Литература

1. Введение в фотолитографию под ред.В.П.Лаврищева, М.: «Энергия», 1977г.

2. О.К. Мокеев, А.С. Романов. «Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем», М: «Высшая школа», 1985 г.

3. Ф.П. Пресс. «Фотолитографические методы в технологии полупровод-никовых приборов и интегральных микросхем», М: «Советское радио», 1978 г.

4. У. Моро. «Микролитография», М: «Мир», 1990 г.

5. А.И. Курносов, В.В. Юдин. «Технология производства полупровод-никовых приборов и интегральных микросхем», М: «Высшая школа», 1979 г.