4. Выводы
В условии задачи требовалось рассчитать
время, необходимое для проведения
процесса диффузионного легирования
при температурах 1000˚С, 1100˚С и 1200˚С.
Экспериментальным путем нашли, что для
проведения диффузионного легирования
на величину 5 мкм при температуре 1000˚С
необходимо 3643 мин;
при температуре 1100˚С
необходимо 466 мин;
при температуре 1200˚С
необходимо 74 мин.
Как видно из полученных данных оптимальная
температура процесса диффузионного
легирования равна 1200˚С. При температурах
ниже 1200˚С значения коэффициентов
диффузии очень малы и для получения
необходимого результата требуется во
много раз увеличить длительность
процесса диффузии. При температурах
выше 1200˚С качество диффузионных слоев
неудовлетворительно вследствии большого
количества вносимых дефектов.
6
