Найважливіші переваги електророзрядних магнітних насосів в порівнняні з роботою іонно-геттерних насосів типу “Орбітрон”? Пояснити детально.
В
нутри
камеры расположены две титановые
пластины, служащие катодами, и анод
ячеистой конструкции. Между, анодом и
катодом прикладывается напряжение в
несколько киловольт, а вся система
помещается в постоянное магнитное поле
с напряженностью порядка 1 кЭ Включение
насоса (подача анодного напряжения)
производится при достижении предварительного
разрежения. В этих условиях между анодом
и холодными катодами зажигается разряд
и последние подвергаются интенсивной
бомбардировке положительными ионами,
что приводит к распылению титана й
осаждению его на сильно развитой
поверхности анода и стенках колбы
насоса. Акт удара ионов о поверхность
катодов сопровождается также освобождением
вторичных электроиов, которые, совершая
колебательные движения в разрядном
промежутке ионизируют как молекулы
(атомы) остаточного газа, так и атомы
распыленного титана. Благодаря большому
времени жизни электронов в разряде (за
счет колебательного движения) вероятность
ударной ионизации достаточно высока и
при очень низких давлениях. Непрерывно
напыляемые титановые слои интенсивно
связывают попадающие на них молекулы
газа и постепенно замуровывают
«отработанные» слои титана, насытившегося
газом. Связывание газа в электроразрядном
насосе происходит как свеженапыленным
титаном, так и поверхностью титановых
катодов. На катодах поглощаются в
основном ударяющиеся о его поверхность
положительные ионы. Механизм связывания
ионизированных частиц объясняют
проникновением их вглубь титановых
пластин при
бомбардировке катодов. Это особенно
важно при откачке инертных газов, которые
из-за малой химической активности
практически не хемосорбируются на
титане. В насосах типа НОРД (насос
охлаждаемый, разрядный диодный)
применяется водяное охлаждение анодного
блока, поэтому у них анод заземлен, а
высокое отрицательное напряжение
подается на катоды, изолированные от
корпуса. Достоинствами электроразрядных
магнитных насосов по сравнению с
ионно-сорбционными являются постоянная
быстрота действия в широком диапазоне
давлений и повышенное давление запуска,
что достигается за счет охлаждения
заземленного анодного блока.
Чи існує селективність відкачки у електророзрядних магн. Насосів? Якщо є, то пояснити, виходячи з фізичного принципу роботи.
Швидкість відкачки різних газів електророзрядними магнітними насосами – різна. Найкраще відкачується Водень, трохи гірше Азот і Кисень, швидкість відкачки інертних газів не перевищує швидкість відкачки повітря. Це пов’язано перш за все з хімічною активністю різних газів і самого Титану, який повинен «замуровувати» іонізовані гази. Мірою активності гетера (поглинача іонів) є його адсорбційна теплота і для різних відкачуваних газів теплота ця буде різною. Чим більша теплота сорбції гетера відносно газу, який він захоплює, тим гірше відбувається хемосорбція.
Кріонасоси
25-29.Фізико-технічні принципи роботи кріонасосів
Робота кріонасосів базуються на явищі конденсації газів та пари на охолоджені поверхні (кріопанель). Насос складається з 4 елементів:кріопанель, теплозахисний екран, охолоджувальний пристрій та корпус.Обовязковою умовою функціонування насосу є постійне охолодження кріопанелі, оскільки коли газ конденсується, то він виділяє тепло.
Кріопанель: відкачує та охолоджується.виготовляється у вигляді дисків, циліндрів.Система охолодження потрібна для попереднього охолодження кріопанелі, компенсації теплоти навантаженя та підтримки робочої температури кріопанелі під час відкачки.
Корпус потрібен для монтажу всіх конструктивних елементів насоса.