- •(Конспект лекцій по к. "Метрологія"за матеріалами підручника д.І.Левінзона " основы метрологии полупроводников")
- •Частина 1. Загальні і законодавчі основи метрології напівпровідників
- •1.Вступ в метрологію
- •Метрологія як наука
- •Гуманітарні і соціально економічні аспекти метрології
- •2.Основи законодавчої метрології
- •2.1.Предмет законодавчої метрології
- •2.2 Міжнародна співпраця в області законодавчої метрології
- •2.3.Структура і функції державної і відомчих метрологічних служб в Україні
- •Основні функції дмс:
- •2.4. Основні законодавчі і державні акти по стандартизації, метрології і сертифікації
- •2.5 Організація сертифікації товарів і виробів в Україні
- •3. Загальні принципи забезпечення єдності вимірювань
- •3.1. Помилки і невизначеність вимірювань
- •3.2. Показники якості і технологічності вимірювань
- •3.3. Засоби вимірювання і їх класифікація
- •3.4. Клас точності засобів вимірювань
- •3.5. Еталони і зразкові засоби вимірювань
- •3.6. Перевірка засобів вимірювання
- •3.7. Принципи розробки і оформлення методик виконання вимірювань (аналізів)
- •3.8. Утворення одиниць фізичних величин
- •3.9. Обчислення погрішностей і довірчих меж погрішності результату вимірювань
- •3.10.Поняття про кореляцію, рангова кореляція
- •3.11 Представлення результатів вимірювань
- •Основні положення метрології напівпровідників
- •4.1. Загальна характеристика метрології напівпровідників
- •4.2.Електрична активність дефектів кристалічної структури в напівпровідниках
- •4.2.1Основні характеристичні параметри напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.2.Основні фізичні і технічні поняття, терміни і визначення метрології і матеріалознавства напівпровідників
- •4.3.Системи критеріїв оцінки якості напівпровідникових матеріалів і структур
- •4.6 Адаптаційний підхід до управління якістю напівпровідників
- •4.7 Геттерування дефектів в напівпровідниках
- •4.8 Об'єкти, методологія і принципи організації технологічного контролю напівпровідників
- •4.9.Експериментально-статистичний підхід до оцінки якості об'ємних кристалів і структур
- •4.10.Основні міжнародні стандарти в області напівпровідників
- •Література
3.3. Засоби вимірювання і їх класифікація
Процес вимірювань реалізується за допомогою засобів вимірювань різного призначення і ступеня складності.
В метрології засіб вимірювань (далі ЗВ) - цей технічний засіб, який використовується в процесі вимірювань і має нормовані метрологічні властивості. В Законі України "Про метрологію і метрологічну діяльність" застосовується термін "засоби вимірювальної техніки", але істота визначення залишається такою ж.
По функціональному призначенню ЗВ розділяють на засоби , вимірювальні прилади, вимірювальні установки і вимірювальні системи.
До ЗВ не слід відносити так звані вимірювальне обладнання, яке лише створює необхідні умови вимірювань, але в той же час може виявитися джерелами відчутних погрішностей. До них відносяться різні регулюючі пристрої, реостати, барокамери, термостати, підсилювачі, перетворювачі і т.д.
Найпростішими ЗВ є засоби, які призначаються для відтворення фізичної величини заданого розміру. Прикладом таких ЗВ можуть служити кінцеві засоби довжин, гирі, колби, вимірювальні резистори і т.д. До засобів також відносяться стандартні зразки і зразкові речовини.
Найпоширенішим ЗВ є вимірювальний прилад.
Вимірювальний прилад - це ЗВ, призначене для вироблення сигналу вимірювальної інформації у формі, доступній для безпосереднього сприйняття спостерігачем.
По характеру виводу вимірювальної інформації до спостерігача (оператору) прилади діляться на показуючі і реєструючі. У свою чергу показуючі прилади можуть бути шкальними або з цифровим відліком. Реєструючі прилади видають звіт за допомогою самописних пристроїв або друкарських механізмів.
За способом отримання значення величини, що виміряється, вимірювальні прилади підрозділяються на прилади прямої дії і прилади порівняння.
Прилади, що забезпечують перетворення інформаційного сигналу тільки в одному напрямі (тобто без зворотного зв'язку) називають приладами прямої дії. Ці прилади або показують миттєве значення величини, що виміряється, або інтегрують її по заданому математичному алгоритму (суматори, лічильники і т.д.). До числа приладів прямої дії може бути віднесений більшість термометрів, амперметрів, вольтметрів та інше.
Прилади порівняння призначені для порівняння величин, що виміряються, з величинами, значення яких достатньо точно визначені або явно відомі. До таких приладів відносяться терези, потенціометри, мости, компаратори і т.д.
Вимірювальною установкою називають сукупність функціонально з'єднаних ЗВ і допоміжних пристроїв, розташованих компактно в одному місці і призначених для вироблення сигналів вимірювальної інформації у формі, зручній для безпосереднього сприйняття спостерігачем.
Вимірювальна система є сукупністю функціонально з'єднаних ЗВ всіх видів (включаючи вимірювальні установки) і допоміжних пристроїв, призначених для вироблення сигналів вимірювальної інформації у формі, зручній для автоматизованої обробки, передачі і використовування в системах управління. ЗВ можуть бути розділені просторово і об'єднуються спеціальними каналами звязку. У вимірювальних системах, крім самих ЗВ, істотну роль грають канали зв'язку (електропровідні, оптичні, безпроводні і т.д.), переходники, адаптери, декодери та інше.
Застосування комп'ютерної і мікропроцесорної техніки істотно розширює метрологічні можливості ЗВ. Наявність у вимірювальному тракті вбудованої ЕОМ фактично будь-який , навіть найпростіший прилад підвищує до функціонального рівня вимірювальної установки або системи. Фахівці всього світу не без підстав говорять про початок епохи конвергенції (злиття) інформатики, електроніки і метрології.
Сучасний період характеризується також все зростаючим проникненням в метрологію датчиків і сенсорів.
Датчик – це первинний перетворювач, елемент вимірювального (сигнального, регулюючого, керівника) пристрою (системи), що перетворює контрольовану величину в сигнал, зручний для вимірювання, передачі, перетворення, зберігання і реєстрації, а також для дії ним на керовані процеси.
До складу датчика входить сприймаючий (чутливий) орган, який звичайно називають сенсором, а також один або декілька проміжних перетворювачів інформаційного сигналу.
Часто ці два поняття, датчик і сенсор, неправомірно ототожнюються. Слід пам'ятати, що сенсор – це джерело інформаційного сигналу, складова частина датчика, хоча часто датчик складається з одного цього органу (наприклад, термопара, тензодатчик, термометр опору).
Останніми роками особливо зріс інтерес до датчиків, вживаних в біології і медицині. Вони є технічними вимірювальними пристроями для реєстрації біологічних процесів, функціонально (контактно або дистанційно) пов'язані з об'єктом (людина, тварина, рослина, біоструктура і т.д.), які перетворять досліджувану біофізичну або біохімічну величину в який-небудь контрольований сигнал.
Проте, зараз все частіше під биодатчиками розуміють штучно відтворені чутливі елементи або перетворювачі, які засновані на тих же принципах, що і біологічні сенсори, створені самою природою.
