3.2 Расчет двухслойного отражающего покрытия

Рисунок 2 - Структура двухслойного отражающего покрытия.

Идеальное двухслойное отражающее покрытие характеризуется следующими соотношениями:

,

,

где - показатель преломления внешнего отражающего слоя;

- показатель преломления внутреннего отражающего слоя;

- показатель преломления отражающего слоя, наиболее высокий в заданном диапазоне;

- показатель преломления отражающего слоя, наиболее низкий в заданном диапазоне;

- показатель преломления подложки;

, - толщины отражающих слоев;

, - оптические толщины отражающих слоев;

- рабочая длина волны.

(из предыдущего п.3.1)

Из таблицы пленкообразующих материалов (Приложение 2) выберем материал:

- прозрачный в заданном рабочем диапазоне ;

- имеющий показатель преломления, наиболее низкий в заданном диапазоне.

Наименование материала______________________Состав слоя___________

Метод нанесения________________Температура _________________

Рассчитаем по формуле Френеля интегральный коэффициент отражения :

Построим график спектральной зависимости коэффициента отражения R₁₄ от угла сдвига фаз , варьируя оптической толщиной пленки в заданном интервале длин волн.

Для построения графика зависимости заполним таблицу 3.

Угол сдвига фаз определяется по формуле:

при .

При ; ; угол сдвига фаз ; ; , а .

При ; угол сдвига фаз ; , а .

Энергетический коэффициент отражения системы воздух – пленка – подложка рассчитывается по формуле:

,

где - амплитудный коэффициент отражения, который последовательно рассчитывается из следующих формул:

;

;

При :

;

;

При :

;

;

Энергетический коэффициент пропускания можно рассчитать по формуле: .

Таблица 3.

	0
	0
	1	-1	1	-1	1

На основании данных таблицы 3 построим график зависимости .

Построим график спектральной зависимости коэффициента отражения R₁₄ от длины волны в заданном интервале длин волн.

Для построения графика зависимости заполним таблицу 4.

Значения длин волн в первой строке будут аналогичны значениям, приведенным в первой строке таблицы 2.

Таблица 4.

, нм

Для каждого значения определим угол сдвига фаз при :

Вычислим значения для каждой длины волны .

Рассчитаем энергетические коэффициенты отражения системы воздух – пленка – подложка для каждой длины волны .

На основании данных таблицы 2 построим график зависимости .