУБ‚УОЛОУ ЛБЫ˜‡Ъ¸ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛВ Л ˝ОВНЪ УММ˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б, Л ТВИ˜‡Т ЫКВ ПУКМУ ТН‡Б‡Ъ¸, ˜ЪУ ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОЛ ‰У‚УО¸МУ Ф ВЫТФВОЛ ‚ ˝ЪУП, Н‡Н Л ‚ ФУТЪ УВМЛЛ ‰‚ЫıНУПФУМВМЪМ˚ı ‰‚ЫПВ М˚ı Щ‡БУ‚˚ı ‰Л‡„ ‡ПП Н ВПМЛИ–‡‰ТУ ·‡Ъ.

з‡Ф ЛПВ , ‚ М‡¯ВИ НМЛ„В [2] ПУКМУ М‡ИЪЛ ˝ЪЛ Т‚В- ‰ВМЛfl Ф ‡НЪЛ˜ВТНЛ У О˛·УП ‡‰ТУ ·‡ЪВ М‡ Н ВПМЛЛ.

уЪУ КВ Ф В‰ТЪУЛЪ Т‰ВО‡Ъ¸ ‚ У·О‡ТЪЛ ЛТТОВ‰У‚‡- МЛfl ФУ‚В ıМУТЪЛ ‰‡ОВВ, ВТОЛ Ф В‰ФУОУКЛЪ¸, ˜ЪУ М‡Ы- Н‡ У ФУ‚В ıМУТЪЛ ·Ы‰ВЪ ‡Б‚Л‚‡Ъ¸Тfl Ф ЛПВ МУ Ъ‡Н КВ, Н‡Н Л М‡ЫН‡ У· У·˙ВПМ˚ı П‡ЪВ Л‡О‡ı? ЗУ-ФВ - ‚˚ı, Ф У Т‚УИТЪ‚‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б ЛБ‚ВТЪМУ fl‚- МУ МВ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ, ıУЪfl ‚ НУМˆВ 80-ı „У‰У‚ Ъ‡НЛВ ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl Л М‡˜‡ОЛ Ф У‚У‰ЛЪ¸Тfl. щЪУ ·ВБЫТОУ‚МУ У„ ‡МЛ˜Л‚‡ВЪ ‚УБПУКМУТЪЛ Ф ЛПВМВМЛfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б, ıУЪfl Л ‚˚„Оfl‰flЪ УМЛ У˜ВМ¸ Ф Л‚ОВН‡ЪВО¸- М˚ПЛ ‰Оfl ФУ‚˚¯ВМЛfl ЛМЪВ„ ‡ˆЛЛ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ- ‚˚ı Ф Л·У У‚. иУ˝ЪУПЫ ТВИ˜‡Т Ъ‡НЛВ ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl ЫТЛОВММУ Ф У‰УОК‡˛ЪТfl. ЗУ-‚ЪУ ˚ı, ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОЛ ТЪ‡ОЛ ЛБЫ˜‡Ъ¸ ЩУ ПЛ У‚‡МЛВ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б ЫКВ ЛБ Ъ Вı НУПФУМВМЪУ‚: Н ВПМЛfl Л ‰‚Ыı ‡‰ТУ ·‡- ЪУ‚ (М‡˜‡ОУ 90-ı „У‰У‚). и УˆВТТ, НУ„‰‡ М‡ ФУ‰ОУКНЫ М‡МУТflЪ МВ У‰ЛМ, ‡ ‰‚‡ ‡‰ТУ ·‡Ъ‡, М‡Б˚‚‡ВЪТfl ТУ- ‡‰ТУ ·ˆЛВИ. к‡ТТПУЪ ЛП, ˜ЪУ ПУКВЪ ФУОЫ˜ЛЪ¸Тfl, ВТОЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ ПУМУН ЛТЪ‡ОО‡ М‡Ф˚ОflЪ¸ ‰‚‡ ‡‰ТУ ·‡Ъ‡. б‰ВТ¸ П˚ ·Ы‰ВП ‡ТТП‡Ъ Л‚‡Ъ¸ Ф УˆВТТ ТУ‡‰ТУ ·ˆЛЛ М‡ Н ВПМЛВ‚Ы˛ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЫ˛ ФУ‰ОУКНЫ. зУ ‚ТВ ТН‡Б‡ММУВ МЛКВ ПУКМУ, НУМВ˜МУ, УЪМВТЪЛ Л Н ‰ Ы„ЛП П‡ЪВ Л‡О‡П.

з‡ ЛТ. 2 Ф Л‚В‰ВМ˚ ‡БМУУ· ‡БМ˚В ТЛЪЫ‡ˆЛЛ, ‚УБМЛН‡˛˘ЛВ Ф Л ТУ‡‰ТУ ·ˆЛЛ. б‡ПВЪЛП, ˜ЪУ ‚‡‚МУ‚ВТМ˚ı ЫТОУ‚Лflı ·ВБ ‡БОЛ˜МУ, Н‡НУИ ˝ОВПВМЪ М‡Ф˚ОflВЪТfl ‚М‡˜‡ОВ, ‡ Н‡НУИ – ФУТОВ. дУМВ˜М˚ИВБЫО¸Ъ‡Ъ ·Ы‰ВЪ У‰ЛМ‡НУ‚˚П, Л УФ В‰ВОflВЪТfl УМ ТЪ ВПОВМЛВП ТЛТЪВП˚ Н ПЛМЛПЫПЫ ˝МВ „ЛЛ. к‡Т- ТПУЪ ЛП ‡БОЛ˜М˚В ТЛЪЫ‡ˆЛЛ, В‡ОЛБЫ˛˘ЛВТfl Ф Л ТУ‡‰ТУ ·ˆЛЛ.

оУ ПЛ У‚‡МЛВ ‰‚ЫıНУПФУМВМЪМ˚ı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б

иЫТЪ¸ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Н ВПМЛfl М‡МУТflЪТfl ‡‰ТУ - ·‡Ъ˚ ЪЛФ‡ А Л З. СУФЫТЪЛП, ˝МВ „Лfl Т‚flБЛ ‚ ФУ‚В ı- МУТЪМУИ Щ‡БВ Si–A ·УО¸¯В, ˜ВП ‚ Si–B. (дТЪ‡ЪЛ, МВТНУО¸НУ ТОУ‚ У· ˝МВ „ЛЛ Т‚flБЛ. 쉇ОЛЪВ Н ВПМЛВ‚Ы˛ ФУ‰ОУКНЫ УЪ ‡ЪУПУ‚ ТУ Ъ‡ А М‡ ·ВТНУМВ˜МУВ ‡ТТЪУflМЛВ. иУ‰Т˜ЛЪ‡ИЪВ Лı ˝МВ „ЛЛ УЪ‰ВО¸МУ Л ТОУКЛЪВ Лı. б‡ЪВП ФУТ‡‰ЛЪВ ‡ЪУП˚ А М‡ ФУ‰ОУКНЫ, У· ‡БУ‚‡‚ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ, Л УФ В‰ВОЛЪВ ˝МВ „Л˛ ТЛТЪВ- П˚. йМ‡ УН‡КВЪТfl ПВМ¸¯В, ЛМ‡˜В Щ‡Б‡ МВ У· ‡БУ‚‡- О‡Т¸ ·˚. щЪ‡ ‡БМУТЪ¸ ‚ ˝МВ „Лflı, ˝ЪУЪ ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛИ ‚˚Л„ ˚¯ Л ВТЪ¸ ˝МВ „Лfl Т‚flБЛ.) бМ‡˜ЛЪ, М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ВПМЛfl У· ‡БЫВЪТfl ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡- Б‡ Si–A. уЪУ КВ Т ‡ЪУП‡ПЛ З? щЪУ ЪВФВ ¸ ЫКВ ‡ЪУП˚ “М‡ Щ‡БВ”, ТО‡·У Т‚flБ‡ММ˚В, ФУ‚В‰ВМЛВ НУЪУ ˚ı П˚ ЫКВ У·ТЫК‰‡ОЛ ‡МВВ. ЦТОЛ ТЛТЪВП‡ ‚˚Л„ ‡ВЪ ·УО¸- ¯В Ф Л ЩУ ПЛ У‚‡МЛЛ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ Si–B, ‡ЪУП˚ ТУ Ъ‡ А УН‡КЫЪТfl ‚ УОЛ ‡ЪУПУ‚ “М‡ Щ‡БВ”.

и Л‚В‰ВП Ф ЛПВ . лЩУ ПЛ ЫВП ТМ‡˜‡О‡ М‡ ФУ- ‚В ıМУТЪЛ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ Si–Ag, ‡ Б‡ЪВП ФУ‰- ‚В „МВП ˝ЪЫ ФУ‚В ıМУТЪ¸ ˝НТФУБЛˆЛЛ ‚ ‚У‰У У‰В. щМВ „Лfl Т‚flБЛ Si–H ·УО¸¯В, ˜ВП Si–Ag. щЪУ БМ‡˜ЛЪ, ˜ЪУ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ У· ‡БЫВЪТfl ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ Н ВПМЛИ–‚У‰У У‰, ‡ ‡ЪУП˚ ТВ В· ‡, ‚˚ЪВТМВММ˚В

‡ЪЫ МУИ У˜ЛТЪНЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ВПМЛfl УЪ ‡БУЪМ˚ı Б‡„ flБМВМЛИ. а МВ ЪУО¸НУ ‰Оfl ‡БУЪМ˚ı, ВТЪВТЪ‚ВММУ.

оУ ПЛ У‚‡МЛВ Ъ ВıНУПФУМВМЪМ˚ı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б

к‡ТТПУЪ ЛП ТОЫ˜‡Л, НУ„‰‡ М‡Л·УОВВ ‚˚„У‰М˚П ‰Оfl ТЛТЪВП˚ УН‡Б˚‚‡ВЪТfl ЩУ ПЛ У‚‡МЛВ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б, ТУТЪУfl˘Лı ЛБ Ъ Вı НУПФУМВМЪУ‚. е˚ ЫКВ ЫФУПЛМ‡ОЛ, ˜ЪУ ‚ У·˙ВПВ Ъ‡НЛВ ТОЫ˜‡Л В‡ОЛБЫ˛ЪТfl ‰У‚УО¸МУ ˜‡ТЪУ. и Л‚В‰ВП МВТНУО¸НУ ЪЛФЛ˜М˚ı Ф ЛПВ У‚.

иВ ‚˚И НО‡ТТ Ъ‡НЛı Ъ ВıНУПФУМВМЪМ˚ı ФУ‚В ı- МУТЪМ˚ı Щ‡Б – МУ‚˚В Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛВ ТЪ ЫНЪЫ ˚. н‡Н‡fl ТЪ ЫНЪЫ ‡ Т В¯ВЪНУИ 3 Ч 1 В‡ОЛБЫВЪТfl Ф Л ТУ‡‰ТУ ·ˆЛЛ БУОУЪ‡ Л ЛМ‰Лfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Si(111) Л МВ ‚УБМЛН‡ВЪ Ф Л М‡Ф˚ОВМЛЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪ¸ Н ВПМЛfl ЪУО¸НУ БУОУЪ‡ ЛОЛ ЪУО¸НУ ЛМ‰Лfl. щЪУ Н ЛТ- Ъ‡ООЛ˜ВТН‡fl В¯ВЪН‡ МУ‚У„У Ъ ВıНУПФУМВМЪМУ„У ТУВ‰ЛМВМЛfl.

С Ы„УИ Ф ЛПВ – ‰‚ЫПВ М˚И Ъ‚В ‰˚И ‡ТЪ‚У Б‡ПВ˘ВМЛfl. з‡ФУПМЛП, ˜ЪУ НУ„‰‡ „У‚У ЛЪТfl У Ъ‚В - ‰УП ‡ТЪ‚У В Б‡ПВ˘ВМЛfl ‰Оfl П‡ТТЛ‚М˚ı П‡ЪВ Л‡- ОУ‚, ЪУ ФУ‰ ˝ЪЛП ФУМЛП‡ВЪТfl ТЛЪЫ‡ˆЛfl, НУ„‰‡ ˜‡ТЪ¸ ‡ЪУПУ‚ ‚ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ В¯ВЪНВ Н‡НУ„У-ОЛ·У П‡- ЪВ Л‡О‡ Б‡ПВ˘ВМ‡ ‡ЪУП‡ПЛ ЛМУ„У ТУ Ъ‡. АМ‡ОУ„Л˜- МУ ·Ы‰ВП ФУО‡„‡Ъ¸, ˜ЪУ ВТОЛ ‚ Н‡НУИ-ОЛ·У ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БВ ˜‡ТЪ¸ ‡ЪУПУ‚ Б‡ПВМВМ‡ ‡ЪУП‡ПЛ ‰ Ы„У„У ТУ Ъ‡, ‡ В¯ВЪН‡ ‚ ВБЫО¸Ъ‡ЪВ Ъ‡НУИ Б‡ПВМ˚ МВ ЛБПВМЛО‡Т¸, ЪУ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ У· ‡БУ‚‡ОТfl ‰‚ЫПВ М˚И Ъ‚В ‰˚И ‡ТЪ‚У . йН‡Б˚‚‡ВЪТfl, Ъ‡Н‡fl ТЛЪЫ‡ˆЛfl ‚УБПУКМ‡ Л В‡ОЛБЫВЪТfl, М‡Ф ЛПВ , Ф Л М‡Ф˚ОВМЛЛ П‡ОУ„У НУОЛ˜ВТЪ‚‡ БУОУЪ‡ М‡ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ Н ВПМЛИ–ТВ В· У. и Л ˝ЪУП ‡ЪУП˚ БУОУЪ‡ Б‡ПВ˘‡- ˛Ъ ‡ЪУП˚ ТВ В· ‡.

щгЦднкйоабауЦлдаЦ лЗйвлнЗД ийЗЦкпзйлнзхп оДб зД дкЦезаа

щОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛВ Т‚УИТЪ‚‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б ‰У‚УО¸МУ ˝НБУЪЛ˜ВТНЛВ. кВ˜¸ ‰‡КВ МВ Л‰ВЪ У ЪУП, ˜ЪУ ‚ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б Ы˜‡ТЪ- ‚Ы˛Ъ П‡О˚В ЪУНЛ: ТУ‚ ВПВММ˚В Ф Л·У ˚ ФУБ‚УОfl˛Ъ ЩЛНТЛ У‚‡Ъ¸ Л „У ‡Б‰У ПВМ¸¯ЛВ. ЦТЪ¸ ·УОВВ ТВ ¸ВБ- М˚В Ф У·ОВП˚. ЗУ-ФВ ‚˚ı, „‰В Ф УЛБ‚У‰ЛЪ¸ ЛБПВ-ВМЛfl, М‡Ф ЛПВ , ˝ОВНЪ УФ У‚У‰МУТЪЛ? ЦТОЛ ЛБПВ-flЪ¸ М‡ ‚УБ‰ЫıВ, ‰УТЪ‡‚ У· ‡БВˆ Т ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БУИ, ЪУ ‚ ˝ЪУП ТОЫ˜‡В ЛБПВ flЪ¸ Ф Л‰ВЪТfl МВ Т‚УИТЪ‚‡ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚, ‡ Т‚УИТЪ‚‡ УНЛТО‡, НУЪУ-˚И МВПВ‰ОВММУ У· ‡БЫВЪТfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ. нУО- ˘ЛМ‡ Ъ‡НУ„У “ВТЪВТЪ‚ВММУ„У” УНЛТО‡ ‰УТЪЛ„‡ВЪ 20 Å , ЪУ ВТЪ¸ ЫКВ МЛ У Н‡НУИ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БВ В˜Л МВЪ. ЦТОЛ ЛБПВ flЪ¸ Ф flПУ ‚ Т‚В ı‚˚ТУНУП ‚‡НЫЫПВ, МВУ·- ıУ‰ЛПУ ТУБ‰‡Ъ¸ ТФВˆЛ‡О¸МУВ У·У Ы‰У‚‡МЛВ, Ф Л˜ВП ‰У‚УО¸МУ МВФ УТЪУВ. л ‡БЫ ТН‡КВП, ˜ЪУ ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОЛ Л‰ЫЪ У·УЛПЛ ФЫЪflПЛ. ЗУ-‚ЪУ ˚ı, ˜ЪУ Щ‡НЪЛ˜ВТНЛ Ы‰‡ВЪТfl ЛБПВ ЛЪ¸? щЪУЪ ‚УФ УТ, НУМВ˜МУ, Т ‡БЫ ‚УБМЛН‡ВЪ Ы ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ЪУ ‡. СВИТЪ‚ЛЪВО¸МУ, ФЫТЪ¸ ‰‡КВ Ы‰‡ОУТ¸ Ф Л‰ВО‡Ъ¸ НУМЪ‡НЪ˚ Н Ъ‡НУИ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БВ Л Ф УФЫТЪЛЪ¸ ЪУН ˜В ВБ У· ‡БВˆ. й‰М‡НУ

МВ ТОВ‰ЫВЪ Б‡·˚‚‡Ъ¸, ˜ЪУ У˜ВМ¸ ЪУМВМ¸Н‡fl ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ ‡ТФУОУКВМ‡ М‡ П‡ТТЛ‚МУП ФУОЫФ У‚У‰- МЛНВ. н‡НЛП У· ‡БУП, ЛПВ˛ЪТfl Н‡Н ·˚ ‰‚‡ Ф У‚У‰- МЛН‡: ЪУОТЪ˚И Л ЪУМНЛИ. зВЪ Ы‰МУ ‰У„‡‰‡Ъ¸Тfl, ФУ Н‡НУПЫ ‚ УТМУ‚МУП ФУ·В„ЫЪ ˝ОВНЪ УМ˚ Л ‰˚ НЛ Л Т‚УИТЪ‚‡ ˜В„У П˚ ·Ы‰ВП ЛБПВ flЪ¸. дУМВ˜МУ, ЛБПВ-ЛП ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ ФУ‰ОУКНЛ. й‰М‡НУ ·У УЪ¸Тfl Ф УЪЛ‚ ˝ЪЛı МВФ ЛflЪМУТЪВИ ПУКМУ. з‡ФУПМЛП, ˜ЪУ Н ВПМЛИ Ф В‰ТЪ‡‚ОflВЪ ТУ·УИ ФУОЫФ У‚У‰МЛН Т ‰У‚УО¸МУ ¯Л УНУИ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМУИ (¯Л ЛМ‡ Б‡Ф В˘ВММУИ БУМ˚ Ы ˜ЛТЪУ„У, МВОВ„Л У‚‡ММУ„У Н ВПМЛfl ТУТЪ‡‚ОflВЪ ·УОВВ 1 ˝З). а ВТОЛ УıО‡‰ЛЪ¸ Н ВПМЛВ‚Ы˛ ФУ‰ОУКНЫ ‰У ЪВПФВ ‡ЪЫ КЛ‰НУ„У „В- ОЛfl, ЪУ ‚ Ъ‡НЛı ЫТОУ‚Лflı ЛБ ‚‡ОВМЪМУИ БУМ˚ ‚ БУМЫ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Н ВПМЛfl ˝ОВНЪ УМ˚ Б‡· ‡Т˚‚‡Ъ¸Тfl ЫКВ МВ ·Ы‰ЫЪ. А ˝ЪУ Л УБМ‡˜‡ВЪ, ˜ЪУ МВ ·Ы‰ВЪ МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰У‚ ‚ БУМВ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Л ЪУН ˜В ВБ Н ВПМЛВ‚Ы˛ ФУ‰ОУКНЫ МВ ФУИ‰ВЪ. Ц˘В ‡Б УЪПВЪЛП, ˜ЪУ М‡‰У ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ “ТУ·ТЪ‚ВММ˚И”, ЪУ ВТЪ¸ МВОВ„Л-У‚‡ММ˚И, Н ВПМЛИ, Ъ‡Н Н‡Н ‚ ОВ„Л У‚‡ММУП Н ВПМЛЛ МУТЛЪВОЛ Б‡ fl‰‡, ЛПВ˛˘ЛВТfl ЛБ-Б‡ Ф ЛТЫЪТЪ- ‚Лfl Ф ЛПВТМ˚ı ‡ЪУПУ‚, ПУ„ЫЪ ·˚Ъ¸ Б‡· У¯ВМ˚ ‚ БУМЫ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ Л Ф Л МЛБНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı. бМ‡˜ЛЪ, Ф Л МЛБНЛı ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı ЪУН ˜В ВБ Н ВПМЛВ- ‚Ы˛ ФУ‰ОУКНЫ МВ ФУЪВ˜ВЪ, ‡ ФУЪВ˜ВЪ ˜В ВБ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ, ˜ЪУ Л Ъ В·ЫВЪТfl ˝НТФВ ЛПВМЪ‡ЪУ Ы.

аЪ‡Н, flТМУ, Н‡Н ЛБ·‡‚ЛЪ¸Тfl УЪ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ФУ ФУ‰ОУКНВ. а ıУЪfl ‚ Т‚В ı‚˚ТУНУП ‚‡НЫЫПВ УıО‡‰ЛЪ¸ У· ‡БВˆ ‰У ЪВПФВ ‡ЪЫ КЛ‰НУ„У „ВОЛfl, М‡МВТЪЛ ТФВˆЛ‡О¸М˚В НУМЪ‡НЪ˚ Л ЛБПВ ЛЪ¸ Ф У‚У‰ЛПУТЪ¸ Л ФУ- ‰‚ЛКМУТЪ¸ МУТЛЪВОВИ ‚ВТ¸П‡ МВФ УТЪУ, ˝ЪУ ЫКВ ‰В- О‡˛Ъ, Ф Л˜ВП ‚ М‡¯ВИ ТЪ ‡МВ, ‚ аМТЪЛЪЫЪВ ЩЛБЛНЛ Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡, ‚ уВ МУ„УОУ‚НВ еУТНУ‚ТНУИ У·О‡ТЪЛ.

й‰М‡НУ ВТЪ¸ Л ·УОВВ Ф УТЪУИ ‚˚ıУ‰ – Ф У‚У‰ЛЪ¸ ЛБПВ ВМЛfl М‡ ‚УБ‰ЫıВ, МУ, ˜ЪУ·˚ ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡- Б‡ МВ ЛТФУ ЪЛО‡Т¸, Ф ЛН ˚Ъ¸ ВВ ‚ Т‚В ı‚˚ТУНУП ‚‡- НЫЫПВ ФОВМНУИ, М‡Ф ЛПВ Н ВПМЛfl. дУМВ˜МУ, М‡ ‚УБ‰ЫıВ Н ВПМЛВ‚‡fl ФОВМН‡ Т‚В ıЫ УНЛТОЛЪТfl, МУ ТУФ УЪЛ‚ОВМЛВ УНЛТО‡ (‰Л˝ОВНЪ ЛН‡) ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ·УО¸¯В ТУФ УЪЛ‚ОВМЛfl Н ВПМЛfl, ЪУ ВТЪ¸ ЪУН ФУ ФОВМНВ УНЛТО‡ ЪВП ·УОВВ МВ ФУЪВ˜ВЪ, ВТОЛ ·Ы‰ЫЪ “‚˚- ПУ УКВМ˚” МУТЛЪВОЛ ‚ Н ВПМЛВ‚УИ П‡Ъ ЛˆВ. гЛ¯¸ ·˚ ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ МВ ЛТФУ ЪЛО‡Т¸ ЛБ-Б‡ УНЛТОВМЛfl, ‰Оfl ˜В„У М‡‰У Ф УТЪУ ФОВМНЫ Н ВПМЛfl Т‚В ıЫ Т‰ВО‡Ъ¸ ФУЪУО˘В. ЕУОВВ ТВ ¸ВБМ‡fl Ф У·ОВП‡ – МВ ЛТФУ ЪЛЪ¸ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ М‡Ф˚ОВМЛВП Т‚В ıЫ Н ВПМЛВ‚УИ ФОВМНЛ. З fl‰В ТОЫ˜‡В‚ Л ˝Ъ‡ Ф У·ОВП‡В¯‡ВЪТfl.

н‡НЫ˛ ТЪ ЫНЪЫ Ы М‡П Ы‰‡ОУТ¸ ‚˚ ‡ТЪЛЪ¸ – ТЪ ЫНЪЫ Ы ТУ “‚ТЪ УВММ˚ПЛ“ ‚ П‡ТТЛ‚М˚И П‡ЪВ Л‡О ФУ- ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ ЛМ‰Лfl, ТЫ ¸П˚, ·У ‡ Л ı У- П‡. З ПЛ У‚УИ ОЛЪВ ‡ЪЫ В Ъ‡НЛВ ФУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚ М‡Б˚‚‡˛ЪТfl Б‡ıУ УМВММ˚ПЛ. Е˚ОУ У˜ВМ¸ ЛМЪВ ВТМУ ЫБМ‡Ъ¸, Н‡Н‡fl КВ Ф У‚У‰ЛПУТЪ¸ Ы ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б. д‡Н Л ‰Оfl П‡ТТЛ‚М˚ı У· ‡БˆУ‚, УН‡Б‡- ОУТ¸, ˜ЪУ Т‡П‡fl ‡БМ‡fl. з‡Ф ЛПВ , ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ Si(111)7 Ч 7 ˜ЛТЪУ„У Н ВПМЛfl (ЪЛФЛ˜МВИ¯В„У ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡) У·О‡‰‡ВЪ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНУИ Ф У‚У-

‰ЛПУТЪ¸˛. щЪУ Т‚flБ‡МУ Т М‡ОЛ˜ЛВП ‚ ˝ЪУИ Щ‡БВ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡ВП˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ ЪУ ˜‡˘Лı Т‚flБВИ (˝ЪУ Ъ‡ ˝ОВНЪ УММ‡fl Т‚flБ¸, НУЪУ ‡fl “ЪУ ˜ЛЪ” ‚‚В ı Ы Т‡П˚ı ‚В ıМЛı ‡ЪУПУ‚ Н ВПМЛfl). аМ˚ПЛ ТОУ‚‡ПЛ, Ф УЛБУ- ¯О‡ НУООВНЪЛ‚ЛБ‡ˆЛfl ˝ЪЛı ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ЫКВ МВ‚УБПУКМУ ‡БОЛ˜ЛЪ¸, Н Н‡НУПЫ ‡ЪУПЫ Ф ЛМ‡‰ОВКЛЪ Н‡- НУИ-ОЛ·У ˝ОВНЪ УМ. щЪУ Л УФ В‰ВОflВЪ ПВЪ‡ООЛ˜ВТНЛИ ı‡ ‡НЪВ Ф У‚У‰ЛПУТЪЛ ˝ЪУИ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚. А ‚ fl‰В ‰‚ЫıНУПФУМВМЪМ˚ı Щ‡Б Ф У‚У‰ЛПУТЪ¸ УН‡- Б˚‚‡ВЪТfl ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ. нУ, ˜ЪУ МВНУЪУ ˚В ФУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚ fl‚Оfl˛ЪТfl ФУОЫФ У‚У‰МЛН‡ПЛ, ‚ТВОflВЪ УФЪЛПЛБП ‚ ЛТТОВ‰У‚‡ЪВОВИ Л ЪВıМУОУ„У‚. ЗУ-ФВ ‚˚ı, ˝ЪУ БМ‡˜ЛЪ, ˜ЪУ ‚ Ф ЛМˆЛФВ ПУКМУ ТУ- Б‰‡‚‡Ъ¸ Ъ‡НЛВ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚В Ф Л·У ˚ М‡ ФОУТНУИ ФУ‚В ıМУТЪЛ. А ‚У-‚ЪУ ˚ı, ФУТНУО¸НЫ Ъ‡НЛВ Ф Л·У ˚ ·Ы‰ЫЪ П‡ОУИ ЪУО˘ЛМ˚, ПУКМУ ‚˚ ‡ТЪЛЪ¸ Ъ‡НЛı ТОУВ‚ Т Ъ‡НЛПЛ Ф Л·У ‡ПЛ У˜ВМ¸ ПМУ„У.

ейгЦдмгькзДь а нЗЦкСйоДбзДь щианДдлаь

дУМВ˜МУ, ıУ У¯У ·˚ ‚˚ ‡ТЪЛЪ¸ Ъ‡НЫ˛ ТОУЛТЪЫ˛ ТЪ ЫНЪЫ Ы ТУ ‚ТЪ УВММ˚ПЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡- ПЛ, ЛБ НУЪУ ˚ı ‚ ТОУflı ТЩУ ПЛ У‚‡М˚ ‰‚ЫПВ М˚В ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚В Ф Л·У ˚. ЗТФУПМЛП, У‰М‡НУ, ˜ЪУ ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ ЩУ ПЛ ЫВЪТfl М‡ ПУМУН ЛТ- Ъ‡ООЛ˜ВТНУИ ФУ‰ОУКНВ. а ВТОЛ ФВ ‚˚И ТОУИ Т ФУ- ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БУИ М‡ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФУ‰- ОУКНВ ПУКВЪ ·˚Ъ¸ ‚˚ ‡˘ВМ ОВ„НУ, ЪУ ФУТОВ ˝ЪУ„У Т‚В ıЫ МВУ·ıУ‰ЛПУ ·Ы‰ВЪ ‚˚ ‡ТЪЛЪ¸ ТОВ‰Ы˛˘ЛИ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЛИ ТОУИ, М‡Ф ЛПВ ЪУ„У КВ Н ВПМЛfl, Л ЩУ ПЛ У‚‡Ъ¸ ТОВ‰Ы˛˘ЛИ ТОУИ Т ФУ‚В ıМУТЪ- М˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ ЫКВ М‡ МВП. А ˜ЪУ Ф Л ˝ЪУП ТЪ‡МВЪ Т ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БУИ ‚ ФВ ‚УП ТОУВ? С‡ Л Н‡Н ‚˚ ‡- ТЪЛЪ¸ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЫ˛ ФОВМНЫ ‚ ‚‡НЫЫПВ? йЪ- ‚ВЪЛП ТМ‡˜‡О‡ М‡ ФУТОВ‰МЛИ ‚УФ УТ.

й ЛВМЪЛ У‚‡ММУВ М‡ ‡˘Л‚‡МЛВ М‡Б˚‚‡˛Ъ ˝ФЛ- Ъ‡НТЛВИ. ëÛ˘ÂÒÚ‚ÛÂÚ „ÓÏÓ˝ÔËÚ‡ÍÒËfl, НУ„‰‡ М‡ ФУ‰- ОУКНВ Ф УЛБ‚У‰flЪ У ЛВМЪЛ У‚‡ММУВ М‡ ‡˘Л‚‡МЛВ П‡ЪВ Л‡О‡ ФУ‰ОУКНЛ, Л „ÂÚ ӽÔËÚ‡ÍÒËfl, НУ„‰‡ М‡ ФУ‰ОУКНВ У ЛВМЪЛ У‚‡ММУ ‚˚ ‡˘Л‚‡˛Ъ МВНУЪУ ˚И ЛМУИ П‡ЪВ Л‡О. З ‚‡НЫЫПВ ЛБ‚ВТЪМ˚ ‰‚‡ ‚Л‰‡ ˝ФЛ- Ъ‡НТЛЛ: ПУОВНЫОfl МУ-ОЫ˜В‚‡fl (егщ) Л Ъ‚В ‰УЩ‡Б- М‡fl ˝ФЛЪ‡НТЛfl (нощ). к‡ТТПУЪ ЛП Н‡К‰Ы˛ ЛБ МЛı М‡ Ф ЛПВ В ˝ФЛЪ‡НТЛЛ М‡ Н ВПМЛЛ.

З ПВЪУ‰В егщ УТЫ˘ВТЪ‚ОflВЪТfl М‡Ф˚ОВМЛВ Н ВПМЛВ‚˚ı ‡ЪУПУ‚ М‡ ‡ЪУП‡ МУ-˜ЛТЪЫ˛ Н ВПМЛВ‚Ы˛ ФУ‰ОУКНЫ, Ф Л˜ВП М‡Ф˚ОВМЛВ Ф УЛБ‚У‰flЪ ПВ‰ОВММУ, ‡ ФУ‰ОУКНЫ ‰ВО‡˛Ъ УЪМУТЛЪВО¸МУ „У fl˜ВИ. оЛБЛ˜ВТН‡fl Л‰Вfl Ъ‡НУ„У М‡Ф˚ОВМЛfl ТУТЪУЛЪ ‚ ЪУП, ˜ЪУ- ·˚ Ф Л М‡Ф˚ОВМЛЛ У‰МУ„У ПУМУТОУfl Н ВПМЛВ‚˚ı ‡ЪУПУ‚ ‡ЪУП˚ ˝ЪУ„У ТОУfl ЫТФВОЛ ЫФУ fl‰У˜ЛЪ¸Тfl Л У· ‡БУ‚‡Ъ¸ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНЫ˛ ФОВМНЫ ‰У ЪУ„У, Н‡Н Ф УЛБУИ‰ВЪ М‡Ф˚ОВМЛВ ТОВ‰Ы˛˘Лı ТОУВ‚ Н ВПМЛfl Л Ф УˆВТТ ФУ‚В ıМУТЪМУИ ‰ЛЩЩЫБЛЛ ‚ ФВ ‚УП М‡Ф˚ОВММУП ТОУВ, Т ФУПУ˘¸˛ НУЪУ У„У Л Ф УЛТıУ- ‰ЛЪ Ф УˆВТТ ЫФУ fl‰У˜ВМЛfl, ФВ ВТЪ‡МВЪ ·˚Ъ¸ ‚УБПУКМ˚П. иУТОВ ˜В„У Ф УˆВТТ ЫФУ fl‰У˜ВМЛfl, ЪУ ВТЪ¸ ЩУ ПЛ У‚‡МЛfl ˝МВ „ВЪЛ˜ВТНЛ ·УОВВ ‚˚„У‰МУИ

ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ, ТПУКВЪ Ф УЛТıУ- ‰ЛЪ¸ ОЛ¯¸ Б‡ Т˜ВЪ Ф УˆВТТ‡ У·˙ВПМУИ ‰ЛЩЩЫБЛЛ, НУЪУ ˚И, НУМВ˜МУ, Л‰ВЪ Т „У ‡Б‰У ПВМ¸¯ВИ ТНУ У- ТЪ¸˛, Л ‚ В‡О¸МУП П‡Т¯Ъ‡·В ‚ ВПВМЛ ЩУ ПЛ У‚‡- МЛВ ПУМУН ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ ФОВМНЛ ПУКВЪ Л МВ Ф У- ЛБУИЪЛ.

еВЪУ‰ нощ Б‡НО˛˜‡ВЪТfl ‚ М‡МВТВМЛЛ ТОУfl Н ВПМЛfl Т ‚˚ТУНУИ ТНУ УТЪ¸˛ Л Ф Л УЪМУТЛЪВО¸МУ МЛБНЛı (М‡Ф ЛПВ , НУПМ‡ЪМ˚ı) ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı ФУ‰ОУКНЛ. и Л ˝ЪУП М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Н ВПМЛfl У· ‡БЫВЪТfl ТОУИ ‡ПУ ЩМУ„У Н ВПМЛfl. и Л ЪВПФВ ‡ЪЫ ‡ı УЪКЛ„‡ 500–600°л Ф УЛТıУ‰ЛЪ ˝ФЛЪ‡НТЛ‡О¸М‡fl Н ЛТЪ‡ООЛ- Б‡ˆЛfl, НУЪУ ‡fl М‡˜ЛМ‡ВЪТfl УЪ ФУ‰ОУКНЛ, ФУТОВ ˜В„У „ ‡МЛˆ‡ Н ЛТЪ‡ООЛБ‡ˆЛУММУ„У Щ УМЪ‡ ТОУИ Б‡ ТОУВП ‰‚ЛКВЪТfl Н ФУ‚В ıМУТЪЛ. и УЛТıУ‰ЛЪ Н ЛТЪ‡О- ОЛБ‡ˆЛfl ‚ Ъ‚В ‰УИ Щ‡БВ, УЪНЫ‰‡ ФУfl‚ЛОУТ¸ Л М‡Б‚‡- МЛВ Ф УˆВТТ‡.

лЗЦкпкЦтЦнда л ийЗЦкпзйлнзхеа оДбДеа

нВФВ ¸, ‡ТТПУЪ В‚ У·‡ ‚Л‰‡ ˝ФЛЪ‡НТЛЛ, П˚ ФУМЛП‡ВП, Н‡Н ‚˚ ‡ТЪЛЪ¸ ПЛН УТЪ ЫНЪЫ Ы ТУ ‚ТЪ УВМ- М˚ПЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ. З ФУТОВ‰МВВ ‚ ВПfl ФУ‰У·М˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ ‚ВТ¸П‡ Ф Л‚ОВН‡˛Ъ ЛТТОВ‰У‚‡- ЪВОВИ, Ъ‡Н Н‡Н Ф В‰ТЪ‡‚Оfl˛Ъ ТУ·УИ МУ‚˚И П‡ЪВ Л‡О ‰Оfl ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНЛ. лВИ˜‡Т ЫКВ ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ıУ-У¯У УФЛТ‡М˚ ‚ ОЛЪВ ‡ЪЫ В Т‚В ı В¯ВЪНЛ (ЛПВММУ Ъ‡Н М‡Б˚‚‡˛ЪТfl ТОУЛТЪ˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ Т ˝ФЛЪ‡НТЛ‡О¸- М˚ПЛ ТОУflПЛ). З Ъ‡НЛı Т‚В ı В¯ВЪН‡ı ˜‡ТЪУ ЛТФУО¸БЫ˛Ъ ‰ВО¸Ъ‡-ОВ„Л У‚‡ММ˚В ТОУЛ, ЪУ ВТЪ¸ ‰УТЪ‡- ЪУ˜МУ ЪУМНЛВ ТОУЛ ЪУО˘ЛМУИ ‚ ‰ВТflЪНЛ ‡М„ТЪ ВП, ‚ НУЪУ ˚ı ТОУЛ Н ВПМЛfl ЛПВ˛Ъ Ы У‚ВМ¸ ОВ„Л У‚‡МЛfl Ф ЛПВТВИ Л (ЛОЛ) Лı ЪЛФ, УЪОЛ˜М˚И УЪ Ъ‡НУ‚˚ı ‚ УТМУ‚МУИ П‡Ъ ЛˆВ.

зУ‚˚И ЪЛФ Т‚В ı В¯ВЪУН ФУОЫ˜ВМ М‡ПЛ ТУ‚ТВП МВ‰‡‚МУ – Т‚В ı В¯ВЪНЛ ТУ ‚ТЪ УВММ˚ПЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ. аБ ‚ТВ„У Ф В‰˚‰Ы˘В„У ФУМflЪМУ, ˜ЪУ ˝ЪУЪ ТОЫ˜‡И УЪОЛ˜ВМ УЪ ТОЫ˜‡fl ‰ВО¸Ъ‡-ОВ„Л У- ‚‡ММУ„У ТОУfl. З ‰ВО¸Ъ‡-ОВ„Л У‚‡ММУП ТОУВ В˜¸ Л‰ВЪ У Н ВПМЛВ‚УП ТОУВ, ФЫТЪ¸ Л У˜ВМ¸ ЪУМНУП. З ТОЫ˜‡В Т‚В ı В¯ВЪУН Т ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ ‚ Н‡˜ВТЪ‚В ‰ВО¸Ъ‡-ТОУfl ЛТФУО¸БЫВЪТfl МВ Н ВПМЛИ, ‡ МУ‚УВ ‰‚ЫПВ МУВ ‚В˘ВТЪ‚У ТУ Т‚УВИ Н ЛТЪ‡ООЛ˜ВТНУИ Л ˝ОВНЪ УММУИ ТЪ ЫНЪЫ УИ.

СОfl ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛfl Ъ‡НЛı Т‚В ı В¯ВЪУН ТОВ‰ЫВЪ ЛТФУО¸БУ‚‡Ъ¸ ПВЪУ‰ нощ. аПВММУ Ф Л ЛТФУО¸БУ‚‡- МЛЛ ˝ЪУ„У ПВЪУ‰‡ ВТЪ¸ ¯‡МТ ТУı ‡МВМЛfl ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ Ф Л ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛЛ ТОВ‰Ы˛˘В„У ˝ФЛЪ‡НТЛ- ‡О¸МУ„У ТОУfl Н ВПМЛfl, ЪУ„‰‡ Н‡Н Ф Л ЛТФУО¸БУ‚‡МЛЛ ПВЪУ‰‡ егщ Ъ‡НЛı ¯‡МТУ‚ Ф УТЪУ МВЪ ЛБ-Б‡ ТВ„ В„‡- ˆЛЛ ‡ЪУПУ‚ ЛБ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ Н ФУ‚В ıМУТЪЛ.

С‚‡ „О‡‚М˚ı ‚УФ УТ‡ УТЪ‡˛ЪТfl Ф Л ЛТФУО¸БУ‚‡- МЛЛ ПВЪУ‰‡ нощ ‰Оfl ‚˚ ‡˘Л‚‡МЛfl Т‚В ı В¯ВЪУН Т ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ. иВ ‚˚И ‚УФ УТ У Н ЛТ- Ъ‡ООЛ˜ВТНУП ТУ‚В ¯ВМТЪ‚В ТОУВ‚ Н ВПМЛfl, ‚˚ ‡- ˘ВММ˚ı М‡ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б‡ı. щНТФВ ЛПВМЪ˚ ФУН‡Б‡ОЛ, ˜ЪУ Н‡˜ВТЪ‚У ˝ФЛЪ‡НТЛЛ МВ Б‡‚ЛТЛЪ УЪ ЪУ- „У, М‡ ˜ЛТЪУП Н ВПМЛЛ Ф УЛБ‚У‰ЛОЛ Ъ‚В ‰УЩ‡БМЫ˛

˝ФЛЪ‡НТЛ˛ ЛОЛ М‡ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡БВ. ЗЪУ УИ ‚У- Ф УТ УН‡Б‡ОТfl ·УОВВ ТВ ¸ВБМ˚П – У ТУı ‡МВМЛЛ ФУ- ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б ФУ‰ ‚˚ ‡˘ВММ˚П ТОУВП Н ВПМЛfl. СВОУ ‚ ЪУП, ˜ЪУ, Н‡Н ЪУО¸НУ П˚ М‡Ф˚ОЛП ТОУИ ‡ПУ ЩМУ„У Н ВПМЛfl М‡ ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ, УМ‡ ЫКВ ФВ ВТЪ‡МВЪ ·˚Ъ¸ М‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ, ‡ ТОВ‰У‚‡ЪВО¸- МУ, ФВ ВТЪ‡МВЪ М‡ıУ‰ЛЪ¸Тfl ‚ ТУТЪУflМЛЛ ЪВ ПУ‰ЛМ‡- ПЛ˜ВТНУ„У ‡‚МУ‚ВТЛfl. уЪУ·˚ Ъ‡НУВ ‡‚МУ‚ВТЛВ М‡- ТЪЫФЛОУ, ‡ЪУП˚ ЛБ ФУ‚В ıМУТЪМУИ Щ‡Б˚ ‰УОКМ˚ ФУНЛМЫЪ¸ Т‚УЛ ФУБЛˆЛЛ Л М‡˜‡Ъ¸ ‰ЛЩЩЫМ‰Л У‚‡Ъ¸ Н ФУ‚В ıМУТЪЛ. зУ ‰ВОУ ‚ ЪУП, ˜ЪУ ‰Оfl ˝ЪУ„У ФУ‚В ı- МУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ М‡‰У ‡Б Ы¯ЛЪ¸. А ВТОЛ УМ‡ УН‡КВЪТfl ‰УТЪ‡ЪУ˜МУ ЫТЪУИ˜Л‚УИ, Т‚В ı В¯ВЪН‡ ПУКВЪ ФУОЫ- ˜ЛЪ¸Тfl. зВ ‚‡КМУ, ˜ЪУ Ф Л ˝ЪУП ФУ‚В ıМУТЪМ‡fl Щ‡Б‡ МВ ·Ы‰ВЪ ‚ ‡‚МУ‚ВТМ˚ı ЫТОУ‚Лflı – ПМУ„ЛВ Т‚УИТЪ‚‡ Ы МВВ ТУı ‡МflЪТfl.

иУ˝ЪУПЫ ·˚ОЛ Ф В‰Ф ЛМflЪ˚ ФУЛТНЛ ТЪ‡·ЛО¸М˚ı ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б. иУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚ ‰УОКМ˚ ·˚Ъ¸ ТЪ‡·ЛО¸М˚, ‚У-ФВ ‚˚ı, Н М‡Ф˚ОВМЛ˛ ‡ПУ ЩМУ- „У Н ВПМЛfl Л, ‚У-‚ЪУ ˚ı, Н УЪКЛ„Ы ‰Оfl ˝ФЛЪ‡НТЛ‡О¸- МУИ Н ЛТЪ‡ООЛБ‡ˆЛЛ Н ВПМЛВ‚˚ı ТОУВ‚. йН‡Б‡ОУТ¸, ˜ЪУ М‡Л·УОВВ ТЪ‡·ЛО¸М‡ ЛБ ФУН‡ ЛБ‚ВТЪМ˚ı ФУ‚В ı- МУТЪМ˚ı Щ‡Б Щ‡Б‡ Н ВПМЛИ–·У . зУ, Л ЛТФУО¸БЫfl ФУ‚В ıМУТЪМЫ˛ Щ‡БЫ Н ВПМЛИ–ТЫ ¸П‡, УН‡Б‡ОУТ¸ ‚УБПУКМ˚П ‚˚ ‡ТЪЛЪ¸ Т‚В ı В¯ВЪНЫ Т ФflЪ¸˛ ТОУflПЛ Т ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ Н ВПМЛИ–ТЫ ¸П‡,‡Б‰ВОВММ˚ПЛ ˝ФЛЪ‡НТЛ‡О¸М˚ПЛ Н ВПМЛВ‚˚ПЛ ТОУflПЛ ЪУО˘ЛМУИ 200 Å ( ЛТ. 4). дУМВ˜МУ, Л ˝ОВНЪ У- ЩЛБЛ˜ВТНЛВ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ Ъ‡НЛı ТЪ ЫНЪЫ ·˚ОЛ ЛБЫ˜ВМ˚, МУ ˝ЪУ ЫКВ Ф В‰ПВЪ ‰ Ы„У„У ‡Б„У‚У ‡.

иУ‚В ıМУТЪМ˚В

Ù‡Á˚ Si–Sb

д ВПМЛИ

êËÒ. 4. л‚В ı В¯ВЪН‡ Н ВПМЛfl ТУ ‚ТЪ УВММ˚ПЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ Н ВПМЛИ–ТЫ ¸П‡

бДдгыуЦзаЦ

З ˝ЪУИ ТЪ‡Ъ¸В П˚ ‡ТТПУЪ ВОЛ, Н‡Н ФУОЫ˜‡˛ЪТfl ФУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚ Л Н‡Н ТЪ УflЪТfl ‰Л‡„ ‡ПП˚ ТУТЪУflМЛИ Т ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ. й·ТЫ‰ЛОЛ, Н‡Н ПУКМУ ЛБПВ flЪ¸ ˝ОВНЪ УЩЛБЛ˜ВТНЛВ ı‡ ‡НЪВ ЛТЪЛНЛ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б Л Н‡Н ПУ‰ЛЩЛˆЛ У‚‡Ъ¸ ФУ‚В ı- МУТЪМ˚В Щ‡Б˚ ‰У·‡‚ОВМЛВП Ъ ВЪ¸В„У НУПФУМВМЪ‡. з‡НУМВˆ, ФУМflОЛ, Н‡Н ‚˚ ‡ТЪЛЪ¸ ПЛН У˝ОВНЪ УММ˚В ТЪ ЫНЪЫ ˚ Т ФУ‚В ıМУТЪМ˚ПЛ Щ‡Б‡ПЛ. иУ ТЫЪЛ ‰ВО‡, ˝ЪУ ТЪ‡Ъ¸fl У ‰‚ЫПВ МУП ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УП П‡ЪВ-Л‡ОУ‚В‰ВМЛЛ, ЪУ ВТЪ¸ ЪУИ У·О‡ТЪЛ БМ‡МЛИ, НУЪУ ‡fl ТВИ˜‡Т ЪУО¸НУ ТУБ‰‡ВЪТfl Л ТНУ У М‡˜МВЪ ЛТФУО¸БУ- ‚‡Ъ¸Тfl. б‰ВТ¸ П˚ ‡ТТП‡Ъ Л‚‡ОЛ ЪУО¸НУ ‚УФ УТ˚,

Н‡Н Т‰ВО‡Ъ¸ МУ‚˚И Т‚В ıЪУМНЛИ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ- ‚˚И П‡ЪВ Л‡О. йТЪ‡˛ЪТfl Ф У·ОВП˚: Н‡Н ЛБ ˝ЪУ„У ‰‚ЫПВ МУ„У П‡ЪВ Л‡О‡ Т‰ВО‡Ъ¸ ‰‚ЫПВ М˚В ФУОЫФ У- ‚У‰МЛНУ‚˚В Ф Л·У ˚, ТıВПМ˚В ТОУЛ Л Ъ.‰. з‡Ф Л- ПВ , БМ‡fl, ˜ЪУ МВНУЪУ ˚В ЛБ ФУ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б У·- О‡‰‡˛Ъ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ Ф У‚У‰ЛПУТЪ¸˛, Ф Л˜ВП ЛПВ˛Ъ ‡БОЛ˜М˚В ˜ЛТО‡ МУТЛЪВОВИ Б‡ fl‰У‚ Л ¯Л Л- М˚ Б‡Ф В˘ВММ˚ı БУМ, ОВ„НУ Ф В‰ТЪ‡‚ЛЪ¸, ˜ЪУ ЛБ Ъ‡- НЛı ‰‚Ыı МУ‚˚ı ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ ПУКМУ Т‰ВО‡Ъ¸ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚И Ф Л·У МУ‚У„У ЪЛФ‡ – ‰‚ЫПВ М˚И ‰ЛУ‰, У „‡МЛБУ‚‡‚ НУМЪ‡НЪ ФУ- ‚В ıМУТЪМ˚ı Щ‡Б М‡ ФОУТНУТЪЛ. н‡НУИ НУМЪ‡НЪ ·Ы‰ВЪ ОЛМВИМ˚П, ‡ МВ ФОУТНЛП, Н‡Н ˝ЪУ У·˚˜МУ Ф ‡НЪЛНЫВЪТfl ‚ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНВ. н‡НКВ ПУКМУ ‚ВТЪЛ В˜¸ Л У· У „‡МЛБ‡ˆЛЛ ‰ Ы„Лı, ·УОВВ ТОУКМ˚ı ФОУТНЛı ПЛН УТЪ ЫНЪЫ Т ЛТФУО¸БУ‚‡МЛВП Н‚‡МЪУ‚˚ı Ф У‚У- ОУН, Н‚‡МЪУ‚˚ı flП Л ‰ . лОУКМУТЪЛ Т ПЛН УОЛЪУ- „ ‡ЩЛВИ Ф Л ˝ЪУП ПУКМУ У·УИЪЛ ЛТФУО¸БЫfl Ъ‡Н М‡- Б˚‚‡ВП˚В Т‡ПУУ „‡МЛБЫ˛˘ЛВТfl ТЪ ЫНЪЫ ˚, ЪУ ВТЪ¸ Ъ‡НЛВ, НУЪУ ˚В У· ‡БЫ˛ЪТfl ·ВБ ‰УФУОМЛЪВО¸МУ„У ‚ПВ¯‡ЪВО¸ТЪ‚‡ Л ЛПВ˛Ъ МЫКМ˚В ‡БПВ ˚. аМУ„‰‡ ‰Оfl ТУБ‰‡МЛfl ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚˚ı Ф Л·У У‚ ‡ЪУП- М˚ı ‡БПВ У‚ ЛТФУО¸БЫВЪТfl ЪЫММВО¸М‡fl ПЛН УТНУФЛfl [6]. й˜В‚Л‰МУ, ˜ЪУ ‡Б‚ЛЪЛВ УФЛТ‡ММУ„У М‡- Ф ‡‚ОВМЛfl МВ ЪУО¸НУ Ф Л‚В‰ВЪ Н ФУ‚˚¯ВМЛ˛ ЛМЪВ„ ‡О¸МУИ ФОУЪМУТЪЛ ЩЫМНˆЛУМ‡О¸М˚ı ˝ОВПВМЪУ‚ ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ‚УИ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНВ, МУ Л ТЫ˘ВТЪ‚ВММУ ‡Т¯Л ЛЪ ‚УБПУКМУТЪЛ ЪВıМУОУ„У‚, Ъ‡Н Н‡Н ‰‡ТЪ ‚УБПУКМУТЪ¸ ЛТФУО¸БУ‚‡МЛfl У·ЛОЛfl МУ‚˚ı П‡ЪВ Л‡ОУ‚ (‰‚ЫПВ М˚ı), У·О‡‰‡˛˘Лı ‚ВТ¸- П‡ ФВ ТФВНЪЛ‚М˚ПЛ Т‚УИТЪ‚‡ПЛ.

ганЦкДнмкД

1.ãËٯˈ Ç.É. иУ‚В ıМУТЪ¸ Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡ Л ФУ‚В ıМУТЪМ˚В Щ‡Б˚ // лУ УТУ‚ТНЛИ й· ‡БУ‚‡ЪВО¸М˚И ЬЫ - М‡О. 1995. ‹ 1. л. 99–107.

2.Lifshits V.G, Saranin A.A, Zotov A.V. Surface Phases on Silicon: Preparation, Structures and Properties. L.: John Wiley and Sons, 1994. 460 p.

3.òÛÎ¸Ï‡Ì А.ê., î ˉ ËıÓ‚ ë.А. ЗЪУ Л˜МУ-˝ПЛТТЛУМ- М˚В ПВЪУ‰˚ ЛТТОВ‰У‚‡МЛfl Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡. е.: з‡ЫН‡, 1977. 551 Т.

4.í ÂÈÒË Ñ.ä., Ň ÍÒÚ Ẩ Ñ.å. мТФВıЛ ‚ ЛТТОВ‰У‚‡- МЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ ПВЪУ‰‡ПЛ ‰ЛЩ ‡НˆЛЛ ПВ‰ОВММ˚ı ˝ОВНЪ УМУ‚ Л ˝ОВНЪ УММУИ УКВ-ТФВНЪ УТНУФЛЛ. З НМ.: зУ‚УВ ‚ ЛТТОВ‰У‚‡МЛЛ ФУ‚В ıМУТЪЛ Ъ‚В ‰У„У ЪВО‡. е.: еЛ , 1977. З˚Ф. 2.

5.Practical Surface Analysis by Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy / Ed. D. Briggs, M.P. Seah. L.: John Wiley and Sons, 1983.

6.Binning G., Rohrer H. // Surface Sci. 1983. Vol. 126. P. 236.

* * *

ЗЛНЪУ Й Л„У ¸В‚Л˜ гЛЩ¯Лˆ, ‰УНЪУ ЩЛБЛНУ- П‡ЪВП‡ЪЛ˜ВТНЛı М‡ЫН, Ф УЩВТТУ , Б‡‚. Н‡ЩВ‰ УИ ЩЛБЛНЛ Л ЪВıМУОУ„ЛЛ П‡ЪВ Л‡ОУ‚ ФУОЫФ У‚У‰МЛНУ- ‚УИ ПЛН У˝ОВНЪ УМЛНЛ С‡О¸МВ‚УТЪУ˜МУ„У „УТЫ‰‡ - ТЪ‚ВММУ„У ЫМЛ‚В ТЛЪВЪ‡, Б‡‚. УЪ‰ВОУП аМТЪЛЪЫЪ‡ ‡‚ЪУП‡ЪЛНЛ Л Ф УˆВТТУ‚ ЫФ ‡‚ОВМЛfl С‡О¸МВ‚УТЪУ˜МУ„У УЪ‰ВОВМЛfl кАз. й·О‡ТЪ¸ М‡Ы˜М˚ı ЛМЪВ В- ТУ‚: ЩЛБЛН‡ ФУ‚В ıМУТЪЛ Ъ‚В ‰˚ı ЪВО. А‚ЪУ ·УОВВ 150 М‡Ы˜М˚ı ТЪ‡ЪВИ Л ‰‚Ыı ПУМУ„ ‡ЩЛИ.