1.3 Пленкообразующие материалы, применяемые в различных областях спектра.

Для получения совершенных просветляющих покрытий методом испарения в вакууме большое значение имеет качество исходных пленкообразующих материалов. Под качеством исходных материалов понимаются их высокая чистота (отсутствие или минимальное содержание примесей) и плотность (минимальное содержание газов).

Для ультрафиолетовой области спектра, начиная от 0.15 - 0.2 мкм выбор материалов для просветляющих покрытий весьма ограничен (табл. 1.1).

Таблица1.1

Материал	LiF	Na3AlF 6	GaF2	MgF2	BaF2	Ho2O3
Коротковолно-вая граница прозрачности, мкм	0.11	0.2	0.15	0.21	0.22	0.25
ne	1.3-1.31	1.35	1.23 - 1.46	1.38	1.38 - 1.4	2.0

Продолжение таблицы 1.1.

Материал	Ег203	Lu2O3	Окись скандия	Nd203	Окись иттрия	Hf2O2
Коротковолновая граница прозрачности, мкм	0.25	0.23	0.22	0.24	0.26	0.24
ne	1.95	2.02	1.78- 1.96	1.77- 1.88	1.7- 1.86	0.87- 2.0

В области >0,23 мкм для многослойных и просветляющих покрытий в качестве материала с высоким показателем преломления (n_в) используется двуокись гафния, а материала с низким показателем преломления (n_н), двуокись кремния. Так же применяется окись скандия, окись иттрия (n_в), двуокись магния (n_н).

Для области >0,35 мкм используются двуокись циркония (n_в), двуокись титана (n_в) и другие оксиды и фториды.

Для видимой области спектра (0,4 -:- 0,73 мкм) используются как перечисленные материалы, так и соединения металлов с серой.

Широкий выбор материалов по показателю преломления для видимой области спектра составляет от 1,3 до 2,4.

В инфракрасной (ИК) области спектра используются те же материалы, что и в ультрафиолетовой и в видимой областях, а так же соединения металлов с селеном и теллуром.

Показатель преломления материалов для ИК области лежит в диапазоне 1,3 -:- 5,3. По оптическим свойствам пригодно к использованию в качестве пленкообразующих материалов не более 50 веществ.

Ограничение в применении материалов определяет их совместимость - отсутствие химических реакций, радиоактивность, сублимация - испарение материалов пленок в условиях их эксплуатации, химическая устойчивость к воде, химическая устойчивость к активным средам, механическая прочность.

Рекомендуемые способы нанесения материалов.

Таблица 1.2 Резистивное испарение.

Обозначение	Материал пленки	Показатель преломления
23 И	Na3AlF6	1.35
24 И	MgF	1.38
41 И	SiO2	1.45 - 1.46
56 И	BaF2	1.38-1.4
18И	SrF2	1.43
97 И	YF3	1.54-1.56
35 И	A12O3	1.61-1.65
96 И	CeF3	1.63
37 И	PbF2	1.75
29 И	ZnS	2.3
39 И	ZnSe	2.58
27 И	Sb2S3	3
122 И	AsS3	-

Таблица 1.3

Электронно-лучевое испарение (ИЭ) и реактивное электронно-лучевое испарение (ИЭо).

Обозначение	Материал пленки	Показатель преломления
24 ИЭ	MgF	1.38
41 ИЭ	SiO2	1.45 - 1.46
97 ИЭ	YF3	1.54-1.56
35 ИЭ	А1203	1.61-1.65
96 ИЭ	CeF3	1.63
121 ИЭ	Y203	1.7-1.86
117 ИЭ	Sc2O3	1.78-1.96
90 ИЭ	НfO 2	1.87-2.0
57 ИЭ	ZrO2	1.95-2.05
94 ИЭ	CeO2	18-2.4
29 ИЭ	ZnS	2.3
88 ИЭ	TiO2	2.4
88 ИЭ0	TiO2	2.4
14 ИЭ	Ge	4

Таблица 1.4

Ионно-лучевое распыление, ионно-плазменное реактивное распыление, ионно-плазменное высокочастотное распыление, ионно- плазменное высокочастотное реактивное распыление (ИП, ИП₀, ИПВ, ИПВ₀).

Обозначение	Материал пленки	Показатель преломления
12 ИП0 12 ИПВ0	Si	1.45-1.46
41 ИП 41 ИПВ	SiO2	1.45-1.46
19 ИП0 19 ИПВ0	НfO2	1.87-2.0
З6 ИПВо	ZrO2	1.95-2.05
14 ИП0 14 ИПВ0	Ta205	2.08-2.2
88 ИПВ	TiO2	2.4