ИДЗ 6

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет

кафедра ФЭТ

Дисциплина

«Технология материалов и элементов электронной техники»

Расчет по заданию №6

Выполнил студент группы 5207

Иванов А.Д.

Преподаватель:

профессор Шаповалов В.И.

Санкт - Петербург

2018 г.

Цель работы: определить скорость роста пленки теллура методом МЛЭ на краю подложки.

Молекулярно-лучевая эпитаксия

Дано:

Рисунок 1 – Распространение плотности потока на подложку

Решение

1. Определим давление насыщенного пара и площадь отверстия эффузионной ячейки:

2. Вычислим поток в плоскости выходного отверстия ячейки Кнудсена:

3. Рассмотрим рост пленки с левой стороны:

4. Рассмотрим рост пленки с правой стороны:

Ответ: с левой стороны стороны , с правой стороны